一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质。该方法包括：确定晶粒图像包括的至少两个图像分区，并依据所述至少两个图像分区内待选晶粒生成定位标记；根据各所述定位标记刷新对应所述图像分区内所述待选晶粒的晶粒位置；根据预设挑选顺序和所述晶粒位置在所述至少两个图像分区内挑选晶粒。本发明专利技术实施例，通过根据各定位标记刷新对应图像分区内待选晶粒的晶粒位置，根据预设挑选顺序和晶粒位置在至少两个图像分区内挑选晶粒，实现了晶粒的快速挑选，在一定程度上降低了蓝膜形变对晶粒挑选的影响，从而提高晶粒挑选的准确性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质


[0001]本专利技术实施例涉及自动化控制
，尤其涉及一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质。

技术介绍

[0002]在晶粒选取制造过程中，晶圆的正面会贴一层粘性模，该层膜的作用是在晶圆正面固定芯片，便于晶圆的处理。该粘性膜被俗称为蓝膜，蓝膜可以保持晶粒在切换过程中的完整，减少切割过程中所产生的崩碎，确保晶粒在正常的传送过程中不会有位移和掉落。但是在晶粒的挑选过程中，随着被挑选的晶粒数量增多，蓝膜会发生一定的形变，造成晶粒位置发生改变，降低了晶粒捡取的准确性，影响后续的生产。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质，以实现晶粒的快速挑选，降低蓝膜形变对晶粒挑选的影响，可提高晶粒挑选的准确性。
[0004]第一方面，本专利技术实施例提供了一种晶粒挑选方法，该方法包括：
[0005]确定晶粒图像包括的至少两个图像分区，并依据所述至少两个图像分区内待选晶粒生成定位标记；
[0006]根据各所述定位标记刷新对应所述图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶粒挑选方法，其特征在于，所述方法包括：确定晶粒图像包括的至少两个图像分区，并依据所述至少两个图像分区内待选晶粒生成定位标记；根据各所述定位标记刷新对应所述图像分区内所述待选晶粒的晶粒位置；根据预设挑选顺序和所述晶粒位置在所述至少两个图像分区内挑选晶粒。2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述确定晶粒图像包括的至少两个图像分区，并依据所述至少两个图像分区内待选晶粒生成定位标记，包括：按照预设尺寸将所述晶粒图像划分为至少两个所述图像分区；在所述至少两个图像分区内选择距离图像分区中心最近的所述待选晶粒的位置作为所述定位标记。3.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述根据各所述定位标记刷新对应所述图像分区内所述待选晶粒的晶粒位置，包括：提取各所述定位标记的初始坐标以及扫描各所述定位标记的当前坐标；将所述初始坐标和所述当前坐标的之间坐标位移量确定为晶粒偏移量；按照所述晶粒偏移量调整对应所述图像分区内所述待选晶粒的晶粒位置。4.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述预设挑选顺序包括以下至少之一：在各所述图像分区内按照晶粒等级对应的所述待选晶粒的数量从小到大依次挑选晶粒；在各所述图像分区间按照各所述图像分区到所述晶粒图像的中心的距离从大到小依次挑选晶粒。5.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述根据预设挑选顺序和所述晶粒位置在所述至少两个图像分区内挑选晶粒，包括：确定各所述图像分区内不同晶粒等级对应的待挑选晶粒的数量，以及各所述图像分区到所述晶粒图像的中心的距离；按照所述距离从远到近的顺序将所述图像分区作为目标挑选区域；将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨美高，杨少刚，范浩，
申请(专利权)人：深圳市八零联合装备有限公司，
类型：发明
国别省市：