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本发明实施方式的沉积装置包括：蒸发源，其包括容纳有沉积材料的坩埚、支撑在坩埚外部的加热器单元、以及支撑在加热器单元外部的冷却单元；容纳蒸发源并提供放置沉积基板的沉积空间的腔室；重量测量设备，其设置在腔体内并感测蒸发源的总重量；以及控制单元，...
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