一种做L动作的真空插板阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种做L动作的真空插板阀，包括阀板组件、驱动壳体；阀板组件包括阀门壳体和阀板本体；在所述阀门壳体的中部设置有开口，在阀板本体的外侧设置有密封橡胶，所述驱动壳体的内部设置有运动块、分气块、气缸组件、阀杆和滑动杆；气缸组件包括主推气缸和密封气缸，阀杆的一端与阀板本体固定连接，在阀杆上设置有运动块，主推气缸的输出轴与运动块连接；运动块滑动设置在滑动杆上；密封气缸设置在主推气缸的一侧。本实用新型专利技术的整个结构在壳体内没有其他相对运动，避免产生颗粒。阀板本体实现绝对的L

【技术实现步骤摘要】
一种做L动作的真空插板阀


[0001]本技术属于半导体设备
，具体为一种做L动作的真空插板阀。

技术介绍

[0002]半导体行业、光伏行业在生产过程中，对设备、环境洁净度要求很高，对设备中的部件尤其是运动部件工作过程中产生的颗粒度数量有严格的要求。
[0003]常规真空插板阀通过机械结构带动阀板运动并密封，密封动作通过摆杆实现。通过摆杆结构实现阀门密封的动作，阀板上密封圈与密封面必然存在摩擦，同时连杆机构各零件也存在相对运动，从而产生相对摩擦。摩擦必然有颗粒产生，对环境有洁净度要求的行业，如半导体、光伏等，常规真空插板阀并不能使用。
[0004]半导体、光伏等产业对其所有设备零部件都要求低颗粒度。半导体、光伏设备中，真空阀门主要作用是隔断设备各腔体并实现晶圆片在设备各腔体间的传输，该类设备中的真空阀门称为低颗粒度传输阀。这类阀门因直接与设备腔体连通，所以对阀门启闭过程中运动(主要是阀板密封运动)产生的颗粒度有严格的要求。所谓低颗粒度阀门，一方面要求阀门生产过程的洁净度，另一方面最重要是阀门使用(阀门开关)过程中产生的颗粒度少。通常，结构间相对运动、接触因摩擦必然产生颗粒。真空阀门的密封靠压缩橡胶密封圈实现，密封圈的压缩不可避免。所以低颗粒度阀门在设计过程中，对阀板密封结构多采用直推，只留阀板密封动作。但不同密封结构密封动作不同，产生的颗粒度也不同。理论上，密封圈只留垂直压缩动作，没有水平方向的摩擦，其密封过程产生的颗粒度最低。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种做L动作的真空插板阀，以解决
技术介绍
中提出的现有技术中，真空插板阀在使用过程中会产生大量颗粒的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0007]一种做L动作的真空插板阀，包括阀板组件、驱动壳体；其中，阀板组件与驱动壳体连接，阀板组件包括阀门壳体和阀板本体；
[0008]在所述阀门壳体的中部设置有开口，开口用于与连接其他装置，阀板本体滑动设置在阀门壳体的内部，在阀板本体的外侧设置有密封橡胶，密封橡胶用于密封开口；并且，通过驱动阀板本体的上下移动与开口配合，控制阀门的开启或者关闭；
[0009]所述驱动壳体的内部设置有运动块、分气块、气缸组件、阀杆和滑动杆；气缸组件包括主推气缸和密封气缸，其中，阀杆的一端与阀板本体固定连接，在阀杆上设置有运动块，主推气缸的输出轴与运动块连接；运动块滑动设置在滑动杆上；密封气缸设置在主推气缸的一侧，密封气缸包括密封活塞以及推动块，推动块与滑动杆连接。
[0010]根据上述技术方案，在所述驱动壳体的内部设置有第一气路、第二气路、第三气路和第四气路。
[0011]根据上述技术方案，所述第一气路的一端与主推气缸连接，第一气路的另一端与
分气块连接；第二气路的一端与分气块连接，第二气路的另一端与主推气缸连接。
[0012]根据上述技术方案，第三气路的一端与密封气缸连接，第三气路的另一端与分气块连接，第四气路的一端与分气块连接，第四气路的另一端与密封气缸连接。
[0013]根据上述技术方案，所述阀板组件与驱动壳体之间设置有密封板，密封板用于隔开阀板组件和驱动壳体。
[0014]根据上述技术方案，所述密封板上设置有通孔，阀杆穿过通孔与阀板本体连接。
[0015]根据上述技术方案，在所述阀杆的外侧设置有波纹管，波纹管的一端与密封板连接，波纹管的另一端与运动块连接，波纹管用于密封阀板组件。
[0016]根据上述技术方案，所述分气块上设置有气孔、机械开关A和机械开关B，气孔包括第一气孔、第二气孔、第三气孔、第四气孔、第五气孔、第六气孔。
[0017]根据上述技术方案，所述第一气孔与外部气源连接，用于向气缸组件通气或者泄气，第二气孔与外部气源连接，用于向气缸组件通气或者泄气。
