一种六轴机械人EF吸盘机构制造技术

技术编号:33514724 阅读:19 留言:0更新日期:2022-05-19 01:23
本实用新型专利技术公开了一种六轴机械人EF吸盘机构,包括安装架和吸取机构,吸取机构设置于安装架下方的两侧,吸取机构包括两个连接座和吸盘机构,两个连接座设置于安装架下方的两侧,吸盘机构设置于连接座上,吸盘机构包括多个E型吸盘和F型吸盘,其中一个连接座的下表面固定连接有E型吸盘座,其中另一个连接座的下表面固定连接有F型吸盘座。本实用新型专利技术通过E型吸盘座上等距安装多个E型吸盘,F型吸盘座上等距安装多个F型吸盘,多个E型吸盘和F型吸盘交错对硅片进行吸取,多个利用E型吸盘和F型吸盘的设计,有效增加了吸附面积,并且不增加吸盘的自重,保证吸盘的稳定性。保证吸盘的稳定性。保证吸盘的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种六轴机械人EF吸盘机构


[0001]本技术涉及硅片生产领域领域,特别涉及一种六轴机械人EF吸盘机构。

技术介绍

[0002]硅片是现代科技生产中不可替代的元件,广泛的应用于航空、航天、工业、农业和国防,我们的日程生活中也离不开硅片,硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。
[0003]硅片在生产和加工过程中,通常使用吸盘吸取的方式对硅片进行抓取,随着大尺寸硅片的的大量生产,常规吸盘由于吸附面积太小,加大吸盘面积的同时又导致整体自重增大,影响吸盘的稳定性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种六轴机械人EF吸盘机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种六轴机械人EF吸盘机构,包括安装架和吸取机构,所述吸取机构设置于安装架下方的两侧;
[0006]所述吸取机构包括两个连接座和吸盘机构,两个所述连接座设置于安装架下方的两侧,所述吸盘机构设置于连接座上;
[0007]所述吸盘机构包括多个E型吸盘和F型吸盘,其中一个所述连接座的下表面固定连接有E型吸盘座,其中另一个所述连接座的下表面固定连接有F型吸盘座;
[0008]所述E型吸盘座与F型吸盘座上均设置有安装机构,所述安装架上设置有移动机构。
[0009]优选的,多个所述E型吸盘等距设置于E型吸盘座的内侧壁之间,多个所述F型吸盘等距设置于F型吸盘座的内侧壁之间。
[0010]优选的,所述安装机构包括两个安装轴和多个定位销,两个所述安装轴的两端与E型吸盘座和F型吸盘座顶部的内壁之间固定连接。
[0011]优选的,多个所述定位销呈两排设置,所述定位销设置于相邻两个E型吸盘座和F型吸盘座的顶部之间。
[0012]优选的,所述移动机构包括两个线性电机、两个移动座和两个滑轨,两个所述线性电机设置于安装架背面的两侧,两个所述移动座设置于安装架内腔的两侧,两个所述滑轨分别与安装架内壁的正面与背面固定连接。
[0013]优选的,所述线性电机与移动座的背面固定连接,所述移动座的正面与背面分别与两个滑轨的内腔滑动穿插连接。
[0014]本技术的技术效果和优点:
[0015](1)本技术利用E型吸盘和F型吸盘相配合的设置方式,通过E型吸盘座上等距安装多个E型吸盘,F型吸盘座上等距安装多个F型吸盘,多个E型吸盘和F型吸盘交错对硅片进行吸取,多个利用E型吸盘和F型吸盘的设计,有效增加了吸附面积,并且不增加吸盘的自
重,保证吸盘的稳定性;
[0016](2)本技术利用线性电机、移动座和滑轨相配合的设置方式,通过线性电机的运行,带动移动座在两个滑轨之间进行平移,带动两个连接座相向移动,使得下方的E型吸盘座和F型吸盘座交错设置,便于对硅片进行吸取和移动。
附图说明
[0017]图1为本技术安装架处正面结构示意图。
[0018]图2为本技术安装架处侧面结构示意图。
[0019]图3为本技术图2的A处放大结构示意图。
[0020]图中:1、安装架;2、吸取机构;21、连接座;22、吸盘机构;221、E型吸盘;222、F型吸盘;223、E型吸盘座;224、F型吸盘座;3、安装机构;31、安装轴;32、定位销;4、移动机构;41、线性电机;42、移动座;43、滑轨。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供了如图1

