精密光学磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了镀膜技术领域的精密光学磁控溅射镀膜机；包括机体，机体的内壁开设有镀膜槽，镀膜槽的底部固定连接有正极，正极相互远离两侧的顶部均固定连接有L形块，两个L形块的顶部均贯穿啮合连接有调节螺栓，两个调节螺栓贯穿过L形块的一端均活动连接有限位块，机体内壁的顶部开设有活动槽，活动槽的内壁滑动连接有活动块，活动块的底部固定连接有发射头，活动块由活动车带动，机体内壁的顶部设有承载板，承载板的顶部设置有镀膜材料。本实用新型专利技术的有益效果是：本装置使用简单，在进行磁控溅射镀膜作业时，可对镀膜物品进行小范围的精确镀膜，简化操作，同时避免镀膜物品损坏。坏。坏。

【技术实现步骤摘要】
精密光学磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜
，具体是精密光学磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器。
[0003]随着镀膜机技术的成熟，其引用范围也越来越广阔，在光学领域内也得到广泛使用。在现有的技术中，多数磁控溅射镀膜机均为大面积镀膜作业，若对镀膜物品进行小范围精密镀膜，则无法完成镀膜作业，从而只能将镀膜物品切割都进行镀膜。导致镀膜作业操作繁琐，同时对镀膜物品会造成损坏。因此，本领域技术人员提供了精密光学磁控溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供精密光学磁控溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：精密光学磁控溅射镀膜机，包括机体，所述机体的内壁开设有镀膜槽，所述镀膜槽的底部固定连接有正极，所述正极相互远离两侧的顶部均固定连接有L形块，两个所述L形块的顶部均贯穿啮合连接有调节螺栓，两个所述调节螺栓贯穿过L形块的一端均活动连接有限位块，所述机体内壁的顶部开设有活动槽，所述活动槽的内壁滑动连接有活动块，所述活动块的底部固定连接有发射头，所述活动块由活动车带动，所述机体内壁的顶部设有承载板，所述承载板的顶部设置有镀膜材料。
[0006]作为本技术进一步的方案：所述承载板相互远离的两端顶部均匀固定连接有多个连接块，多个所述连接块的顶部均与位置相匹配机体内壁的顶部固定连接，通过连接块对承载板进行连接限位。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述机体的一端活动连接有柜门，所述机体一侧的顶部活动连接有检修门，通过检修门和柜门方便对机体内部进行检修，同时方便上下料。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述机体顶部远离检修门的一端设有鼓风机，所述鼓风机的外壁固定连接有防护罩，所述防护罩相互远离两端的底部均与位置相匹配的机体顶部固定连接，所述鼓风机的输出端固定连接有导气管，所述导气管远离鼓风机的一端与位置相匹配的机体顶部贯穿活动连接，通过鼓风机配合导气管方便对机体的内部进行降温作业。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述机体一侧的侧壁固定连接有固定块，所述固定块远离机体的一端活动连接有支撑臂，所述支撑臂远离固定块的一端活动连接有控制器，通过控制器对镀膜作业进行监控和操作。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述机体位于固定块顶部的侧壁固定连接有控制按钮，所述控制按钮的输出端与发射头的控制端电性连接，通过控制按钮控制发射头的
启停。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术中，通过机体提供主要安装和工作空间，通过柜门开启方便防止镀膜材料及镀膜物品，然后通过发射头和正极配合使用，对镀膜物品进行镀膜作业；通过控制器控制活动车带动活动块在活动槽内运动，从而调节发射头的位置，实现精确镀膜作业。同时，镀膜作业结束后，可通过检修门配合柜门对内部零部件进行检修，通过鼓风机配合导气管对机体内部进行降温作业。本装置使用简单，在进行磁控溅射镀膜作业时，可对镀膜物品进行小范围的精确镀膜，简化操作，同时避免镀膜物品损坏。
附图说明
[0012]图1为本技术的主视结构示意图；
[0013]图2为本技术中机体的底部剖视结构示意图；
[0014]图3为本技术中正极的结构放大示意图；
