一种溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了溅射装置技术领域的一种溅射镀膜机，包括壳体，壳体的上端固定连接有固定架，固定架的内部固定连接有电机，电机的出轴端与转动杆之间固定连接，转动杆与壳体之间转动连接，转动杆的圆周面固定连接有固定条和旋转架，固定条的前端固定连接有第一夹持装置，旋转架的下端转动连接有第二夹持装置，本实用新型专利技术结构简单，只需要简单操作就可以达到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。到便于固定不同尺寸的工件进行镀膜的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜机


[0001]本技术涉及溅射装置
，具体是一种溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]随着经济的发展，传统的结构材料不足以满足工业生产的需求，对于功能材料的研究成为经久不衰的热点话题。为提高材料的使用价值和满足不同生产的功能需求，一方面是在传统结构材料熔炼过程中添加特殊化学元素用以增添性能；另一方面，将结构材料作为基体在其上制备功能薄膜，在不损害基体结构性能的前提下，使材料功能多样化。磁控溅射作为一种镀膜方法，因其制备工艺简单，所得薄膜与基体结合力好，膜层均匀致密且膜厚可控等优点使其在生产中的应用越来越广泛，为满足不同尺寸规格工件的需求，对固定基体所用夹具的要求越来越高。
[0003]但是，传统的溅射镀膜机的夹具适用范围小，生产局限性较大，只能夹持固定尺寸的工件，当遇到尺寸较大或者较小的需要镀膜的工件时，只能更换新的镀膜机，从而导致设备的利用率较低。
[0004]因此，本技术提供了一种溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种溅射镀膜机，包括壳体，所述壳体的上端固定连接有固定架，所述固定架的内部固定连接有电机，所述电机的出轴端与转动杆之间固定连接，所述转动杆与壳体之间转动连接，所述转动杆的圆周面固定连接有固定条和旋转架，所述固定条的前端固定连接有第一夹持装置，所述旋转架的下端转动连接有第二夹持装置。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述壳体的前端铰接有开合门，所述开合门的前端固定连接有把手，工作时，拉动把手打开开合门，可以检查壳体内的各个零件是否损坏，同时也可以把需要镀膜的工件放在壳体内。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述第一夹持装置包括固定筒、第二手柄、转动盘、盘状螺纹、移动块、底盖、移动槽、锥齿环、转轴和锥齿轮，所述固定条的前端固定连接有固定筒，所述固定筒的内部转动连接有转动盘，所述转动盘的后端固定连接有锥齿环，所述锥齿环啮合有锥齿轮，所述锥齿轮的上端固定连接有转轴，所述转轴的上端固定连接有第二手柄，所述转轴与固定筒之间转动连接，所述转动盘的前端固定连接有盘状螺纹，所述盘状螺纹螺纹连接有移动块，所述固定筒的内部固定连接有底盖，所述底盖的圆周面开设有移动槽，所述固定筒的圆周面也开设有移动槽，所述移动块与移动槽之间滑动连接，工作时，把需要镀膜的圆筒状工件套在固定筒的圆周面上，然后转动第二手柄，在第二手柄的作用下带动转轴转动，转轴转动带动锥齿轮转动，锥齿轮转动带动锥齿环转动，锥齿环转动带
动转动盘转动，转动盘转动带动盘状螺纹转动，盘状螺纹转动带动移动块沿着移动槽向外移动，随着移动块的移动圆筒状工件逐渐被箍紧，这时停止转动第二手柄，这样圆筒状工件就被牢牢的固定住了。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述底盖的圆周面开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块与移动块之间固定连接，工作时，随着移动块的移动带动限位块在限位槽内移动，随着移动块的移动在限位块和限位槽的作用下使得移动块不会与固定筒脱离。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述第二夹持装置包括双向螺纹杆、滑块、导向杆、夹持板和第一手柄，所述旋转架的下端固定连接有导向杆，所述旋转架的下端转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的下端固定连接有第一手柄，所述双向螺纹杆的圆周面螺纹连接有滑块，所述滑块的后端固定连接有夹持板，所述滑块与导向杆之间滑动连接，工作时，把需要镀膜的工件放置在两个夹持板之间，然后转动第一手柄，在第一手柄的作用下带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆转动在导向杆的作用下使得滑块同时向内或者同时向外移动，滑块移动带动着夹持板移动，随着夹持板的移动，夹持板逐渐夹持固定住需要镀膜的工件，这时该镀膜工件就被牢牢的固定住了。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述双向螺纹杆与滑块之间的螺纹形状为三角形，工作时，由于三角螺纹具有自锁性，使得双向螺纹杆在不发生转动时，滑块可以牢牢的固定在双向螺纹杆的圆周面上。
