密封式线性电机电枢和密封式线性电机制造技术

本发明专利技术提供了一种密封式线性电机电枢和一种密封式线性电机，其中，提高了水冷型密封式线性电机的绝缘可靠性，并且具有良好的装配加工性。该密封式线性电机电枢包括：形成为凹陷形状用于容纳电枢绕组（１０５）的绕组容纳框架（１１２）；用于连接电枢绕组（１０５）的扁平板形的连接基板（１１１）；气密地闭合外壳（１０１）的两个开口部的密封罐（１０２）；分别形成在密封罐（１０２）和绕组容纳框架（１１２）之间以及密封罐（１０２）和连接基板（１１１）之间的制冷剂通道（１１０）；以及用于连接连接基板（１１１）和端子基座（１０６）的引导线（１２０）。该密封式线性电机电枢的构造为：带有粘结树脂（１３１）涂层被设置在作为用于连接电枢绕组（１０５）和位于连接基板（１１１）上的引导线（１２０）的连接部分的块（１２１）的周围，以包括该连接部分，并且该粘结树脂（１３１）的周围填充有填充树脂（１３２）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种密封式(canned)线性电机电枢和一种密封式线 性电机，用于半导体制造设备中的步进驱动或者机床的工作台进给， 该密封式线性电机电枢和密封式线性电机需要降低线性电机主体内的 温度升高并且提高绝缘的可靠性。
技术介绍
在密封式线性电机电枢和密封式线性电机中，这里该密封式线性 电机电枢和密封式线性电机用于半导体制造设备中的步进驱动或者用 于机床的工作台进给，并且需要降低线性电机主体内的温度升高并且 提高绝缘的可靠性，电枢绕组被密封罐覆盖，并且提供的制冷剂流动 穿过设置在电枢绕组和密封罐之间的制冷剂通道，由此通过制冷剂回 收由电枢绕组所产生的热并且减少线性电机表面的温度升高(例如， 参考专利文献1和2)。图1是具有可移动元件的通用密封式线性电机的整体透视图，在 该密封式线性电机中，电枢被密封罐覆盖，图中示出了与后面将要说 明的本专利技术的第一实施例和相关技术中的整体构造所共有的整体构 造。图1中，参考数字100指示定子，101指示外壳，102指示密封罐， 103指示密封罐固定螺栓，104指示压板，105指示电枢绕组，106指 示端子基座，107指示制冷剂供给端口， 10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密封式线性电机电枢，包括：电枢绕组，该电枢绕组形成为扁平板的形状并且包括线圈；绕组容纳框架，该绕组容纳框架形成为凹陷形状，该凹陷具有用于容纳所述电枢绕组的开口底部；扁平板形连接基板，该连接基板气密地闭合所述绕组容纳框架的开口部并且连接所述电枢绕组；金属外壳，该金属外壳形成为框架的形状，从而包围被所述绕组容纳框架和所述连接基板密封的所述电枢绕组；密封罐，该密封罐气密地闭合所述外壳的两个开口部；制冷剂通道，该制冷剂通道分别形成在所述密封罐和所述绕组容纳框架之间以及所述密封罐和所述连接基板之间；以及引导线，该引导线连接所述连接基板，其中在所述连接基板和所述引导线之间的连接部分周围设置带有粘结树脂...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-10-18 302401/20051.一种密封式线性电机电枢，包括电枢绕组，该电枢绕组形成为扁平板的形状并且包括线圈；绕组容纳框架，该绕组容纳框架形成为凹陷形状，该凹陷具有用于容纳所述电枢绕组的开口底部；扁平板形连接基板，该连接基板气密地闭合所述绕组容纳框架的开口部并且连接所述电枢绕组；金属外壳，该金属外壳形成为框架的形状，从而包围被所述绕组容纳框架和所述连接基板密封的所述电枢绕组；密封罐，该密封罐气密地闭合所述外壳的两个开口部；制冷剂通道，该制冷剂通道分别形成在所述密封罐和所述绕组容纳框架之间以及所述密封罐和所述连接基板之间；以及引导线，该引导线连接所述连接基板，其中在所述连接基板和所述引导线之间的连接部分周围设置带有粘结树脂的涂层，以包括所述连接部分，并且所述粘结树脂的周围被填充树脂填充。2. 如权利要求l所述的密封式线性电机电枢，其中 在形成在所述连接基板和所述外壳之间的间隙内以及形成在所述绕组容纳框架和所述外壳之间的间隙内设置有密封树脂，以密封所述 间隙。3. 如权利要求l所述的密封式线性电机电枢，其中 所述粘结树脂包括环氧树脂，且所述填充树脂包括硅树脂。4. 如权利要求2所述的密封式线性电机电枢，其中 所述密封树脂包括硅树脂。5. —种密封式线性电机电枢，包括电枢绕组，该电枢绕组形成为扁平板的形状并且包括线圈；绕组容纳框架，该绕组容纳框架形成为凹陷的形状，该凹陷具有 用于容纳所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹿山透，浜尾聪和，贞包健一，坂井明雄，吉田秀作，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：JP[日本]