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本实用新型公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室,属于半导体制造技术领域,包括框体,所述所框体前端设置有垂帘,述框体一端设置有防静电围帘,所述框体另一端设置有玻璃门,所述框体后端设置有背板,本实用新型通过设置干燥组件,排风机工作对无尘室内部进...该专利属于广东汉岂工业技术研发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东汉岂工业技术研发有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室,属于半导体制造技术领域,包括框体,所述所框体前端设置有垂帘,述框体一端设置有防静电围帘,所述框体另一端设置有玻璃门,所述框体后端设置有背板,本实用新型通过设置干燥组件,排风机工作对无尘室内部进...