测试探针清洁方法的粘性吸附方法技术

本发明专利技术测试探针清洁方法的粘性吸附方法涉及半导体技术领域；具体为：启动传动电机顺时针转动，带动主动梯形齿轮顺时针转动，主动梯形齿轮带动螺纹套筒逆时针转动，带动传动轴向下运动，通过固定片带动清洁软胶向下运动至与测试探针的上端面相抵靠，清洁软胶在与测试探针的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，将梅花探头上端面的杂质和灰尘粘在清洁软胶的表面上，调节传动电机逆时针转动，将之前的动作逆方向完成，清洁软胶相上运动至与测试探针的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作；本发明专利技术应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
测试探针清洁方法的粘性吸附方法
[0001]本申请是专利技术专利申请《测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法》的分案申请。
[0002]原案申请日：2020
‑
11
‑
28。
[0003]原案申请号：2020113656141。
[0004]原案专利技术名称：测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法。


[0005]本专利技术测试探针清洁方法的粘性吸附方法涉及半导体


技术介绍

[0006]半导体制造的最后一个制程为测试，测试制程可分为初步测试与最终测试，其主要目的除了发现半导体组件的瑕疵之外，也将依规格划分半导体组件的等级。在测试半导体组件例如芯片的过程中，探针会与半导体组件上的接脚，例如锡球，进行电性接触，以测试该半导体组件的相关电性能，以及评估其功能是否正常，但是由于待测芯片底面的锡球是由金属材料所制成，在重复测试过程中，探针尖端在反复接触锡球后，锡球上的金属氧化物及其它有机材料会堆积在探针尖端。当这些杂质累积一定数量时，需要及时清理，否则会影响探针尖端的特性，使得测试结果变得不准确，甚至沉积严重时还需更换整个测试插座上的测试探针，现有应用较为广泛的探针的探头多为梅花状，尤其是四爪梅花探针应用及其广泛，针对四爪梅花探头的清洁工作主要存在以下问题：第一、主要清洁方式为人工利用刷子进行清洁，存在清洁质量参差不齐，会影响测试结果；第二、即使采用人工清洁，需要将测试插座从测试基座上拆下，在将探针从测试插座中拆卸分离，然后清理，待清理完成后，在逐一安装，会造成生产线停运，影响测试效率和产出；第三、如何针对梅花探头的形状，将沉积在梅花探头棱角端面的杂质去除；第四、如何将清除的杂质灰尘彻底从探头上清除，以保持探头的测试结果的准确性。

