外光源光控膜厚检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种外光源光控膜厚检测装置，包括：光源、第一透镜、第二透镜、位置编码器、第一光信号接收器、光信号发射器、第二光信号接收器和光学膜厚控制器，光源设置在腔体的外部，第一透镜设置在腔体上，位置编码器设置在中空旋转轴上，第一光信号接收器设置在腔体的内部，与光信号接收器连接；光信号发射器固定在中空旋转轴的底部的轴心位置处，第二透镜设置在腔体的底部，第二光信号接收器设置在腔体的底部外侧上，光信号发射器、第二透镜和第二光信号接收器位于同一直线上；光学膜厚控制器分别与第二光信号接收器和位置编码器连接。本实用新型专利技术能够获取精确和稳定的检测信号。号。号。

【技术实现步骤摘要】
外光源光控膜厚检测装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种外光源光控膜厚检测装置。

技术介绍

[0002]立式转笼式镀膜机因产量高，越来越达到广泛应用。但因其结构特点，产品一般固定在在驱动笼架的里面，在驱动旋转过程中，无法有效对产品有效位置使用光控进行监控。因此无法实现膜层的精确控制，制作复杂、精密的膜系。

技术实现思路

[0003]针对上述技术问题，本技术提供一种外光源光控膜厚检测装置，能够获得精确和稳定的膜厚检测数据。
[0004]本技术采用的技术方案为：
[0005]本技术实施例提供一种外光源光控膜厚检测装置，用于检测镀膜装置中的工件的膜厚，所述镀膜装置包括腔体、中空旋转轴和旋转工作架，所述中空旋转轴设置在所述腔体的内部，所述旋转工作架上设置有测试工件；所述装置包括：光源、第一透镜、第二透镜、位置编码器、第一光信号接收器、光信号发射器、第二光信号接收器和光学膜厚控制器，所述光源设置在所述腔体的外部，所述第一透镜设置在所述腔体上，所述位置编码器设置在位于腔体外的中空旋转轴上，所述第一光信号接收器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外光源光控膜厚检测装置，其特征在于，用于检测镀膜装置中的工件的膜厚，所述镀膜装置包括腔体、中空旋转轴和旋转工作架，所述中空旋转轴设置在所述腔体的内部，所述旋转工作架上设置有测试工件；所述装置包括：光源、第一透镜、第二透镜、位置编码器、第一光信号接收器、光信号发射器、第二光信号接收器和光学膜厚控制器，所述光源设置在所述腔体的外部，所述第一透镜设置在所述腔体上，所述位置编码器设置在位于腔体外的中空旋转轴驱动机构上，所述第一光信号接收器设置在所述腔体的内部，与所述光信号接收器连接；所述光信号发射器固定在所述中空旋转轴的底部的轴心位置处，所述第二透镜设置在所述腔体的底部，所述第二光信号接收器设置在所述腔体的底部外侧上，所述光信号发射器、所述第二透镜和所述第二光信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：安永，
申请(专利权)人：布勒莱宝光学设备北京有限公司，
类型：新型
国别省市：