[0018]根据上述技术方案，第三气孔与第一气路连接，第四气孔与第二气路连接，第五气孔与第三气路连接，第六气孔与第四气路连接。
[0019]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0020]在本技术中设置有：包括阀板组件、驱动壳体，阀板组件包括阀门壳体和阀板本体；驱动壳体的内部设置有运动块、分气块、气缸组件、阀杆和滑动杆。通过设置在驱动壳体内的运动块、分气块、气缸组件、阀杆和滑动杆的共同作用下，去推动阀板本体密封阀门壳体。
[0021]本技术的整个结构没有在壳体内没有其他相对运动，避免产生颗粒。阀板本体实现绝对的L
‑
MOTION运动，与密封面只有垂直压缩的接触，减小摩擦，减少颗粒度的产生。保证了设备运行过程中的洁净度。
附图说明
[0022]图1为本技术正视结构示意图；
[0023]图2为本技术后视结构示意图；
[0024]图3为本技术驱动壳体内部结构示意图；
[0025]图4为本技术阀板组件内部结构示意图；
[0026]图5为本技术内部整体结构示意图；
[0027]图6为本技术第一气路结构示意图；
[0028]图7为本技术其余气路结构示意图；
[0029]图8为本技术整体部件结构示意图；
[0030]图9为本技术侧视剖视结构示意图；
[0031]图10为本技术分气块结构示意图；
[0032]图11为本技术分气块立体示意图；
[0033]图12为本技术分气块仰视示意图；
[0034]图13为本技术气路连接简图。
[0035]图中标记：1
‑
阀板组件，101
‑
阀门壳体，102
‑
阀板本体，103
‑
开口，104
‑
密封橡胶，2
‑
驱动壳体，201
‑
运动块，202
‑
分气块，203
‑
阀杆，204
‑
主推气缸，205
‑
滑动杆，206
‑
密封气
缸，207
‑
密封活塞，208
‑
推动块，301
‑
第一气路，302
‑
第二气路，303
‑
第三气路，304
‑
第四气路，4
‑
密封板，5
‑
通孔，6
‑
波纹管，7
‑
机械开关A，8
‑
机械开关B，9
‑
第一气孔，10
‑
第二气孔，11
‑
第三气孔，12
‑
第四气孔，13
‑
第五气孔，14
‑
第六气孔。
具体实施方式
[0036]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种做L动作的真空插板阀，其特征在于：包括阀板组件(1)、驱动壳体(2)；其中，阀板组件(1)与驱动壳体(2)连接，阀板组件(1)包括阀门壳体(101)和阀板本体(102)；在所述阀门壳体(101)的中部设置有开口(103)，开口(103)用于与连接其他装置，阀板本体(102)滑动设置在阀门壳体(101)的内部，在阀板本体(102)的外侧设置有密封橡胶(104)，密封橡胶(104)用于密封开口(103)；并且，通过驱动阀板本体(102)的上下移动与开口(103)配合，控制阀门的开启或者关闭；所述驱动壳体(2)的内部设置有运动块(201)、分气块(202)、气缸组件、阀杆(203)和滑动杆(205)；气缸组件包括主推气缸(204)和密封气缸(206)，其中，阀杆(203)的一端与阀板本体(102)固定连接，在阀杆(203)上设置有运动块(201)，主推气缸(204)的输出轴与运动块(201)连接；运动块(201)滑动设置在滑动杆(205)上；密封气缸(206)设置在主推气缸(204)的一侧，密封气缸(206)包括密封活塞(207)以及推动块(208)，推动块(208)与滑动杆(205)连接。2.根据权利要求1所述的一种做L动作的真空插板阀，其特征在于：在所述驱动壳体(2)的内部设置有第一气路(301)、第二气路(302)、第三气路(303)和第四气路(304)。3.根据权利要求2所述的一种做L动作的真空插板阀，其特征在于：所述第一气路(301)的一端与主推气缸(204)连接，第一气路(301)的另一端与分气块(202)连接；第二气路(302)的一端与分气块(202)连接，第二气路(302)的另一端与主推气缸(204)连接。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈泽芸，张魁榜，胡开鹏，齐英，陈林，
申请(专利权)人：四川九天真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：