石英盘取放工具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英盘取放工具，包括：导向杆；固定手柄，固定手柄连接于导向杆的第一端；活动手柄，活动手柄滑动地连接于导向杆；活动手柄的一端设置有托举片，托举片用于抵接于石英盘的底壁，在活动手柄沿着导向杆移动的情况下，托举片带动石英盘移动。通过操纵该石英盘取放工具的活动手柄沿导向杆滑动，可以令活动手柄上设置的托举片带动石英盘同步运动，完成石英盘的取放操作，进而极大程度上降低了取放石英盘的操作难度，并可以在石英盘相对于加热盘的取放过程中，降低碰碎加热盘管上易碎元件的可能性，有利于保护MOCVD工艺的相关设备。相关设备。相关设备。

【技术实现步骤摘要】
石英盘取放工具


[0001]本技术涉及芯片加工工具
，尤其涉及一种石英盘取放工具。

技术介绍

[0002]MOCVD(Metal
‑
organic Chemical Vapor Deposition；金属有机化合物化学气相沉淀)是在激光器芯片制造过程中的关键工序，其作用是在精确温度、压力控制下，为Ⅲ族金属有机化合物、V族氢化物及掺杂源提供所需要的生长环境。
[0003]在执行MOCVD工艺的过程当中，通常需要将待加工的石英盘放置到加热盘管上部，或是从加热盘管上部取下。然而，加热盘管与石英盘之间的间隙通常很小，且加热盘管上设置有一些易碎部件，导致取放石英盘的操作难度较大。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0005]有鉴于此，根据本申请实施例的提出了一种石英盘取放工具，包括：
[0006]导向杆；
[0007]固定手柄，固定手柄连接于导向杆的第一端；
[0008]活动手柄，活动手柄滑动地连接于导向杆；
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英盘取放工具，其特征在于，包括：导向杆；固定手柄，所述固定手柄连接于所述导向杆的第一端；活动手柄，所述活动手柄滑动地连接于所述导向杆；所述活动手柄的一端设置有托举片，所述托举片用于抵接于石英盘的底壁，在所述活动手柄沿着所述导向杆移动的情况下，所述托举片带动所述石英盘移动。2.根据权利要求1所述的石英盘取放工具，其特征在于，所述托举片为弓形片状结构；所述托举片的一侧设置有弓形的支撑壁，所述支撑壁与所述导向杆相垂直，且所述支撑壁用于抵接于所述石英盘的底壁。3.根据权利要求2所述的石英盘取放工具，其特征在于，所述固定手柄包括第一柄杆和第一连接板，所述第一连接板连接于所述第一柄杆的一端，所述导向杆的第一端穿设于所述第一连接板；所述活动手柄还包括第二柄杆和第二连接板，所述第二连接板连接于所述第二柄杆的一端，所述导向杆穿设于所述第二连接板，所述第二连接板可相对于所述导向杆滑动；其中，所述托举片设置于所述第二连接板上，且所述托举片和所述第二柄杆分别位于所述第二连接板相对的两端。4.根据权利要求3所述的石英盘取放工具，其特征在于，所述第一柄杆为直线型杆状结构，所述第一柄杆垂直于所述导向杆设置；所述第二柄杆为L型杆状结构，所述第二柄杆包括相互连接的第一直杆和第二直杆；所述第一直杆垂直于所述导向杆设置，且所述第一直杆的长度方向与所述第一柄杆的长度方向一致；所述第二直杆远离所述第一直...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，孙同享，沈俊龙，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：