【技术实现步骤摘要】
一种48对棒多晶硅还原炉
[0001]本技术涉及多晶硅还原炉
,具体为一种48对棒多晶硅还原炉。
技术介绍
[0002]多晶硅是当今世界电子工业、光电工业以及能源转换技术(太阳能光伏电池)等领域不可缺少的重要基础材料;是生产单晶硅的直接材料;而单晶硅是制作太阳能光伏电池的直接材料。由于太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的广泛性和充足性,绿色环保,所以被认为是最具有希望取代传统化石能源(煤、石油)的新能源。以多晶硅为原料生产的单晶硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料,现代科学研究、航天、军事工业、农业等等都离不开单晶硅,多晶硅还原炉就是生产多晶硅的核心设备,是直接产出多晶硅的设备,我国多晶硅的生产开始于60年代,但规模很小,每年产量只有几吨,品质又低,特别是电子级的多晶硅完全依赖进口。2003年,我们和多家科研、生产单位共同研制了我国第一条300吨/年多晶硅生产线,制作出了当时我国第一台12对棒还原炉,一举打破了国外多年的技术封锁。之后,为了扩大产能的需要,我们又研制了国内第一 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种48对棒多晶硅还原炉,包括还原炉(1),其特征在于:所述还原炉(1)的内部设有多个硅棒(18),多个所述硅棒(18)共有48对,多个所述硅棒(18)以同心圆形式安装布置,且分为五层均布,所述还原炉(1)的内壁内侧设有六个硅棒(18),多个所述硅棒(18)呈依次12、18、24、36个排布,所述还原炉(1)的内壁一侧通过支架固接有温度传感器(17),所述还原炉(1)的一侧连通有观察孔(13),所述观察孔(13)的一侧贴合有双层真空玻璃(14)。2.根据权利要求1所述的一种48对棒多晶硅还原炉,其特征在于:所述双层真空玻璃(14)的下方固接有横杆(15),所述横杆(15)的外壁间隙配合有横筒(16),所述横筒(16)的顶部与观察孔(13)的底部固定连接,所述横筒(16)的底部通孔和横杆(15)的底部凹槽通过螺栓固定连接。3.根据权利要求1所述的一种48对棒多晶硅还原炉,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔺彦东,崔学伟,刘晓,黄锦,胡崇刚,李永明,
申请(专利权)人:开原化工机械容器有限公司,
类型:新型
国别省市: