镀膜设备和镀膜设备的控制方法技术

本说明书实施方式提供一种镀膜设备，镀膜设备具有负压腔，用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，和质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。通过镀膜设备的负压腔和质谱检测装置共用第一抽气设备，达到了节约设备成本、减少操作步骤的效果，实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备和镀膜设备的控制方法


[0001]本专利技术涉及分析仪器设备领域，具体涉及一种镀膜设备和镀膜设备的控制方法。

技术介绍

[0002]镀膜设备主要指一类需要在较高负压度下，对基片进行镀膜的设备。工作时，需要将基片和靶材放置在负压腔中。由于镀膜设备需要较高的负压环境，因此对负压腔的密封性提出了较高的要求。
[0003]镀膜设备使用一段时间后，工作人员需要对镀膜设备的负压腔进行检漏，查看负压腔是否有缝隙。检漏时，将检漏仪的检漏口连接在镀膜设备的出气口，查看质谱检测装置的信号值是否有变化。现有技术成本大，步骤繁琐。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本说明书的目的在于提供一种方便检测的镀膜设备和镀膜设备的控制方法。
[0005]为了实现上述目的，本说明书提供了一种镀膜设备，所述镀膜设备有负压腔，所述镀膜设备包括用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，所述镀膜设备还包括质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。
[0006]本说明书还提供了一种镀膜设备的控制方法，所述方法包括：启动第一抽气设备为所述镀膜设备的负压腔和质谱检测装置提供负压；在所述负压腔的压力达到第一阈值的情况下，启动第二抽气设备；其中，所述第二抽气设备的向所述质谱检测装置提供负压；所述第一抽气设备的功率小于所述第二抽气设备；在所述质谱检测装置的压力达到第二阈值的情况下，启动所述质谱检测装置。
[0007]通过镀膜设备的负压腔和质谱检测装置共用第一抽气设备，达到了节约设备成本、减少操作步骤的效果，实现了对镀膜设备方便检测密封性的目的。
附图说明
[0008]图1所示为利用本说明书一实施例提供的镀膜设备的示意图。
[0009]图2所示为利用本说明书一实施例提供的镀膜设备的示意图。
[0010]图3所示为利用本说明书一实施例提供的镀膜设备的示意图。
具体实施方式
[0011]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0012]请参阅图1、图2和图3。本说明书的实施方式提供一种镀膜设备200，所述镀膜设备
200具有负压腔204，所述镀膜设备200包括用于为所述负压腔204提供负压的第一抽气设备217；所述镀膜设备200还包括质谱检测装置220，所述第一抽气设备217能为所述质谱检测装置220提供负压。
[0013]所述负压腔204可以是所述镀膜设备200放置镀膜工件的负压工作空间。所述镀膜工件可以包括基片和靶材，所述基片可以是需要镀膜的工件，所述靶材可以是膜的材料。镀膜时，将基片和靶材都放置在负压腔204中，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，原子团或离子可以沉积在基片表面。为了更好地给基片镀膜，需要气体稀薄的环境，因此对镀膜设备200的负压腔204的密封性提出了更高的要求。
[0014]镀膜设备200使用一段时间后需要对镀膜设备200进行检漏。检漏时，所述质谱检测装置220需要负压环境，所述质谱检测装置220至少包括离子源114，放大器112和内置磁场110。所述内置磁场110既可以由磁铁和磁铁调节组件产生，又可由具有可变电压的电场产生。在洛伦兹力的作用下，由离子源114出来的离子在内置磁场110内产生偏转，形成圆弧形轨道。所述内置磁场110可以通过改变作用力改变进入内置磁场110的离子的偏转轨迹，使离子到达所述放大器112而被检测。为了获得更精确的检测结果，所述质谱检测装置220需要抽气设备提供负压。
[0015]所述第一抽气设备217可以是利用高速旋转的转子对气体分子加速，从而将空气压缩抽走的一种动力设备。所述第一抽气设备217可以是单独的动力设备，也可以是组合的动力设备组。例如，所述第一抽气设备217可以是机械泵216和罗茨泵214的组合抽气设备。
[0016]由于所述质谱检测装置220和所述负压腔204都需要负压环境，且所述质谱检测装置220用于检测所述负压腔204及其连接管道的密封性，因此将所述第一抽气设备217既与所述负压腔204相连，又与所述质谱检测装置220相连，可以减少设备体积，便于员工操作。
[0017]在一些实施方式中，所述镀膜设备200还包括为所述质谱检测装置220提供负压的第二抽气设备222，所述第二抽气设备222的功率高于所述第一抽气设备217。
[0018]所述第二抽气设备222可以是功率高于所述第一抽气设备217的动力设备。所述第一抽气设备217的抽气能力不足的情况下，可以增加所述第二抽气设备222增强抽气能力。例如，第二抽气设备222可以是分子泵。
