一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，包括：真空连接支座上安装有冷却套筒，冷却套筒的顶部安装有二级蒸气喷嘴、一级蒸气喷嘴和高温加热套筒，高温加热套筒内设置有双头坩埚，双头坩埚内放置有原子分子固态样品，双头坩埚的底部安装有测温探头，一级蒸气喷嘴和二级蒸气喷嘴均为可替换孔径式设计的蒸气喷出限束准直孔，冷却套筒用于冷却和屏蔽装置内部的高温；高温加热套筒用于加热双头坩埚；测温探头用于原位测量双头坩埚的内部温度；一级、二级蒸气喷嘴用于实现原子分子蒸气束流半径的一级、二级限束和喷射方向的一级、二级准直。与现有技术相比，本发明专利技术能够有效减少高温辐射、精准调控原子分子蒸气的束流半径及喷射方向。半径及喷射方向。半径及喷射方向。

【技术实现步骤摘要】
一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置


[0001]本专利技术涉及原子分子发生源
，尤其是涉及一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置。

技术介绍

[0002]原子分子蒸发和发射装置作为一种中性粒子源，目前已经被广泛应用到各种物理实验技术、镀膜技术、加速器原子分子源技术等领域应用中。而真空环境下的原子分子蒸发装置是基于降低外部压力可降低固体的升华温度这一物理原理制备而成，现有技术中，简单的原子分子束源是一个带有准直小孔的密封气室，经加温密封气室使样品达饱和蒸气压所需温度，原子分子蒸气即可从准直小孔喷射出来。但这种方式容易对外部产生高温辐射，使用时存在安全隐患，此外，这种方式无法对原子分子蒸气的束流半径以及喷射方向进行精密调控，也就不能很好地适用于不同粒子源的需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，以能够在真空环境下实现原子分子蒸发和发射，同时有效减少高温辐射、精准调控原子分子蒸气的束流半径及喷射方向。r/>[0004]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，其特征在于，包括真空连接支座(G)，所述真空连接支座(G)上安装有冷却套筒(C)，所述冷却套筒(C)的顶部从上至下依次安装有二级蒸气喷嘴(A)、一级蒸气喷嘴(B)和高温加热套筒(D)，所述高温加热套筒(D)内设置有双头坩埚(E)，所述双头坩埚(E)内放置有原子分子固态样品，所述双头坩埚(E)的底部安装有测温探头(F)，所述一级蒸气喷嘴(B)和二级蒸气喷嘴(A)均为可替换孔径式设计的蒸气喷出限束准直孔，所述冷却套筒(C)用于冷却和屏蔽装置内部的高温；所述高温加热套筒(D)用于加热双头坩埚(E)；所述测温探头(F)用于原位测量双头坩埚(E)的内部温度；所述一级蒸气喷嘴(B)用于实现原子分子蒸气束流半径的一级限束和喷射方向的一级准直；所述二级蒸气喷嘴(A)用于实现原子分子蒸气束流半径的二级限束和喷射方向的二级准直。2.根据权利要求1所述的一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，其特征在于，所述真空连接支座(G)上焊接有冷却水管，所述真空连接支座(G)的真空密封采用CF35刀口法兰标准，所述真空密封的非刀口面同心设置有用于焊接CF16刀口法兰的管道，所述CF16刀口法兰上安装有CF16四芯真空电极接口，其中，两芯真空电极接口用于连接测温探头(F)，另外两芯真空电极接口用于连接至高温加热套筒(D)。3.根据权利要求1所述的一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置，其特征在于，所述冷却套筒(C)包括密封空心圆柱套筒，所述密封空心圆柱套筒的底部对称地安装有两根不锈钢管，所述不锈钢管用于刚性支撑密封空心圆柱套筒。4.根据权利要求3所述的一种微型原...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄良玉，陈纪辉，钱育圆，何贞岑，江紫环，傅云清，姚科，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：