温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种外光源光控膜厚检测装置，包括：光源、第一透镜、第二透镜、位置编码器、第一光信号接收器、光信号发射器、第二光信号接收器和光学膜厚控制器，光源设置在腔体的外部，第一透镜设置在腔体上，位置编码器设置在中空旋转轴上，第一光信号接...
该专利属于布勒莱宝光学设备（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布勒莱宝光学设备（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。