一种压差稳定型半导体制造无尘室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室，属于半导体制造技术领域，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，本实用新型专利技术通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。制造的安全性。制造的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种压差稳定型半导体制造无尘室


[0001]本技术属于半导体制造
，具体涉及一种压差稳定型半导体制造无尘室。

技术介绍

[0002]专利公告号CN108756317A一种半导体无尘室，其具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。该半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。
[0003]现有技术公开了一种半导体无尘室，原无尘室通过设置排风机对无尘室内部进行换气，但不具备对进入无尘室内部的空气进行干燥处理，当空气中湿度较大进入无尘室中会影响半导体制造的安全性，同时原无尘室的安全性较低，无法对无尘室内部的湿度、温度和烟雾进行监测。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术提供了一种压差稳定型半导体制造无尘室，具有干燥功能，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体(1)，其特征在于：所述框体(1)前端设置有垂帘(3)，述框体(1)一端设置有防静电围帘(2)，所述框体(1)另一端设置有玻璃门(4)，所述框体(1)后端设置有背板(16)，所述框体(1)上端设置有顶板(6)，所述顶板(6)下端设置有粉尘传感器(9)，所述顶板(6)上端前侧设置有警报指示灯(5)，所述顶板(6)上端后侧设置有若干排风机(7)，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有干燥组件(8)；所述干燥组件(8)包括固定管(81)、固定斗(82)、连接管(83)、支撑板(84)、防尘网(85)、除湿网(86)和电热丝(87)，其中，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有固定管(81)，所述固定管(81)与顶板(6)之间通过支撑板(84)连接，所述固定管(81)靠近顶板(6)的一侧设置有固定斗(82)，所述固定斗(82)与顶板(6)之间通过连接管(83)连接，所述固定管(81)内部一侧设置有防尘网(85)，所述防尘网(85)靠近固定斗(82)的一侧设置有除湿网(86)，所述除湿网(86)的另一侧设置有若干...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓兆，
申请(专利权)人：广东汉岂工业技术研发有限公司，
类型：新型
国别省市：