一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒制造技术

本实用新型专利技术提供一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，包括上筒壁和下筒壁，下筒壁的一端与上筒壁连接，下筒壁的自由端设有多个开槽，以使得流经下筒壁自由端的保护气体的流速增加。本实用新型专利技术的有益效果是在下筒壁的自由端设置多个开槽，下筒壁的截面形状为曲线，增大氩气的流动速率，提高氩气带走氧化物的能力，降低硅单晶中的氧含量，提高单晶品质。提高单晶品质。提高单晶品质。

【技术实现步骤摘要】
一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒


[0001]本技术属于光伏
，尤其是涉及一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒。

技术介绍

[0002]氧是CZ硅单晶中含量最高，行为最复杂的一种杂质，晶体中的氧既有益又有害，因此，在拉制硅单晶过程中需要对氧含量进行控制。
[0003]在直拉单晶中降低氧含量主要有两大类方法，第一类就是抑制氧原子的产生，也就是降低石英坩埚的溶解速度，第二类就是加快氧原子的挥发速度，即增加SIO的挥发速率。
[0004]导流筒在热场中主要作用是隔绝加热器对单晶的热辐射，增大单晶温度梯度，从而提高拉速，同时使氩气流经导流筒吹拂液面，带走氧化物，也就是说氩气流经导流筒下沿速率越快，带走的氧化物越多，单晶氧含量也就越低。
[0005]当前导流筒结构如图5所示，导流筒下沿斜面为直线形状，导流筒下口呈圆形，氩气流经导流筒下沿的速率不高，不能快速的将氧化物带走。

技术实现思路

[0006]鉴于上述问题，本技术提供一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，其特征在于：包括上筒壁和下筒壁，所述下筒壁的一端与所述上筒壁连接，所述下筒壁的自由端设有多个开槽，以使得流经所述下筒壁自由端的保护气体的流速增加；所述下筒壁的截面形状为曲线，以使得流经所述下筒壁的保护气体的流速增加。2.根据权利要求1所述的降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，其特征在于：所述开槽沿着所述下筒壁的自由端的径向方向设置，多个所述开槽沿着所述下筒壁的自由端的周向设置。3.根据权利要求2所述的降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，其特征在于：多个所述开槽被至少设置为一组，多组所述开槽沿着所述下筒壁的自由端的径向方向设置。4.根据权利要求3所述的降低直拉单晶硅氧含量的导流筒，其特征在于：每一组中的多个所述开槽设于所述下筒壁的自由端的同一周向上，且相邻组中的多个所述开槽交错设置。5.根据权利要求1
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4任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍志强，王建平，郝勇，高鹏，黄伟，池通河，王秀娟，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：