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本说明书实施方式提供一种镀膜设备，镀膜设备具有负压腔，用于为所述负压腔提供负压的第一抽气设备，和质谱检测装置，所述第一抽气设备能为所述质谱检测装置提供负压。通过镀膜设备的负压腔和质谱检测装置共用第一抽气设备，达到了节约设备成本、减少操作步骤...
该专利属于苏州中科科仪技术发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中科科仪技术发展有限公司授权不得商用。

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