镀膜设备和镀膜设备的控制方法技术

本说明书实施方式提供一种镀膜设备，镀膜设备具有负压腔，用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，和质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。通过镀膜设备的负压腔和质谱检测装置共用第一抽气设备，达到了节约设备成本、减少操作步骤的效果，实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备和镀膜设备的控制方法


[0001]本专利技术涉及分析仪器设备领域，具体涉及一种镀膜设备和镀膜设备的控制方法。

技术介绍

[0002]镀膜设备主要指一类需要在较高负压度下，对基片进行镀膜的设备。工作时，需要将基片和靶材放置在负压腔中。由于镀膜设备需要较高的负压环境，因此对负压腔的密封性提出了较高的要求。
[0003]镀膜设备使用一段时间后，工作人员需要对镀膜设备的负压腔进行检漏，查看负压腔是否有缝隙。检漏时，将检漏仪的检漏口连接在镀膜设备的出气口，查看质谱检测装置的信号值是否有变化。现有技术成本大，步骤繁琐。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本说明书的目的在于提供一种方便检测的镀膜设备和镀膜设备的控制方法。
[0005]为了实现上述目的，本说明书提供了一种镀膜设备，所述镀膜设备有负压腔，所述镀膜设备包括用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，所述镀膜设备还包括质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。
[0006]本说明书还提供了一种镀膜设备的控制方法，所述方法包括：启动第一抽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备具有负压腔，所述镀膜设备包括用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，所述镀膜设备还包括质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述负压腔是所述镀膜设备放置镀膜工件的负压工作空间。3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括为所述质谱检测装置提供负压的第二抽气设备，所述第二抽气设备的功率高于所述第一抽气设备；所述第二抽气设备设置在所述第一抽气设备和所述质谱检测装置之间。4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括为所述负压腔提供负压的第三抽气设备，所述第三抽气设备的功率高于所述第一抽气设备；所述第三抽气设备设置在所述第一抽气设备和所述负压腔之间。5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一抽气设备是前级泵，第二抽气设备是分子泵，第三抽气设备是分子泵。6.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括气体出口，所述第一抽气设备从所述负压腔和所述质谱检测装置抽出的气体由所述气体出口排出。7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括检漏阀，所述检漏阀设置在第一抽气设备和第二抽气设备之间；在所述检漏阀打开的情况下，第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括收容所述质谱检测装置与第二抽气设备的机箱。9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述机箱还至少收容所述第二抽气设备的控制装置、检漏阀、压强测量表、漏孔、电源插座、通讯接口、风扇组、电路板其中之一。10.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二抽气设备连接有至少部分伸出所述机箱的负压连接管；所述机箱沿着重力方向的顶壁设置供所述负压连接管穿过的开孔。11.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二抽气设备的控制装置、所述检漏阀、所述压强测量表、所述漏孔设置在所述负压连接管收容于所述机箱内的部分。12.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括设置在所述机箱内的电路板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏兵，渠欣，马辉，聂平岩，
申请(专利权)人：苏州中科科仪技术发展有限公司，
类型：发明
国别省市：