用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备，所述SIC桨包括桨叶和桨柄，桨叶的一端与桨柄连接；所述桨叶包括桨叶腹板和两块桨叶翼板，桨叶翼板的一侧或两侧高于桨叶腹板。传统SIC桨的桨叶在使用过程中易断裂，本实用新型专利技术SIC桨的桨叶设置了桨叶翼板，可以减少桨叶的弯曲，有效防止桨叶断裂。本实用新型专利技术应用于镀膜设备，一方面可以降低桨叶的弯曲度，防止SIC桨断裂，降低成本，另一方面本实用新型专利技术的SIC桨稳定性好，桨柄固定性好，不易晃动，减少载具脱落的风险，使均匀镀膜，提高产能。产能。产能。

【技术实现步骤摘要】
用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备


[0001]本技术涉及SIC桨领域，尤其是涉及一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着光伏产业的不断发展，降本节能的要求越来越迫切，已经关乎到企业是否能继续生存。因此，提升产能能够给企业较大降低生产制造成本，然而随着产能的进一步提升，同一炉管生产的硅片数量越来越多，SIC桨结构也设计的越来越长， SIC桨承载的重量也越来越大，但随着长度的增加和重量的加大，导致SIC桨更容易断裂和脱落，因此也进一步加大了企业的成本损失。
[0003]相关技术中，SIC承重方式主要是单支桨承重，桨柄部分为方型，桨叶部分为单层或双层，而桨大多断裂在桨叶部分，因此，如何在增加桨长的基础上还能提高桨的承重能力是亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于扩散设备的SIC桨，能够减少桨叶的弯曲、增加SIC桨的承重能力，防止SIC桨断裂。
[0005]本技术还提出了一种镀膜设备，包括所述的SIC桨。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扩散设备的SIC桨，其特征在于，包括：桨叶(11)和桨柄(12)，所述桨叶(11)的一端与所述桨柄(12)连接，所述桨叶(11)包括桨叶腹板(112)和两块桨叶翼板(111)，两所述桨叶翼板(111)分别设置于所述桨叶腹板(112)的一侧，所述桨叶翼板(111)远离所述桨叶翼板(111)与所述桨叶腹板(112)的连接处的一侧或两侧高于所述桨叶腹板(112)。2.根据权利要求1所述的SIC桨，其特征在于：所述桨叶(11)的横截面为工字形。3.根据权利要求1所述的SIC桨，其特征在于：所述桨柄(12)包括桨柄腹板(122)和两块桨柄翼板(121)，两所述桨柄翼板(121)分别设置于所述桨柄腹板(122)的一侧，所述桨柄翼板(121)远离所述桨柄翼板(121)与所述桨柄腹板(122)的连接处的一侧或两侧高于所述桨柄腹板(122)。4.根据权利要求3所述的SIC桨，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，张数俊，罗伟斌，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：