[0019]在一些实施方式中，所述第二抽气设备222的抽气口的压强达到所述第一阈值时，启动第二抽气设备222。
[0020]所述第一阈值可以是所述第二抽气设备222的启动压强阈值。在一些情况下，所述第二抽气设备222需要启动压强，所述启动压强小于大气压，因此需要与前级泵连接。例如，第二抽气设备222可以是分子泵，第一抽气设备217可以是机械泵，分子泵的功率高于机械泵，机械泵可以作为分子泵的前级泵。
[0021]为了获得更精确的检测结果，所述质谱检测装置220需要远低于大气压的负压环境，所述第一抽气设备217无法满足负压条件的情况下，增加所述第二抽气设备222，可以将所述质谱检测装置220内的环境保持在较稳定的负压范围内。
[0022]所述第二阈值可以是所述质谱检测装置220的启动阈值。为了保护设备，获得更精准的结果，所述质谱检测装置220工作时需要较稳定的负压环境。所述质谱检测装置220的压强值达到所述第二阈值时，启动所述质谱检测装置220。
[0023]在一些情况下，所述镀膜设备200还包括为所述负压腔204提供负压的第三抽气设
备208，所述第三抽气设备208的功率高于所述第一抽气设备217。
[0024]所述第三抽气设备208可以是功率高于所述第一抽气设备217的动力设备。所述第一抽气设备217的抽气能力不足的情况下，可以增加所述第三抽气设备208为所述负压腔204增强抽气能力。例如，第三抽气设备208可以是分子泵。
[0025]在一些实施方式中，所述第三抽气设备208的抽气口的压强达到所述第三阈值时，启动第三抽气设备208。
[0026]所述第三阈值可以是所述第三抽气设备208的启动压强阈值。在一些情况下，所述第三抽气设备208需要启动压强，所述启动压强小于大气压，因此需要与前级泵连接。例如，第三抽气设备208可以是分子泵，第一抽气设备217可以是机械泵，分子泵的功率高于机械泵，机械泵可以作为分子泵的前级泵。
[0027]为了获得更好地镀膜效果，所述负压腔204需要选低于大气压的负压环境，所述第一抽气设备217无法满足负压条本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备具有负压腔，所述镀膜设备包括用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，所述镀膜设备还包括质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述负压腔是所述镀膜设备放置镀膜工件的负压工作空间。3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括为所述质谱检测装置提供负压的第二抽气设备，所述第二抽气设备的功率高于所述第一抽气设备；所述第二抽气设备设置在所述第一抽气设备和所述质谱检测装置之间。4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括为所述负压腔提供负压的第三抽气设备，所述第三抽气设备的功率高于所述第一抽气设备；所述第三抽气设备设置在所述第一抽气设备和所述负压腔之间。5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一抽气设备是前级泵，第二抽气设备是分子泵，第三抽气设备是分子泵。6.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括气体出口，所述第一抽气设备从所述负压腔和所述质谱检测装置抽出的气体由所述气体出口排出。7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括检漏阀，所述检漏阀设置在第一抽气设备和第二抽气设备之间；在所述检漏阀打开的情况下，第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括收容所述质谱检测装置与第二抽气设备的机箱。9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述机箱还至少收容所述第二抽气设备的控制装置、检漏阀、压强测量表、漏孔、电源插座、通讯接口、风扇组、电路板其中之一。10.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二抽气设备连接有至少部分伸出所述机箱的负压连接管；所述机箱沿着重力方向的顶壁设置供所述负压连接管穿过的开孔。11.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二抽气设备的控制装置、所述检漏阀、所述压强测量表、所述漏孔设置在所述负压连接管收容于所述机箱内的部分。12.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括设置在所述机箱内的电路板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏兵，渠欣，马辉，聂平岩，
申请(专利权)人：苏州中科科仪技术发展有限公司，
类型：发明
国别省市：