对位装置及巨量转移设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种对位装置及巨量转移设备。所述对位装置包括基座和图像采集模块；所述基座包括安装板和位置调整机构，所述位置调整机构与安装板连接，用于调整所述安装板在多个方向上的位置；所述图像采集模块设置在所述基座的安装板上。上述对位装置中的位置调整机构能调整图像采集模块在多个方向上的位置，通过调整图像采集模块在多个方向上的位置，可以在图像采集模块与待要对位成像的目标位置之间不对应时使二者达到对应，也可以在图像采集模块和待要对位成像的目标位置之间的距离过大或过小、影响成像质量时，使图像采集模块和目标位置之间的距离能够回到适合的距离，从而满足对位成像过程对图像采集模块的位置的各种要求。各种要求。各种要求。

【技术实现步骤摘要】
对位装置及巨量转移设备


[0001]本技术涉及Micro/Mini LED器件和设备相关的
，尤其涉及一种对位装置及巨量转移设备。

技术介绍

[0002]Mini LED和Micro LED用于显示是近几年来在显示领域出现的新的技术发展方向。对于Mini LED和Micro LED显示产品而言，其生产和制备具有不同于既往的LCD和OLED显示产品之处。其中最主要的是如何高效率和高质量地将大量的Micro/Mini LED芯片可以转移到目标基板上，该过程一般称之为巨量转移。
[0003]在进行巨量转移的过程中，存在着一些限制性问题。其中包括：
[0004]在移动晶圆和目标基板的工艺过程中，需要对晶圆和目标基板的位置进行对位检测，以确定晶圆和目标基本是否移动到准确位置，二者之间是否对应，从而在后续的Micro/Mini LED芯片转移过程中能够将Micro/Mini LED芯片准确地置于目标基板上的正确位置。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种对位装置及巨量转移设备，以解决上述现有技术中存在的技术问题之一。
[0006]本技术提供的对位装置，其包括基座和图像采集模块；所述基座包括安装板和位置调整机构，所述位置调整机构与安装板连接，用于调整所述安装板在多个方向上的位置；所述图像采集模块设置在所述基座的安装板上。
[0007]其中，所述图像采集模块的数量为多个；多个图像采集模块沿第一方向间隔设置；所述多个图像采集模块在第一方向上的间隔可调整。
[0008]其中，所述基座的数量为多个；每个图像采集模块对应安装在一个基座的安装板上。
[0009]其中，所述位置调整机构包括第一方向位移组件、第二方向位移组件和第三方向位移组件；所述第一方向位移组件、第二方向位移组件和第三方向位移组件分别带动所述安装板在第一方向、第二方向和第三方向上移动；所述第一方向、第三方向与安装板所在平面平行，所述第二方向与所述安装板所在平面垂直，且所述第一方向和第三方向垂直。
[0010]其中，所述第一方向位移组件和第三方向位移组件包括：导轨和设置在所述导轨上的滑块；或者，燕尾导槽和设置在所述燕尾导槽内的滑台。
[0011]其中，所述第二方向位移组件为升降驱动机构。
[0012]其中，所述图像采集模块包括镜管、成像模组和棱镜，所述成像模组设置在所述镜管的第一端，所述镜管的第二端为取景窗，所述取景窗处设置有棱镜，所述棱镜用于将所述取景窗外的物体的影像信息导射向所述成像模组。
[0013]其中，所述图像采集模块还包括同轴光组件，所述同轴光组件与所述镜管连接于所述镜管的第一端和第二端之间，用于向所述镜管内补充光照。
[0014]其中，所述对位装置还包括安装板，所述安装板安装在所述安装板上，且所述安装板在所述图像采集模块的外侧遮挡所述图像采集模块。
[0015]本技术提供的巨量转移设备，其包括上述的对位装置。
[0016]本技术实施例提供的上述对位装置及巨量转移设备与现有技术相比具有如下优点：
[0017]本技术实施例提供的对位装置，其包括基座和图像采集模块，基座包括安装板和位置调整机构，图像采集模块设置在基座的安装板上，而位置调整机构则与安装板连接，并能够调整安装板在多个方向上的位置，相应地，位置调整机构也就能调整图像采集模块在多个方向上的位置。通过调整图像采集模块在多个方向上的位置，可以在图像采集模块与待要对位成像的目标位置之间不对应时使二者达到对应，也可以在图像采集模块和待要对位成像的目标位置之间的距离过大或过小、影响成像质量时，使图像采集模块和目标位置之间的距离能够回到适合的距离，从而满足对位成像过程对图像采集模块的位置的各种要求。
[0018]本技术实施例提供的巨量转移设备，其包括上述的对位装置，具有与上述对位装置一致的有益效果，在此不再赘述。
附图说明
[0019]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例中的对位装置在第一视角方向上的结构示意图；
[0022]图2为图1所示对位装置在第二视角方向上的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]10
‑
底板；11
‑
第一方向位移组件；12
‑
第二方向位移组件；13
‑
第三方向位移组件；14
‑
安装板；
[0025]21
‑
棱镜；22
‑
镜管；23
‑
成像模组；24
‑
同轴光组件；25
‑
防护板。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]下面结合附图对本技术提供的对位装置及巨量转移设备的实施例进行说明。
[0028](1)对位装置的实施例
[0029]参看图1和图2，本实施例提供的对位装置包括基座和图像采集模块。所述基座包括底板10、安装板14和位置调整机构。位置调整机构设置在底板10上，且与安装板14连接，
用于调整安装板14在多个方向上的位置。所述图像采集模块设置在基座的安装板14上，在安装板14被位置调整机构带动在多个方向上移动时，安装在安装板14上的图像采集模块同步在相应的方向上进行移动。
[0030]具体地，位置调整机构包括第一方向位移组件11、第二方向位移组件12和第三方向位移组件13；第一方向位移组件11、第二方向位移组件12和第三方向位移组件13分别用于带动安装板14在第一方向、第二方向和第三方向上移动。就第一方向、第二方向和第三方向而言，第一方向和第三方向与安装板14所在平面平行，第二方向与安装板14所在平面垂直。
[0031]第一方向位移组件11设置在底板10上，第二方向位移组件12设置在第一方向位移组件11上，第三方向位移组件13设置在第二方向位移组件12上，安装板14设置在第三方向位移组件13上。第三方向位移组件13能够驱动安装板14沿第三方向移动，第二方向位移组件12能够驱动第三方向位移组件13和安装板14在第三方向上移动，第一方向位移组件11能够驱动第二方向位移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对位装置，其特征在于，所述对位装置包括基座和图像采集模块；所述基座包括安装板和位置调整机构，所述位置调整机构与安装板连接，用于调整所述安装板在多个方向上的位置；所述图像采集模块设置在所述基座的安装板上。2.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述图像采集模块的数量为多个；多个图像采集模块沿第一方向间隔设置；所述多个图像采集模块在第一方向上的间隔可调整。3.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述基座的数量为多个；每个图像采集模块对应安装在一个基座的安装板上。4.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述位置调整机构包括第一方向位移组件、第二方向位移组件和第三方向位移组件；所述第一方向位移组件、第二方向位移组件和第三方向位移组件分别带动所述安装板在第一方向、第二方向和第三方向上移动；所述第一方向、第三方向与安装板所在平面平行，所述第二方向与所述安装板所在平面垂直，且所述第一方向和第三方向垂直。5.根据权利要求4所述的对位装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：喻泷，
申请(专利权)人：深圳鼎晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：