[0015]图4为本技术中机体的顶部剖书结构示意图；
[0016]图5为本技术图4中A处的结构放大示意图；
[0017]图6为本技术中承载板的结构放大示意图。
[0018]图中：1、机体；2、柜门；3、防护罩；4、鼓风机；5、导气管；6、检修门；7、控制按钮；8、固定块；9、支撑臂；10、控制器；11、镀膜槽；12、正极；13、限位块；14、L形块；15、调节螺栓；16、活动槽；17、活动块；18、发射头；19、承载板；20、镀膜材料；21、连接块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1～6，本技术实施例中，精密光学磁控溅射镀膜机，包括机体1，机体1的内壁开设有镀膜槽11，镀膜槽11的底部固定连接有正极12，正极12相互远离两侧的顶部均固定连接有L形块14，两个L形块14的顶部均贯穿啮合连接有调节螺栓15，两个调节螺栓15贯穿过L形块14的一端均活动连接有限位块13，机体1内壁的顶部开设有活动槽16，活动槽16的内壁滑动连接有活动块17，活动块17的底部固定连接有发射头18，活动块17由活动车带动，机体1内壁的顶部设有承载板19，承载板19的顶部设置有镀膜材料20。
[0021]其中，承载板19相互远离的两端顶部均匀固定连接有多个连接块21，多个连接块21的顶部均与位置相匹配机体1内壁的顶部固定连接，通过连接块21对承载板19进行连接限位；机体1的一端活动连接有柜门2，机体1一侧的顶部活动连接有检修门6，通过检修门6和柜门2方便对机体1内部进行检修，同时方便上下料；机体1顶部远离检修门6的一端设有鼓风机4，鼓风机4的外壁固定连接有防护罩3，防护罩3相互远离两端的底部均与位置相匹配的机体1顶部固定连接，鼓风机4的输出端固定连接有导气管5，导气管5远离鼓风机4的一端与位置相匹配的机体1顶部贯穿活动连接，通过鼓风机4配合导气管5方便对机体1的内部进行降温作业。
[0022]机体1一侧的侧壁固定连接有固定块8，固定块8远离机体1的一端活动连接有支撑臂9，支撑臂9远离固定块8的一端活动连接有控制器10，通过控制器10对镀膜作业进行监控和操作；机体1位于固定块8顶部的侧壁固定连接有控制按钮7，控制按钮7的输出端与发射头18的控制端电性连接，通过控制按钮7控制发射头18的启停。
[0023]本技术的工作原理是：使用本装置进行精密的磁控溅射镀膜作业时，只需将柜门2开启，将镀膜物品置于正极12的顶部，并转动调节螺栓15，带动限位块13将镀膜物品进行夹紧限位，然后将镀膜材料20置于承载板19的顶部，闭合柜门2，通过控制器10调节活动块17的位置，进而调节发射头18的位置，待发射头18位于我们需要进行镀膜作业区域的顶部时，停止调节，并通过控制按钮7启动发射头18，配合镀膜材料20对物品进行镀膜作业，镀膜作业结束后，可启动鼓风机4，配合导气管5对机体1的内部进行降温作业。
[0024]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.精密光学磁控溅射镀膜机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内壁开设有镀膜槽(11)，所述镀膜槽(11)的底部固定连接有正极(12)，所述正极(12)相互远离两侧的顶部均固定连接有L形块(14)，两个所述L形块(14)的顶部均贯穿啮合连接有调节螺栓(15)，两个所述调节螺栓(15)贯穿过L形块(14)的一端均活动连接有限位块(13)，所述机体(1)内壁的顶部开设有活动槽(16)，所述活动槽(16)的内壁滑动连接有活动块(17)，所述活动块(17)的底部固定连接有发射头(18)，所述活动块(17)由活动车带动，所述机体(1)内壁的顶部设有承载板(19)，所述承载板(19)的顶部设置有镀膜材料(20)。2.根据权利要求1所述的精密光学磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述承载板(19)相互远离的两端顶部均匀固定连接有多个连接块(21)，多个所述连接块(21)的顶部均与位置相匹配机体(1)内壁的顶部固定连接。3.根据权利要求1所述的精密光学磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述机体...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔福顺，
申请(专利权)人：镇江三维真空光学有限公司，
类型：新型
国别省市：