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本实用新型公开了一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备，所述SIC桨包括桨叶和桨柄，桨叶的一端与桨柄连接；所述桨叶包括桨叶腹板和两块桨叶翼板，桨叶翼板的一侧或两侧高于桨叶腹板。传统SIC桨的桨叶在使用过程中易断裂，本实用新型SIC桨的...
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