本发明专利技术公开了一种ITO旋转靶的冷等静压模具，旨在实现ITO旋转靶烧结前的预制成型；其技术方案：包括：下模座、上模座、以可拆的方式固定连接在下模座、上模座之间的芯轴；下模座上设有第一凸台，上模座上设有第二凸台；第一凸台上设有第一凹槽，第二凸台上设有与第一凹槽对应的第二凹槽，芯轴的一端通过第一锁紧件锁紧在第一凹槽内、另一端通过第二锁紧件锁紧在第二凹槽内；还包括一弹性套体，其两端分别通过第三锁紧件锁紧在第一凸台、第二凸台的侧边上；下模座、上模座、弹性套体、芯轴四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室；还提供一种ITO旋转靶的预制成型方法，属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。属于靶材加工技术领域。
【技术实现步骤摘要】
一种ITO旋转靶的冷等静压模具及预制成型方法
[0001]本专利技术属于靶材加工
，更具体而言，涉及一种ITO旋转靶的冷等静压模具及预制成型方法。
技术介绍
[0002]ITO，指氧化铟锡，作为纳米铟锡金属氧化物，通过靶材溅射机，将自身材料在玻璃面板上镀膜，多用于触控面板、触摸屏、冷光片等。
[0003]ITO从粉末材料到成品件，有一个烧结成型的过程，在烧结成型之前，需要将粉末做成特定的形状，而将粉末做成特定的形状是通过冷等静压设备实现的，其中，其所使用到的模具即为冷等静压模具。
技术实现思路
[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种ITO旋转靶的冷等静压模具，旨在实现ITO旋转靶烧结前的预制成型；还提供一种ITO旋转靶的预制成型方法。
[0005]根据本专利技术的第一方面，提供了一种ITO旋转靶的冷等静压模具，包括：下模座、上模座、以可拆的方式固定连接在下模座、上模座之间的芯轴；
[0006]所述下模座上设有第一凸台，所述上模座上设有第二凸台；所述第一凸台上设有第一凹槽，所述第二凸台上设有与第一凹槽对应的第二凹槽，所述芯轴的一端通过第一锁紧件锁紧在第一凹槽内、另一端通过第二锁紧件锁紧在第二凹槽内；
[0007]还包括一弹性套体，其两端分别通过第三锁紧件锁紧在第一凸台、第二凸台的侧边上；所述下模座、上模座、弹性套体、芯轴四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室。
[0008]本专利技术一个特定的实施例中，所述下模座的远离所述弹性套体的一侧设有一第一通孔，所述芯轴与所述第一凹槽配合的一端的端部设有第一螺纹孔；所述第一锁紧件为第一螺栓，所述第一螺栓穿过第一通孔与第一螺纹孔配合将芯轴锁紧在下模座上。
[0009]本专利技术一个特定的实施例中，所述上模座的远离所述弹性套体的一侧设有一第二通孔，所述芯轴与所述第二凹槽配合的一端的端部设有第二螺纹孔；所述第二锁紧件为第二螺栓，所述第二螺栓穿过第二通孔与第二螺纹孔配合将芯轴锁紧在上模座上。
[0010]本专利技术一个特定的实施例中，所述第二螺栓为吊环螺栓。
[0011]本专利技术一个特定的实施例中，所述下模座的远离所述弹性套体的一侧还设有一用于容纳第一螺栓的容纳凹槽。
[0012]本专利技术一个特定的实施例中，所述第一螺栓与下模座之间、第二螺栓与上模座之间均设有第一密封环。
[0013]本专利技术一个特定的实施例中，所述第一凹槽与芯轴的端部之间、第二凹槽与芯轴的端部之间均设有第二密封环。
[0014]本专利技术一个特定的实施例中，所述弹性套体为圆柱状结构，所述第一凸台、第二凸台均为圆台状结构；所述第三锁紧件为喉箍；
[0015]所述第一凸台与弹性套体的端部之间、第二凸台与弹性套体的端部之间均设有第三密封环；
[0016]第三锁紧件与第三密封环的位置对应。
[0017]本专利技术一个特定的实施例中，所述弹性套体的材质为橡胶。
[0018]本专利技术还提供一种ITO旋转靶的预制成型方法，涉及如上所述的ITO旋转靶的冷等静压模具；包括如下步骤：
[0019]步骤1：通过第一锁紧件将芯轴锁紧在下模座上；
[0020]步骤2：通过第三锁紧件将弹性套体的一端锁紧在下模具上；
[0021]步骤3：将ITO粉末倒入腔室，并使ITO粉末填满腔室；
[0022]步骤4：通过第二锁紧件将上模座锁紧在芯轴上；并通过第三锁紧件将弹性套体的另一端锁紧在上模座上；下模座、芯轴、上模座、弹性套体四者组合形成冷等静压模具；
[0023]步骤5：将冷等静压模具送入冷等静压设备内。
[0024]本专利技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0025]本专利技术通过下模座、上模座、弹性套体、芯轴四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室，在实际使用时，腔室内填满有ITO粉末，由外设冷等静压设备对其施加压力，使ITO粉末压制成实体，实现ITO旋转靶烧结前的预制成型；
[0026]其中，第一凹槽、第二凹槽的设置，使得芯轴安装更为稳定；
[0027]其中，通过第三锁紧件将弹性套体锁紧在第一凸台、第二凸台的侧边上，弹性套体的锁紧性能更好。
