【技术实现步骤摘要】
铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法
[0001]本专利技术属于金属材料表面处理
,涉及提供了一种铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法。
技术介绍
[0002]常规的硬质阳极氧化通常采用硫酸为电解溶液,这种电解溶液成本便宜,且槽液成分与浓度易于平时的管控。但在对氧化膜性能要求不断提升的今天,常规的硫酸硬质阳极氧化工艺制备的氧化膜硬度、耐蚀性及绝缘性已经无法满足军工类、半单体行业核心零部件的需求。
[0003]硬质阳极氧化制备的氧化膜层厚度要求高,具有较高的电阻,会直接影响到氧化过程中电流强度的氧化作用。为了获取较厚的氧化膜,需要外加输出电压消除电阻大的影响,而使电流密度保持一定,但电流较大时会产生激烈的发热现象,加上生成氧化膜时会放出大量的热量,使零件周围电解液温度剧烈上升,温度上升将会加速氧化膜的溶解,使氧化膜无法变厚。另外,发热现象在膜层与金属的接触处最严重,如不及时解决,加工零件的局部表面会因温度上升而被烧坏,因此必须采用制冷系统进行降温,使槽液温度始终保持在工艺范围内,同时进行压缩空气搅拌,以扩散热量,均衡温度。
[0004]常规的硫酸硬质阳极氧化工艺,为了获得硬度高、膜层厚的膜层,必须降低槽液温度,使得槽液的温度恒定在
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2℃~+2℃范围内,以便降低氧化膜的溶解度。虽然一样需求整套的制冷系统与外加输出电压,但是常规的硫酸硬质阳极氧化工艺,在低温环境下(
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2℃~+2℃),外加的输出电压要求更高,能耗更大,更容易烧损工件,同时低温环境下成膜速率慢,生产 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步、铝合金工件预处理,依次进行超声波脱脂、水洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗、剥黑膜、水洗、喷淋;第二步、硬质阳极氧化膜生成,将铝合金工件放入电解液中形成氧化膜;第三步、铝合金工件后处理,依次进行水洗、喷淋、纯水封孔、水洗、喷淋、热水洗、氮气吹干、烘干。2.根据权利要求1所述的一种铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法,其特征在于,第一步中脱脂时间是3
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5min,脱脂温度是45
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55℃;水洗时间是60
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90s,水洗温度是15
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25℃。3.根据权利要求1所述的一种铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法,其特征在于,第一步中碱洗时间是10
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30s,碱洗温度是35
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45℃。4.根据权利要求1所述的一种铝合金材料硬质阳极氧化膜高效成膜方法,其特征在于,第一步中酸蚀时间是20
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40s...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵颖,
申请(专利权)人:北京富创精密半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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