一种芯片测试探针装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片测试探针装置，包括底座、顶板、升降板，以及设于底座上的电机，电机上设有丝杆，底座上开设有导轨，导轨内滑动卡接有滑座，滑座上设有导滚珠、缓冲腔，缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧，缓冲座上设有IPT帽杆，IPT帽杆上设有芯片，升降板上设有安装块，安装块上设有锁止销、探针电路板，探针电路板上设有测试探针。提高了滑座以及具有芯片的IPT帽杆整体在导轨中的移动顺滑性和防脱性，可实现芯片对测试探针的下压顶力的有效缓冲卸力防护，避免测试探针硬性顶压芯片而造成芯片压伤的情况，实现探针电路板以及测试探针的整体方便拆卸并更换新的整体一套，进而提高了对芯片测试的精准质量。对芯片测试的精准质量。对芯片测试的精准质量。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试探针装置


[0001]本技术涉及芯片测试
，具体为一种芯片测试探针装置。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的研发及大规模生产过程中，均需要对芯片的各类性能进行测试，芯片在制造过程中需要使用测试探针进行测试，以保证芯片品质符合生产需求。
[0003]在公告号CN211905577U中公开了一种芯片测试探针装置，包括底座、步进电机和导向杆，底座上端一侧通过螺栓连接有步进电机，步进电机的传动输出端通过键连接有丝杆，丝杆一侧设置有与底座插接的导向杆，导向杆上滑动连接有升降板，升降板下端中部设置有探针电路板，探针电路板下端中部设置有固定块，固定块下端设置有测试探针，底座上端中部成型有滑轨，滑轨内设置有IPT帽杆，IPT帽杆上端设置有芯片。
[0004]上述芯片测试探针装置具体操作是，装置使用外接电源，且被外部设备控制，IPT帽杆可被送料机构或其他设备推动在滑轨上进行移动，当IPT帽杆携带芯片移动至探针电路板下方时，步进电机工作带动丝杆进行转动，由于丝杆与升降板通过螺纹连接，这样在丝杆转动时，升降板在导向杆的辅助下可进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试探针装置，其特征在于，包括：底座(1)、顶板(14)、升降板(7)，以及设于底座(1)上的电机(12)，所述电机(12)上设有丝杆(13)，所述底座(1)上开设有导轨(101)，所述导轨(101)内滑动卡接有滑座(3)，所述滑座(3)上设有导滚珠(31)、缓冲腔(4)，所述缓冲腔(4)内设有缓冲座(5)、缓冲弹簧(41)，所述缓冲座(5)上设有IPT帽杆(6)，所述IPT帽杆(6)上设有芯片(61)，所述升降板(7)上设有安装块(8)，所述安装块(8)上设有锁止销(9)、探针电路板(2)，所述探针电路板(2)上设有测试探针(21)。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置，其特征在于：所述导滚珠(31)分为左右对称的两组，每组数量为三个并与导轨(101)的内壁滚动接触。3.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾丹萍，秦超强，
申请(专利权)人：深圳市海芯微迅半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：