技术实现思路

[0007]为了克服现有技术中的上述不足，本专利技术提供了一种测试探针清洁方法，用以解决现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻底清洁干净的问题。
[0008]本专利技术的技术方案：一种测试探针清洁装置，包括清洁构件、夹持构件、测试插座、测试基座和测试探针；所述清洁构件上方设置有夹持构件，所述清洁构件下方设置有测试插座，所述测试插座安装在测试基座上，所述夹持构件能够通过传动机械臂移动控制测试插座上方的清洁构件，能够使清洁构件移动至测试插座内，并与测试插座内的测试探针的探头贴合抵靠，以完
成对测试探针的先刮除累积杂质，再将杂质灰尘从测试插座内吸附清除的工作；所述清洁构件包括套管、密封片、安装板、限位片、活塞、主动梯形齿轮、从动梯形齿轮、传动杆、移动片、弹性件、刮除件、螺纹套筒、传动轴、固定片、清洁软胶、复位弹簧和输出长轴；所述套管通过密封片阵列设置在安装板下端面上，上层限位片与密封片之间可移动设置有活塞，活塞下端的主动梯形齿轮和从动梯形齿轮相啮合，所述从动梯形齿轮两端对称设置有传动杆，传动杆的一端与活塞的一端相连，传动杆的另一端穿过两个限位片与移动片上端面相连，移动片下端面通过弹性件陈列设置有多个刮除件，所述从动梯形齿轮通过螺纹套筒转动设置在下层限位片上，所述传动轴上端穿过螺纹套筒并与螺纹套筒相配合，传动轴的另一端与固定片相连接，所述固定片下端设置有清洁软胶，位于两个限位片之间的传动轴上设置有复位弹簧，所述传动电机设置在一侧的套管侧壁上，传动电机的输出端与输出长轴相连，所述输出长轴穿过阵列设置的套管，套管内的从动梯形齿轮设置在输出长轴上，所述刮除件能够通过活塞进行上下往复运动，并通过弹性件使刮除件的下端面与测试探针的探头的梅花尖端相抵靠，以对梅花尖端上累积的杂质进行刮除，所述清洁软胶能够将清洁的杂质、灰尘进行粘吸在清洁软胶表面，进而从测试插座内将杂质灰尘清除。
[0009]优选的，所述夹持构件包括夹持本体、空气管路、密封板；所述夹持本体内腔下部设置有吸附口，夹持本体内部设有空气管路，所述空气管路的吸气端至吸附口，夹持本体能够通过空气管路下端的吸附口提供吸气，以吸取清洁构件，将清洁构件吸附于夹持本体下端的密封板上，所述夹持本体两端对称开有若干个定位孔。
[0010]优选的，所述测试基座包括基座本体、第一限位夹片、第二限位夹片、第一丝杠螺母、第二丝杠螺母、第一调节螺栓、第二调节螺栓和定位销；所述基座本体侧壁对称开有条形通孔，第一限位夹片和第二限位夹片活动设置在条形通孔内，所述第一限位夹片的左端与第一丝杠螺母相连接，所述第二限位夹片与第二丝杠螺母相连接，所述第一调节螺栓穿过第一丝杠螺母转动设置在基座本体的左端侧壁上，所述第二调节螺栓穿过第二丝杠螺母转动设置在基座本体的右端侧壁上，所述定位销对称设置在基座本体上端，并与所述的定位孔相配合，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔，测试探针的梅花探头能够穿过圆形通孔，设置在测试基座本体内，测试插座安装于基座本体上。
[0011]优选的，所述套管侧壁上开有进气孔，进气孔位于活塞和上层限位片之间，所述进去孔与进气管相连。
[0012]优选的，所述移动片中央开有通孔，传动轴穿过移动片中央的通孔与固定片上端面相连接。
[0013]优选的，所述套管的内径与测试探针的外径相匹配。
[0014]优选的，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔的内径于测试探针的外径相匹配。
[0015]一种测试探针清洁装置的夹持构件，包括夹持本体、空气管路、密封板；所述夹持本体内腔下部设置有吸附口，夹持本体内部设有空气管路，所述空气管路的吸气端至吸附口，夹持本体能够通过空气管路下端的吸附口提供吸气，以吸取清洁构件，将清洁构件吸附于夹持本体下端的密封板上，所述夹持本体两端对称开有若干个定位孔。
[0016]一种测试探针清洁装置的测试基座，包括基座本体、第一限位夹片、第二限位夹片、第一丝杠螺母、第二丝杠螺母、第一调节螺栓、第二调节螺栓；所述基座本体侧壁对称开
有两组条形通孔，第一限位夹片和第二限位夹片活动设置在两组条形通孔内，所述第一限位夹片的左端与第一丝杠螺母相连接，所述第二限位夹片与第二丝杠螺母相连接，所述第一调节螺栓穿过第一丝杠螺母转动设置在基座本体的左端侧壁上，所述第二调节螺栓穿过第二丝杠螺母转动设置在基座本体的右端侧壁上，所述定位销对称设置在基座本体上端，并与所述的定位孔相配合，所述第一限位夹片和第二限位夹片上均阵列开有圆形通孔，测试探针的梅花探头能够穿过圆形通孔，设置在测试基座本体内，测试插座安装于基座本体上。
[0017]一种测试探针清洁方法，包括以下步骤：步骤a、探针固定、调节待清洁的测试探针相对应的基座本体上对称设置的第一调节螺栓和第二调节螺栓，同时顺时针旋转第一调节螺栓和逆时针旋转第二调节螺栓，并旋转相同的圈数，第一调节螺栓和第一丝杠螺母的螺纹作用，使第一丝杠螺母沿着第一调节螺栓的轴向方向拉动第一限位夹片向基座本体外移动一定距离，同时第二调节螺栓与第二丝杠螺母的螺纹作用，使第二丝杠螺母沿着第二调节螺栓的轴向方向拉动第二限位夹片向基座本体外移动与第一限位夹片等量的距离，第一限位夹片和第二限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.测试探针清洁方法的粘性吸附方法，其特征在于：启动套管（1
‑
1）侧壁上设置的传动电机顺时针转动，传动电机通输出长轴（1
‑
17）带动主动梯形齿轮（1
‑
6）顺时针转动，顺时针转动的主动梯形齿轮（1
‑
6）通过从动梯形齿轮（1
‑
7）带动螺纹套筒（1
‑
12）逆时针转动，逆时针转动的螺纹套筒（1
‑
12）的内螺纹和传动轴（1
‑
13）的外螺纹的作用，带动传动轴（1
‑
13）向下运动，向下运动的传动轴（1
‑
13）通过固定片（1
‑
14）带动清洁软胶（1
‑
15）向下运动至与测试探针（5）的上端面相抵靠，清洁软胶（1
‑
15）在与测试探针（5）的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，发生形变的清洁软胶（1
‑
15），能够充分适应测试探针（5）的梅花探头上端面的复杂的棱角端面，将梅花探头上端面的杂质和灰尘完全粘在清洁软胶（1
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺涛，金永斌，丁宁，朱伟，
申请(专利权)人：法特迪精密科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：