一种压差稳定型半导体制造无尘室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室，属于半导体制造技术领域，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，本实用新型专利技术通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。制造的安全性。制造的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种压差稳定型半导体制造无尘室


[0001]本技术属于半导体制造
，具体涉及一种压差稳定型半导体制造无尘室。

技术介绍

[0002]专利公告号CN108756317A一种半导体无尘室，其具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。该半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。
[0003]现有技术公开了一种半导体无尘室，原无尘室通过设置排风机对无尘室内部进行换气，但不具备对进入无尘室内部的空气进行干燥处理，当空气中湿度较大进入无尘室中会影响半导体制造的安全性，同时原无尘室的安全性较低，无法对无尘室内部的湿度、温度和烟雾进行监测。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术提供了一种压差稳定型半导体制造无尘室，具有干燥功能，可对进入无尘室的空气进行干燥处理的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，所述框体上端设置有顶板，所述顶板下端设置有粉尘传感器，所述顶板上端前侧设置有警报指示灯，所述顶板上端后侧设置有若干排风机，所述排风机远离警报指示灯的一侧设置有干燥组件。
[0006]优选的，所述干燥组件包括固定管、固定斗、连接管、支撑板、防尘网、除湿网和电热丝，其中，所述排风机远离警报指示灯的一侧设置有固定管，所述固定管与顶板之间通过支撑板连接，所述固定管靠近顶板的一侧设置有固定斗，所述固定斗与顶板之间通过连接管连接，所述固定管内部一侧设置有防尘网，所述防尘网靠近固定斗的一侧设置有除湿网，所述除湿网的另一侧设置有若干电热丝。
[0007]优选的，所述防尘网与固定管之间以及除湿网与固定管之间均通过卡合连接，所述固定斗与固定管为焊接一体式结构。
[0008]优选的，所述连接管与排风机之间以及连接管与固定斗之间均通过法兰连接，所述支撑板与顶板之间以及支撑板与固定管之间均通过点焊焊接。
[0009]优选的，所述顶板下端前侧设置有固定板，所述固定板的两端设置有安装板，所述安装板与顶板之间通过安装螺栓连接，所述固定板下端中间位置设置有烟雾报警器，所述烟雾报警器的一侧设置有湿度传感器，所述烟雾报警器的另一侧设置有温度传感器。
[0010]优选的，所述安装板与固定板之间通过压力焊焊接，所述顶板下端设置有与安装螺栓对应的螺纹孔。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。
[0013]2、本技术通过设置固定板，将固定板两端的安装板通过安装螺栓固定在顶板下端，达到对固定板进行固定的效果，固定板下端的湿度传感器和温度传感器可分别对无尘室中的湿度和温度进行监测，同时固定板下端的烟雾报警器可对无尘室内部进行烟雾监测，当无尘室内部发生火灾时烟雾报警器报警，提高无尘室使用安全性。
附图说明
[0014]图1为本技术立体图；
[0015]图2为本技术仰视立体图；
[0016]图3为本技术固定管剖切立体图；
[0017]图4为本技术图2的A处放大图；
[0018]图中：1、框体；2、防静电围帘；3、垂帘；4、玻璃门；5、警报指示灯；6、顶板；7、排风机；8、干燥组件；81、固定管；82、固定斗；83、连接管；84、支撑板；85、防尘网；86、除湿网；87、电热丝；9、粉尘传感器；10、固定板；11、安装板；12、安装螺栓；13、湿度传感器；14、烟雾报警器；15、温度传感器；16、背板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例1
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供以下技术方案：一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体1，所框体1前端设置有垂帘3，述框体1一端设置有防静电围帘2，框体1另一端设置有玻璃门4，框体1后端设置有背板16，框体1上端设置有顶板6，顶板6下端设置有粉尘传感器9，顶板6上端前侧设置有警报指示灯5，顶板6上端后侧设置有若干排风机7，排风机7远离警报指示灯5的一侧设置有干燥组件8。
[0022]具体的，干燥组件8包括固定管81、固定斗82、连接管83、支撑板84、防尘网85、除湿网86和电热丝87，其中，排风机7远离警报指示灯5的一侧设置有固定管81，固定管81与顶板6之间通过支撑板84连接，固定管81靠近顶板6的一侧设置有固定斗82，固定斗82与顶板6之间通过连接管83连接，固定管81内部一侧设置有防尘网85，防尘网85靠近固定斗82的一侧设置有除湿网86，除湿网86的另一侧设置有若干电热丝87。
[0023]通过采用上述技术方案，通过设置干燥组件8可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。
[0024]具体的，防尘网85与固定管81之间以及除湿网86与固定管81之间均通过卡合连接，固定斗82与固定管81为焊接一体式结构。
[0025]通过采用上述技术方案，卡合连接方便防尘网85和除湿网86的拆装更换，固定斗82与固定管81为焊接一体式结构更加坚固耐用。
[0026]具体的，连接管83与排风机7之间以及连接管83与固定斗82之间均通过法兰连接，支撑板84与顶板6之间以及支撑板84与固定管81之间均通过点焊焊接。
[0027]通过采用上述技术方案，法兰连接方便连接管83的安装，点焊焊接使支撑板84与顶板6之间以及支撑板84与固定管81之间更加牢靠。
[0028]本实施例使用时，压差稳定型半导体无尘室使用时，将装置安装在合适位置，通过排风机7对无尘室内部进行换气，从而保证无尘室内部差压稳定，同时粉尘传感器9可对无尘室内部粉尘进行监测，当无尘室内部粉尘超标时，警报指示灯5报警，通过设置干燥组件8，排风机7工作对无尘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体(1)，其特征在于：所述框体(1)前端设置有垂帘(3)，述框体(1)一端设置有防静电围帘(2)，所述框体(1)另一端设置有玻璃门(4)，所述框体(1)后端设置有背板(16)，所述框体(1)上端设置有顶板(6)，所述顶板(6)下端设置有粉尘传感器(9)，所述顶板(6)上端前侧设置有警报指示灯(5)，所述顶板(6)上端后侧设置有若干排风机(7)，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有干燥组件(8)；所述干燥组件(8)包括固定管(81)、固定斗(82)、连接管(83)、支撑板(84)、防尘网(85)、除湿网(86)和电热丝(87)，其中，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有固定管(81)，所述固定管(81)与顶板(6)之间通过支撑板(84)连接，所述固定管(81)靠近顶板(6)的一侧设置有固定斗(82)，所述固定斗(82)与顶板(6)之间通过连接管(83)连接，所述固定管(81)内部一侧设置有防尘网(85)，所述防尘网(85)靠近固定斗(82)的一侧设置有除湿网(86)，所述除湿网(86)的另一侧设置有若干...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓兆，
申请(专利权)人：广东汉岂工业技术研发有限公司，
类型：新型
国别省市：