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本发明公开了一种ITO旋转靶的冷等静压模具，旨在实现ITO旋转靶烧结前的预制成型；其技术方案：包括：下模座、上模座、以可拆的方式固定连接在下模座、上模座之间的芯轴；下模座上设有第一凸台，上模座上设有第二凸台；第一凸台上设有第一凹槽，第二凸台...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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