晶振盘结构及其使用方法技术

本发明专利技术涉及OLED制备技术领域,公开了一种晶振盘结构及其使用方法,该结构包括外壳、盘体、和驱动组件；盘体包括内圆和外环；驱动组件包括第一驱动装置以及第二驱动装置，第一驱动装置用于驱动内圆旋转，第二驱动装置用于驱动外环旋转；内圆的第一面设有多个晶振片，内圆的第二面设有多个第一电极，多个第一电极与多个设置于内圆的第一面的晶振片一一对应设置；外环的第一面设有多个晶振片，外环的第二面设有多个第二电极，多个第二电极与设置于外环的第一面的晶振片一一对应设置，第一电极和第二电极用于模拟数据传输；盘体安装于外壳，外壳上具有通孔，通孔用于将一个位于内圆的晶振片和/或一个位于外环的晶振片露出。和/或一个位于外环的晶振片露出。和/或一个位于外环的晶振片露出。

【技术实现步骤摘要】
晶振盘结构及其使用方法


[0001]本专利技术涉及OLED制备
，尤其是涉及一种晶振盘结构及其使用方法。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示是现当今各项领域研究的热门技术。
[0003]现有技术中的OLED制备工艺，蒸镀机通过蒸发源将材料加热变成原子或原子团，通过一定的自由程，将材料沉积到玻璃基板上形成膜层，在此过程中为了保证膜层的均匀性和目标膜厚，需要对蒸镀过程中的速率进行监控，从而进行有效调控；膜厚控制系统中的膜厚控制仪，是利用晶振片的压电效应，通过测量晶振片的震荡频率的变化，利用数模转换器，将模拟量转换成数字量，进而测出膜的厚度。每个检测探头上装有一个晶振盘，每个盘上有10个晶振片，环向分布于盘上，两两之间连接圆心之间的夹角为36
°
，通过一个盖板盖住，盖板只设置一个圆孔的位置，使一片晶振片露出，作为当前的使用晶振片；而晶振片作为消耗品，在工艺过程中，随着材料在晶振片上的积累，其寿命会逐渐耗尽，检测效果下降，此时则需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶振盘结构，其特征在于，包括外壳、盘体、以及驱动组件；其中，所述盘体具有一个中心点，所述盘体包括内圆以及套设于所述内圆外侧的外环，所述中心点为所述内圆以及所述外环的中心；所述驱动组件包括第一驱动装置以及第二驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述内圆绕所述中心点旋转，所述第二驱动装置用于驱动所述外环绕所述中心点旋转；所述内圆的第一面绕所述中心点的周向设有多个晶振片，所述内圆的第二面设有多个第一电极，多个所述第一电极与多个设置于所述内圆的第一面的晶振片一一对应设置，所述第一电极用于模拟数据传输；所述外环的第一面绕所述中心点的周向设有多个晶振片，所述外环的第二面设有多个第二电极，多个所述第二电极与设置于所述外环的第一面的晶振片一一对应设置，所述第二电极用于模拟数据传输；所述盘体安装于所述外壳，所述外壳上具有通孔，所述通孔用于将一个位于所述内圆的晶振片和/或一个位于所述外环的晶振片露出。2.根据权利要求1所述的晶振盘结构，其特征在于，多个位于所述内圆的晶振片和多个位于所述外环的晶振片一一对应设置；当所述晶振盘结构处于初始状态时，在每组互相对应的位于所述内圆的晶振片和位于所述外环的晶振片中：位于所述内圆的晶振片与所述中心点之间的连线与位于所述外环的晶振片与所述中心点之间的连线重合。3.根据权利要求2所述的晶振盘结构，其特征在于，多个位于所述内圆的晶振片均匀间隔设置，多个位于所述外环的晶振片均匀间隔设置。4.根据权利要求3所述的晶振盘结构，其特征在于，位于所述内圆的晶振片和所述外环的晶振片均为五个。5.根据权利要求1所述的晶振盘结构，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一电机、第一联轴器以及第一传动轴；所述第一电机的输出轴通过所述第一联轴器与所述第一传动轴的第一端连接，所述第一传动轴的第二端与所述中心点固定连接。6.根据权利要求1所述的晶振盘结构，其特征在于，所述第二驱动装置包括第二电机、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：李元星，刘金彪，罗楠，加新星，刘文豪，晋亚杰，胡斌，李靖，姬磊，李端瑞，高俊，龙燕，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：