【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种以纯度极高的氧为原料气体，生产不含有氮氧化物(NOx)的纯净、高浓度臭氧气体的臭氧发生装置。
技术介绍
在1.0mm左右或以上的放电空隙长度中工作的过去的无声放电式臭氧发生装置，正如专利文献1和专利文献2中示出的那样，放电空间里的放电是由很多流光状微小放电柱构成的。在这种情况下，只要增加放电柱的发生部位就能够促进电子与氧分子的碰撞，提高臭氧的发生效率。在专利文献1中指出，为了增加放电柱的发生部位，将电介体的表面电阻(表面电阻率)控制在109Ω～1013Ω，在专利文献2中指出，为了使电荷更容易在电极表面蓄积，在电介体的与空隙部接触的表面形成表面电阻(表面电阻率)大于等于1011Ω的高阻值膜。众所周知，即使放电空隙长度控制在1.0mm或更小，形成了能够生成极高浓度臭氧的状态时，若原料气体是纯度极高的氧(纯度≥99.9％)，则如果原料气体中不添加氮和二氧化碳也不能维持臭氧发生的高效率。从前为了解决这个问题，正如在专利文献3中提到的，只要在电极表面层叠的电介体(至少表层部分)中，含有金属元素量比率大于等于10％重量百分比的氧化钛，则即使不添加氮，也能...
【技术保护点】
一种臭氧发生装置，具有通过施加交流电压而发生放电的两个电极和设置在上述电极间的至少一个电介体，向发生上述放电的放电空间内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧，其特征在于：在至少一个上述电极和放电空间之间的与上述放电接触的面的表面电阻率为１０↑［４］Ω～１０↑［１１］Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度大于等于９９．９％的高纯度氧。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：和田昇，葛本昌树，稻永康隆，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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