一种半导体超纯水系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体超纯水系统，属于超纯水处理技术领域，包括处理箱，所述处理箱的上端一侧设置有入液口，所述处理箱上端远离入液口的一侧设置有盖板，所述处理箱的内部一侧设置有过滤板，所述处理箱的下端设置有储水箱，所述储水箱的一端设置有排液管，所述处理箱的内部远离过滤板的一侧设置有水泵，所述水泵与储水箱之间设置有过滤管，所述处理箱的上端两侧与入液口对应的位置设置有固定板，本实用新型专利技术通过在入液口一侧设置盖盒，当处理箱不使用时可握住弧形板带动盖盒在固定板上转动，盖盒放下后可对入液口起到封堵作用，防止处理箱不使用时外界灰尘等杂质通过入液口进入处理箱中，影响后续处理质量。影响后续处理质量。影响后续处理质量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体超纯水系统


[0001]本技术属于超纯水处理
，具体涉及一种半导体超纯水系统。

技术介绍

[0002]超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
[0003]中国专利公告号:CN211585494U公开了一种实验室超纯水设备，原设备在不使用时不具备对入液口进行封堵的功能，设备不使用时外界灰尘等杂质容易通过入液口进入处理箱中，影响后续处理质量，同时原处理箱上的盖板由于设置在远离第一滤板一侧，不方便将处理箱中的第一滤板取出进行清理。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术提供了一种半导体超纯水系统，具有可对入液口进行封堵，灰尘等杂质不易通过入液口进入处理箱中的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体超纯水系统，包括处理箱，所述处理箱的上端一侧设置有入液口，所述处理箱上端远离入液口的一侧设置有盖板，所述处理箱的内部一侧设置有过滤板，所述处理箱的下端设置有储水箱，所述储水箱的一端设置有排液管，所述处理箱的内部远离过滤板的一侧设置有水泵，所述水泵与储水箱之间设置有过滤管，所述处理箱的上端两侧与入液口对应的位置设置有固定板，两个所述固定板之间通过轴销转动连接设置有盖盒，所述盖盒远离固定板的一端设置有弧形板，所述盖盒远离入液口的一侧设置有固定杆，所述固定杆表面设置有滑套，所述滑套靠近盖盒的一端设置有卡接块二，所述盖盒上端与卡接块二对应的位置设置有卡接块一。
[0006]优选的，所述滑套远离卡接块二的一端设置有横杆，所述滑套与处理箱之间两侧设置有弹簧。
[0007]优选的，所述固定杆设置为矩形结构，所述滑套与固定杆为滑动连接，所述横杆与滑套为焊接一体式结构。
[0008]优选的，所述过滤板远离盖板的一端设置有安装板，所述处理箱与安装板对应的位置设置有安装口，所述处理箱的内部两端与过滤板对应的位置设置有安装滑轨，所述安装板远离过滤板的一端设置有若干连接板，所述连接板上贯穿设置有安装螺栓。
[0009]优选的，所述安装口的内壁通过胶水黏合设置有橡胶密封垫，所述处理箱上设置有与安装螺栓对应的安装孔。
[0010]优选的，所述连接板设置为四个，所述安装板远离过滤板的一端中间位置设置有把手。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过在入液口一侧设置盖盒，当处理箱不使用时可握住弧形板带动
盖盒在固定板上转动，盖盒放下后可对入液口起到封堵作用，防止处理箱不使用时外界灰尘等杂质通过入液口进入处理箱中，影响后续处理质量。
[0013]2、本技术通过在处理箱一端开设安装口，当过滤板需要取出进行清理时将安装螺栓拧下，拉动安装板将过滤板取出进行清理，清理结束后可将过滤板通过安装口塞入处理箱，过滤板顺着安装滑轨滑动，安装板对安装口封堵，之后通过安装螺栓将安装板固定，通过设置安装板方便将过滤板从处理箱中取出进行清理。
附图说明
[0014]图1为本技术立体图；
[0015]图2为本技术处理箱剖视立体图；
[0016]图3为本技术处理箱剖视右视立体图；
[0017]图4为本技术过滤板安装立体图；
[0018]图5为本技术图2的A处放大图；