3所示的一种六轴机械人EF吸盘机构,包括安装架1和吸取机构2,安装架1呈回字型,用于安装吸取机构2和移动机构4,吸取机构2设置于安装架1下方的两侧,吸取机构2用于对硅片进行吸取;
[0023]吸取机构2包括两个连接座21和吸盘机构22,两个连接座21设置于安装架1下方的两侧,连接座21对称设置于安装架1吸的两侧,连接座21的上表面与移动座42的下表面固定连接,用于安装E型吸盘座223与F型吸盘座224,吸盘机构22设置于连接座21上,吸盘机构22利用真空挤压的原理,对硅片进行吸取和移动;
[0024]吸盘机构22包括多个E型吸盘221和F型吸盘222,多个E型吸盘221和F型吸盘222呈交错层叠设置,外壁与硅片外壁相贴合,对硅片进行吸取,E型吸盘221和F型吸盘222的外壁上设置有三个真空吸附点,每个真空吸附点连接有真空通道,通过真空通道抽取真空吸附点处的空气,利用气压对硅片进行抓取,的其中一个连接座21的下表面固定连接有E型吸盘座223,其中另一个连接座21的下表面固定连接有F型吸盘座224,E型吸盘座223的正面呈E字型,用于安装多个E型吸盘221,带动E型吸盘221平移,F型吸盘座224的正面呈F字型,用于安装多个F型吸盘222,带动F型吸盘222移动;
[0025]E型吸盘座223与F型吸盘座224上均设置有安装机构3,安装机构3用于将E型吸盘221和F型吸盘222分别与E型吸盘座223和F型吸盘座224连接,使其随着E型吸盘座223和F型吸盘座224一起移动,安装架1上设置有移动机构4,移动机构4用于带动连接座21进行平移;
[0026]多个E型吸盘221等距设置于E型吸盘座223的内侧壁之间,多个F型吸盘222等距设置于F型吸盘座224的内侧壁之间;
[0027]安装机构3包括两个安装轴31和多个定位销32,两个安装轴31的两端与E型吸盘座223和F型吸盘座224顶部的内壁之间固定连接,多个E型吸盘221和F型吸盘222分别与安装
轴31固定穿插连接,等距设置在安装轴31上,多个定位销32呈两排设置,定位销32设置于相邻两个E型吸盘座223和F型吸盘座224的顶部之间,定位销32用于对E型吸盘座223和F型吸盘座224与连接座21进行定位安装,保证E型吸盘座223和F型吸盘座224稳定安装在连接座21上;
[0028]移动机构4包括两个线性电机41、两个移动座42和两个滑轨43,两个线性电机41设置于安装架1背面的两侧,线性电机41通过开关与外部电源电性连接,两个移动座42设置于安装架1内腔的两侧,移动座42用于安装带动连接座21,带动连接座21进行平移,两个滑轨43分别与安装架1内壁的正面与背面固定连接,滑轨43用于安装移动座42,保证移动座42的稳定移动;
[0029]线性电机41与移动座42的背面固定连接,移动座42的正面与背面分别与两个滑轨43的内腔滑动穿插连接,通过线性电机41的运行,带动移动座42在两个滑轨43之间进行平移,带动两个连接座21相向移动,使得下方的E型吸盘座223和F型吸盘座224交错设置,对硅片进行吸取。
[003本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种六轴机械人EF吸盘机构,包括安装架(1)和吸取机构(2),其特征在于,所述吸取机构(2)设置于安装架(1)下方的两侧;所述吸取机构(2)包括两个连接座(21)和吸盘机构(22),两个所述连接座(21)设置于安装架(1)下方的两侧,所述吸盘机构(22)设置于连接座(21)上;所述吸盘机构(22)包括多个E型吸盘(221)和F型吸盘(222),其中一个所述连接座(21)的下表面固定连接有E型吸盘座(223),其中另一个所述连接座(21)的下表面固定连接有F型吸盘座(224);所述E型吸盘座(223)与F型吸盘座(224)上均设置有安装机构(3),所述安装架(1)上设置有移动机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种六轴机械人EF吸盘机构,其特征在于,多个所述E型吸盘(221)等距设置于E型吸盘座(223)的内侧壁之间,多个所述F型吸盘(222)等距设置于F型吸盘座(224)的内侧壁之间。3.根据权利要求1所述的一种六轴机械人EF吸盘机构,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐雷达
申请(专利权)人:江苏创生源智能装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1