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一种48对棒多晶硅还原炉制造技术
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下载一种48对棒多晶硅还原炉的技术资料
文档序号:33219573
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本实用新型公开了一种48对棒多晶硅还原炉,多个所述硅棒呈依次12、18、24、36个排布,所述还原炉的内壁一侧通过支架固接有温度传感器,所述还原炉的一侧连通有观察孔,所述观察孔的一侧贴合有双层真空玻璃。本实用新型涉及多晶硅还原炉技术领域,通...
该专利属于开原化工机械容器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过开原化工机械容器有限公司授权不得商用。
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