[0019]图中：1、处理箱；2、盖板；3、盖盒；4、入液口；5、安装板；6、排液管；7、过滤板；8、水泵；9、储水箱；10、过滤管；11、固定杆；12、安装滑轨；13、弧形板；14、安装口；15、安装螺栓；16、连接板；17、固定板；18、卡接块一；19、卡接块二；20、滑套；21、横杆；22、弹簧。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1
[0022]请参阅图1
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5，本技术提供以下技术方案：一种半导体超纯水系统，包括处理箱1，处理箱1的上端一侧设置有入液口4，处理箱1上端远离入液口4的一侧设置有盖板2，处理箱1的内部一侧设置有过滤板7，处理箱1的下端设置有储水箱9，储水箱9的一端设置有排液管6，处理箱1的内部远离过滤板7的一侧设置有水泵8，水泵8与储水箱9之间设置有过滤管10，处理箱1的上端两侧与入液口4对应的位置设置有固定板17，两个固定板17之间通过轴销转动连接设置有盖盒3，盖盒3远离固定板17的一端设置有弧形板13，盖盒3远离入液口4的一侧设置有固定杆11，固定杆11表面设置有滑套20，滑套20靠近盖盒3的一端设置有卡接块二19，盖盒3上端与卡接块二19对应的位置设置有卡接块一18。
[0023]具体的，滑套20远离卡接块二19的一端设置有横杆21，滑套20与处理箱1之间两侧设置有弹簧22。
[0024]通过采用上述技术方案，入液口4需要使用时，通过横杆21带动滑套20在固定杆11上滑动，滑套20带动卡接块二19向上移动，同时弹簧22受到拉伸，之后通过弧形板13转动盖盒3，达到合适位置后松开横杆21，弹簧22收缩带动滑套20向下移动，同时卡接块二19对盖盒3上的卡接块一18进行卡接，从而达到对盖盒3进行固定的效果，防止误触盖盒3将其放下影响入液口4的正常使用。
[0025]具体的，固定杆11设置为矩形结构，滑套20与固定杆11为滑动连接，横杆21与滑套
20为焊接一体式结构。
[0026]通过采用上述技术方案，固定杆11设置矩形结构使滑套20不会在固定杆11上转动，方便卡接块二19和卡接块一18进行卡接，且横杆21与滑套20为焊接一体式结构更加牢固。
[0027]本实施例使用时，当处理箱1不使用时可握住弧形板13带动盖盒3在固定板17上转动，盖盒3放下后可对入液口4起到封堵作用，防止处理箱1不使用时外界灰尘等杂质通过入液口4进入处理箱1中，影响后续处理质量，当入液口4需要使用时，通过横杆21带动滑套20在固定杆11上滑动，滑套20带动卡接块二19向上移动，同时弹簧22受到拉伸，之后通过弧形板13转动盖盒3，达到合适位置后松开横杆21，弹簧22收缩带动滑套20向下移动，同时卡接块二19对盖盒3上的卡接块一18进行卡接，从而达到对盖盒3进行固定的效果，防止误触盖盒3将其放下影响入液口4的正常使用；
[0028]实施例2
[0029]本实施例与实施例1不同之处在于：过滤板7远离盖板2的一端设置有安装板5，处理箱1与安装板5对应的位置设置有安装口14，处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体超纯水系统，包括处理箱(1)，其特征在于：所述处理箱(1)的上端一侧设置有入液口(4)，所述处理箱(1)上端远离入液口(4)的一侧设置有盖板(2)，所述处理箱(1)的内部一侧设置有过滤板(7)，所述处理箱(1)的下端设置有储水箱(9)，所述储水箱(9)的一端设置有排液管(6)，所述处理箱(1)的内部远离过滤板(7)的一侧设置有水泵(8)，所述水泵(8)与储水箱(9)之间设置有过滤管(10)，所述处理箱(1)的上端两侧与入液口(4)对应的位置设置有固定板(17)，两个所述固定板(17)之间通过轴销转动连接设置有盖盒(3)，所述盖盒(3)远离固定板(17)的一端设置有弧形板(13)，所述盖盒(3)远离入液口(4)的一侧设置有固定杆(11)，所述固定杆(11)表面设置有滑套(20)，所述滑套(20)靠近盖盒(3)的一端设置有卡接块二(19)，所述盖盒(3)上端与卡接块二(19)对应的位置设置有卡接块一(18)。2.根据权利要求1所述的一种半导体超纯水系统，其特征在于：所述滑套(20)远离卡接块二(19)的一端设置有横杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡加红，
申请(专利权)人：广东汉岂工业技术研发有限公司，
类型：新型
国别省市：