一种静片隔离环一体化组件及其应用制造技术

本申请公开了一种静片隔离环一体化组件及其应用，其技术要点在于：内部固定环作为叶片的内部固定端；外部固定环的外表面固定设置在隔离环的内表面，外部固定环与隔离环共同作为叶片的外部固定端；m个叶片均布分布在内部固定端、外部固定端之间；叶片包括：上表面、下表面、竖向面；上表面包括：第一水平面、第二上斜面；下表面包括：第三下斜面、第四水平面；第一水平面分别与第二上斜面、第三下斜面相邻；第四水平面分别与第三下斜面、竖向面相邻；竖向面分别与第四水平面、第二上斜面相邻；所述第二上斜面与所述第三下斜面平行。采用本申请的技术方案，能够消除气隙反流，优化分子流工况。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及静片隔离环组件这一领域，更具体地说，尤其涉及一种静片隔离环一体化组件及其应用。

技术介绍

1、如图1所示，如cn114593075b所述，涡轮分子泵主要包括：泵壳、涡轮、静片、主轴装配、定子装配、底座、隔离环等。涡轮分子泵通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得密闭腔体所需的高、超高真空环境。

2、隔离环与静片连接以便对静片起支撑稳定作用。静片和隔离环是分子泵中抽速、压缩比等影响分子泵性能指标的关键核心零部件。其中，精片零件的角度，齿长，齿数等关键参数对分子泵的核心指标影响明显；而隔离环则会动静片齿间隙影响明显。

3、因此，对于分子泵而言，隔离环与静片的改进是非常重要的方面。

4、对于分子泵静片、隔离环而言，现有技术总结如表1所示：

5、表1

6、

7、从前述分析可知，现有技术大多针对dn60~dn83口径的磁悬浮分子泵的研究。对于大口径如dn160到dn400口径的静片研究相对较少。>

8、对于dn本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种静片隔离环一体化组件，其特征在于，包括：内部固定环、外部固定环、隔离环、m个叶片；m表示大于等于20的自然数；

2.根据权利要求1所述的静片隔离环一体化组件，其特征在于，外部固定环的厚度范围为：[2mm，4mm]，隔离环的厚度为：[5mm，45mm]。

3.根据权利要求1或2所述的静片隔离环一体化组件，其特征在于，叶片的外部的上部与外部固定环固定，叶片的外部的下部与隔离环固定。

4.根据权利要求1所述的静片隔离环一体化组件，其特征在于，第二上斜面与所述第一水平面之间的倾斜角度为16°。

5.根据权利要求1所述的静片隔离环一体化组件，...

【技术特征摘要】

1.一种静片隔离环一体化组件，其特征在于，包括：内部固定环、外部固定环、隔离环、m个叶片；m表示大于等于20的自然数；

2.根据权利要求1所述的静片隔离环一体化组件，其特征在于，外部固定环的厚度范围为：[2mm，4mm]，隔离环的厚度为：[5mm，45mm]。

3.根据权利要求1或2所述的静片隔离环一体化组件，其特征在于，叶片的外部的上部与外部固定环固定，叶片的外部的下部与隔离环固定。

4.根据权利要求1所述的静片隔离环一体化组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩超，王超，刘立军，白生伟，郇凯旋，李赏，
申请(专利权)人：苏州中科科仪技术发展有限公司，
类型：发明
国别省市：