附图说明
[0028]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步地说明；
[0029]图1是本专利技术的实施例1的结构图；
[0030]图2是本专利技术的实施例1的图1中D的放大视图；
[0031]图3是本专利技术的实施例1的图1中E的放大视图。
具体实施方式
[0032]下面详细描述本专利技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0033]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同方案。
[0034]实施例1
[0035]参照图1至图3所示，一种ITO旋转靶的冷等静压模具，包括：下模座1、上模座2、以可拆的方式固定连接在下模座1、上模座2之间的芯轴3；
[0036]所述下模座1上设有第一凸台11，所述上模座2上设有第二凸台21；所述第一凸台11上设有第一凹槽12，所述第二凸台21上设有与第一凹槽12对应的第二凹槽22，所述芯轴3的一端通过第一锁紧件4锁紧在第一凹槽12内、另一端通过第二锁紧件5锁紧在第二凹槽22内；
[0037]还包括一弹性套体6，其两端分别通过第三锁紧件7锁紧在第一凸台11、第二凸台
21的侧边上；所述下模座1、上模座2、弹性套体6、芯轴3四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室。
[0038]本实施例通过下模座1、上模座2、弹性套体6、芯轴3四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室，在实际使用时，腔室内填满有ITO粉末，由外设冷等静压设备对其施加压力，使ITO粉末压制成实体，实现ITO旋转靶烧结前的预制成型；
[0039]其中，第一凹槽12、第二凹槽22的设置，使得芯轴3安装更为稳定；
[0040]其中，通过第三锁紧件7将弹性套体6锁紧在第一凸台11、第二凸台21的侧边上，弹性套体6的锁紧性能更好。
[0041]在本实施例中，所述下模座1的远离所述弹性套体6的一侧设有一第一通孔，所述芯轴3与所述第一凹槽12配合的一端的端部设有第一螺纹孔；所述第一锁紧件4为第一螺栓，所述第一螺栓穿过第一通孔与第一螺纹孔配合将芯轴3锁紧在下模座1上；
[0042]所述上模座2的远离所述弹性套体6的一侧设有一第二通孔，所述芯轴3与所述第二凹槽22配合的一端的端部设有第二螺纹孔；所述第二锁紧件5为第二螺栓，所述第二螺栓穿过第二通孔与第二螺纹孔配合将芯轴3锁紧在上模座2上；
[0043]通过第一螺栓、第二螺栓的方式实现锁紧，结构简单，组装方便，同时锁紧性能好。
[0044]优选地，所述第二螺栓为吊环螺栓，即，第二螺栓的头部为吊环，而吊本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种ITO旋转靶的冷等静压模具，其特征在于，包括：下模座(1)、上模座(2)、以可拆的方式固定连接在下模座(1)、上模座(2)之间的芯轴(3)；所述下模座(1)上设有第一凸台(11)，所述上模座(2)上设有第二凸台(21)；所述第一凸台(11)上设有第一凹槽(12)，所述第二凸台(21)上设有与第一凹槽(12)对应的第二凹槽(22)，所述芯轴(3)的一端通过第一锁紧件(4)锁紧在第一凹槽(12)内、另一端通过第二锁紧件(5)锁紧在第二凹槽(22)内；还包括一弹性套体(6)，其两端分别通过第三锁紧件(7)锁紧在第一凸台(11)、第二凸台(21)的侧边上；所述下模座(1)、上模座(2)、弹性套体(6)、芯轴(3)四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室。2.根据权利要求1所述的ITO旋转靶的冷等静压模具，其特征在于，所述下模座(1)的远离所述弹性套体(6)的一侧设有一第一通孔，所述芯轴(3)与所述第一凹槽(12)配合的一端的端部设有第一螺纹孔；所述第一锁紧件(4)为第一螺栓，所述第一螺栓穿过第一通孔与第一螺纹孔配合将芯轴(3)锁紧在下模座(1)上。3.根据权利要求2所述的ITO旋转靶的冷等静压模具，其特征在于，所述上模座(2)的远离所述弹性套体(6)的一侧设有一第二通孔，所述芯轴(3)与所述第二凹槽(22)配合的一端的端部设有第二螺纹孔；所述第二锁紧件(5)为第二螺栓，所述第二螺栓穿过第二通孔与第二螺纹孔配合将芯轴(3)锁紧在上模座(2)上。4.根据权利要求3所述的ITO旋转靶的冷等静压模具，其特征在于，所述第二螺栓为吊环螺栓。5.根据权利要求2所述的ITO旋转靶的冷等静压模具，其特征在于，所述下模座(1)的远...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆生，陈曦，朱刘，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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