沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施方式的沉积装置包括：蒸发源，其包括容纳有沉积材料的坩埚、支撑在坩埚外部的加热器单元、以及支撑在加热器单元外部的冷却单元；容纳蒸发源并提供放置沉积基板的沉积空间的腔室；重量测量设备，其设置在腔体内并感测蒸发源的总重量；以及控制单元，其设置在腔室外部并且向重量测量设备发送信号和从重量测量设备接收信号。量测量设备接收信号。量测量设备接收信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】沉积装置


[0001]本专利技术涉及一种用于准确测量沉积原料的剩余量的沉积装置。

技术介绍

[0002]沉积是一种用气态颗粒涂覆物体(例如金属或玻璃)的表面以在其上形成薄的固体膜的方法。
[0003]近来，手机、笔记本电脑和数码相机等便携性很重要的设备变得普遍，并且随着空间利用率或设计对薄型电视的需求增加，对制造平板显示面板的设备和工艺进行了积极的研究。
[0004]特别而言，近来有机发光二极管(OLED)显示面板由于例如视角宽和响应速度快等优点而受到积极研究。
[0005]多数OLED显示面板是通过真空热蒸发制造的。这里，真空热蒸发是通过用有机/无机材料填充坩埚以形成真空，然后将通过加热坩埚而蒸发的材料沉积在基板上来形成薄膜的方法。在这种情况下，用于OLED显示面板的有机/无机材料非常昂贵，并且在长时间加热或加热到高温时材料可能会降解。因此，用于OLED生产的大部分材料难以再利用，因此通常在生产后将剩余材料丢弃。
[0006]因此，考虑到大规模生产所需的时间来填充沉积原料，并且基于经验积累的数据库来预测生产期间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种沉积装置，其包括：蒸发源，所述蒸发源包括容纳沉积原料的坩埚、支撑在所述坩埚外部的加热器单元和支撑在所述加热器单元外部的冷却单元；腔室，所述腔室中容纳有所述蒸发源，并提供放置沉积基板的沉积空间；重量测量设备，所述重量测量设备设置在所述腔室内，并被配置成检测所述蒸发源的总重量；和控制器，所述控制器设置在所述腔室外部，并被配置成向所述重量测量设备发送信号和从所述重量测量设备接收信号。2.如权利要求1所述的沉积装置，其还包括：多个支撑件，所述多个支撑件设置在所述冷却单元下方并被配置成在所述重量测量设备上支撑所述蒸发源。3.如权利要求2所述的沉积装置，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相硅，申大成，洪熏护，文炳竣，
申请(专利权)人：LG电子株式会社，
类型：发明
国别省市：