一种溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了溅射装置技术领域的一种溅射镀膜机，包括壳体，壳体的上端固定连接有固定架，固定架的内部固定连接有电机，电机的出轴端与转动杆之间固定连接，转动杆与壳体之间转动连接，转动杆的圆周面固定连接有固定条和旋转架，固定条的前端固定连接有第一夹持装置，旋转架的下端转动连接有第二夹持装置，本实用新型专利技术结构简单，只需要简单操作就可以达到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜机


[0001]本技术涉及溅射装置
，具体是一种溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]随着经济的发展，传统的结构材料不足以满足工业生产的需求，对于功能材料的研究成为经久不衰的热点话题。为提高材料的使用价值和满足不同生产的功能需求，一方面是在传统结构材料熔炼过程中添加特殊化学元素用以增添性能；另一方面，将结构材料作为基体在其上制备功能薄膜，在不损害基体结构性能的前提下，使材料功能多样化。磁控溅射作为一种镀膜方法，因其制备工艺简单，所得薄膜与基体结合力好，膜层均匀致密且膜厚可控等优点使其在生产中的应用越来越广泛，为满足不同尺寸规格工件的需求，对固定基体所用夹具的要求越来越高。
[0003]但是，传统的溅射镀膜机的夹具适用范围小，生产局限性较大，只能夹持固定尺寸的工件，当遇到尺寸较大或者较小的需要镀膜的工件时，只能更换新的镀膜机，从而导致设备的利用率较低。
[0004]因此，本技术提供了一种溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种溅射镀膜机，以解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜机，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的上端固定连接有固定架（3），所述固定架（3）的内部固定连接有电机（2），所述电机（2）的出轴端与转动杆（13）之间固定连接，所述转动杆（13）与壳体（1）之间转动连接，所述转动杆（13）的圆周面固定连接有固定条（12）和旋转架（7），所述固定条（12）的前端固定连接有第一夹持装置，所述旋转架（7）的下端转动连接有第二夹持装置。2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机，其特征在于：所述壳体（1）的前端铰接有开合门（4），所述开合门（4）的前端固定连接有把手（5）。3.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机，其特征在于：所述第一夹持装置包括固定筒（14）、第二手柄（16）、转动盘（22）、盘状螺纹（19）、移动块（17）、底盖（15）、移动槽（21）、锥齿环（23）、转轴（24）和锥齿轮（25），所述固定条（12）的前端固定连接有固定筒（14），所述固定筒（14）的内部转动连接有转动盘（22），所述转动盘（22）的后端固定连接有锥齿环（23），所述锥齿环（23）啮合有锥齿轮（25），所述锥齿轮（25）的上端固定连接有转轴（24），所述转轴（24）的上端固定连接有第二手柄（16），所述转轴（24）与固定筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：钦瑞良，
申请(专利权)人：苏州凯瑞纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：