具有无线传输结构的镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种具有无线传输结构的镀膜装置，包括：腔体、中空旋转轴、旋转工作架、导入固定件和检测机构；导入固定件设置在腔体的外部的底侧，导入固定件的轴线和中空旋转轴的轴线相重合；检测机构包括控制器、接收器、发射器和检测装置，发射器固定在导入固定件的轴心位置处，接收器固定在中空旋转轴的底部的轴心位置处，检测装置设置在工件安装板上或者相邻两个工件安装板之间，控制器和接收器以及发射器和检测装置之间通过连接导线连接。本实用新型专利技术能够获取精确和稳定的检测信号。本实用新型专利技术能够获取精确和稳定的检测信号。本实用新型专利技术能够获取精确和稳定的检测信号。

【技术实现步骤摘要】
具有无线传输结构的镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种具有无线传输结构的镀膜装置。

技术介绍

[0002]立式转笼式镀膜机因产量高，越来越达到广泛应用。但因其结构特点无法实现晶控和产品位于同一平面，从而影响了晶控的测量准确度。
[0003]目前已有的一种膜厚检测方案是，将晶控探头从在真空室顶部引入，通过角度调节并延伸到尽量靠近基片同一面，但因为角度和距离的差异，导致实际沉积到基片和晶控传感器的材料差距较大，无法起到精确控制厚度的目的。
[0004]另外一种方案是通过滑环将信号导出到真空室外，如专利文献1 (CN112680709A)和专利文献2(CN211570764U)公开的膜厚检测结构，然而，由于滑环是通过碳刷与旋转轴物理接触(滑动接触)，如果滑环随着真空室长时间高速旋转，滑环和旋转轴之间将会接触不紧密的现象，这会导致信号传输检测不稳定，进而会使得检测结果不准确。
[0005]因此，亟待需要提供一种能够获得准确且稳定的膜厚检测数据的检测方案。

技术实现思路

[0006]针对上述技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有无线传输结构的镀膜装置，其特征在于，包括：腔体、中空旋转轴、旋转工作架、导入固定件和检测机构；所述中空旋转轴设置在所述腔体的内部，所述旋转工作架与所述中空旋转轴连接并随所述中空旋转轴的转动而转动，所述旋转工作架上设置有安装工件的工件安装板；所述导入固定件设置在所述腔体的外部的底侧，所述导入固定件的轴线和所述中空旋转轴的轴线相重合；所述检测机构包括控制器、接收器、发射器和检测装置，所述发射器固定在所述导入固定件的轴心位置处，所述接收器固定在所述中空旋转轴的底部的轴心位置处，所述检测装置设置在所述工件安装板上或者相邻两个工件安装板之间，所述控制器和所述接收器通过第...

【专利技术属性】
技术研发人员：安永，
申请(专利权)人：布勒莱宝光学设备北京有限公司，
类型：新型
国别省市：