[0013]有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]通过固定筒、第二手柄、转动盘、盘状螺纹、移动块、底盖、移动槽、锥齿环、转轴、锥齿轮、双向螺纹杆、滑块、导向杆、夹持板和第一手柄的配合下，当圆筒状工件需要镀膜时，把需要镀膜的圆筒状工件套在固定筒的圆周面上，然后根据圆筒状工件的内直径大小开始转动第二手柄，在第二手柄的作用下带动转轴转动，转轴转动带动锥齿轮转动，锥齿轮转动带动锥齿环转动，锥齿环转动带动转动盘转动，转动盘转动带动盘状螺纹转动，盘状螺纹转动带动移动块沿着移动槽向外移动，随着移动块的移动圆筒状工件逐渐被箍紧，当需要镀膜的工件为四边形时，把需要镀膜的工件放置在两个夹持板之间，然后转动第一手柄，在第一手柄的作用下带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆转动在导向杆的作用下使得滑块同时向内或者同时向外移动，滑块移动带动着夹持板移动，随着夹持板的移动，夹持板逐渐夹持固定住需要镀膜的工件，这样无论何种尺寸的工件都可以被固定住并进行镀膜，解决了传统的溅射镀膜机的夹具只能夹持固定尺寸的工件的问题，达到了固定不同尺寸工件的目的。
附图说明
[0016]图1为本技术主视剖面的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术右视的整体结构示意图；
[0018]图3为本技术第一夹持装置的仰视爆炸结构示意图；
[0019]图4为本技术第一夹持装置的俯视爆炸结构示意图；
[0020]图5为本技术图4中A的放大结构示意图。
[0021]图中：1、壳体；2、电机；3、固定架；4、开合门；5、把手；6、双向螺纹杆；7、旋转架；8、
第一手柄；9、导向杆；10、滑块；11、夹持板；12、固定条；13、转动杆；14、固定筒；15、底盖；16、第二手柄；17、移动块；18、限位块；19、盘状螺纹；20、限位槽；21、移动槽；22、转动盘；23、锥齿环；24、转轴；25、锥齿轮。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1～5，本技术实施例中，一种溅射镀膜机，包括壳体1，壳体1的上端固定连接有固定架3，固定架3的内部固定连接有电机2，电机2的出轴端与转动杆13之间固定连接，转动杆13与壳体1之间转动连接，转动杆13的圆周面固定连接有固定条12和旋转架7，固定条12的前端固定连接有第一夹持装置，旋转架7的下端转动连接有第二夹持装置。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜机，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的上端固定连接有固定架（3），所述固定架（3）的内部固定连接有电机（2），所述电机（2）的出轴端与转动杆（13）之间固定连接，所述转动杆（13）与壳体（1）之间转动连接，所述转动杆（13）的圆周面固定连接有固定条（12）和旋转架（7），所述固定条（12）的前端固定连接有第一夹持装置，所述旋转架（7）的下端转动连接有第二夹持装置。2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机，其特征在于：所述壳体（1）的前端铰接有开合门（4），所述开合门（4）的前端固定连接有把手（5）。3.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机，其特征在于：所述第一夹持装置包括固定筒（14）、第二手柄（16）、转动盘（22）、盘状螺纹（19）、移动块（17）、底盖（15）、移动槽（21）、锥齿环（23）、转轴（24）和锥齿轮（25），所述固定条（12）的前端固定连接有固定筒（14），所述固定筒（14）的内部转动连接有转动盘（22），所述转动盘（22）的后端固定连接有锥齿环（23），所述锥齿环（23）啮合有锥齿轮（25），所述锥齿轮（25）的上端固定连接有转轴（24），所述转轴（24）的上端固定连接有第二手柄（16），所述转轴（24）与固定筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：钦瑞良，
申请(专利权)人：苏州凯瑞纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：