光学装置以及光学装置的制造方法制造方法及图纸

降低光学单元的在用于反射或透射的端面上的散射损失，并且容易且低成本地制造该端面。作为光学装置的光波导电缆（２）作为光学单元具备：作为光波导的芯层（２３１、２３２）以及覆盖芯层（２３１、２３２）的包层（２１、２２），芯层（２３１、２３２）及包层（２１、２２）具有作为用于反射光的加工面的切割面（２４１），在切割面（２４１）上具备平滑化膜（２４２）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
一直以来，在光通信方面，考虑具备用于折弯(转换)激光光路的光路转换部的光学装置。例如，为了将光路折弯90° ，考虑在光纤、平面光波回路 (PLC: Planar Light wave Circuit )、光波导电缆等的光波导上形成镜面的结构。图12表示现有的光缆的光波导电缆2B的剖面结构。在利用电信号及光信 号的转换进行光通信的光缆中，如图12所示，作为光信号的发送路径的光波 导电缆2B具备包层21、 22、芯层231而构成，在其端面形成有相对于光路具 有45°的角度的镜面部24B。镜面部24B具有包层21、 22及芯层231通过45°的刀片的切割来切削的 切割面241 。从VCSEL ( Vertical Cavity Surface Emitting LASER:面发光激光 器)3U射出的激光被切割面241反射并在芯层231内传输。也就是说，通过 利用了切割面241中的空气和芯层231的折射率差的反射来进行光路转换。在 作为光信号的接收路径的光波导电缆中也同样，在芯层内传输的激光被切割面 反射并入射到未图示的PD ( Photo Diode )中。另外，考虑了在作为上述镜面的倾斜面上形成有电介质多层膜，并且只反 射规定波长的结构(例如，参照专利文献l)。另外，考虑了在上述倾斜面上蒸镀金、银或铝的结构(例如，参照专利文 献2、 3)。如，参照专利文献3)。专利文献l:特开平1-312514号公报 专利文献2:特开昭63 - 191111号公报 专利文献3:特开平10-300961号公报但是，在现有的如图12所示的镜面结构中，因切割面241的凹凸发生了散射。例如，即使切割面241表面的粗糙度Ra为10也发生散射。具体地 说，通过激光L8的在切割面241的反射，在反射光L71向芯层23射出的同 时，散射光L72向空中射出。因此，存在反射率降低，也就是传输损失(散 射损失)增大的问题。在专利文献l所记载的在倾斜面上形成电介质多层膜的方法中，形成膜的 目的不同，依然没有消除散射损失。而且，在专利文献2、 3所记载的在倾斜 面上蒸镀金、银、铝的方法中，依然没有消除散射损失。而且，在专利文献3所记载的在倾斜面的V槽中填充紫外线硬化树脂的 方法中，依然没有消除散射损失。再有，由于V槽是必需的，所以适用对象 被限定，依然没有消除散射损失，而且材料成本升高。为了防止上述散射损失，希望使镜面平滑化。例如，考虑利用激光制作镜 面的方法。但是，利用激光的方法不能提高镜面的倾斜角度的精度。除此之外，还考虑了在形成切割面后进行研磨的方法。但是，进行研磨的 方法其工序复杂。例如，为了研磨必须将光波导暂时贴在基板上。伴随该作业 的复杂化，成本变高。再有，还考虑了将切割用的刀片做成齿细小的刀片来进行减小表面的凹凸 的切割的方法。但是，就齿细小的切割而言，在光波导材料为聚合物系等的情 况下，存在堵塞刀片的齿的危险。另外，不仅在光波导的镜面，而且在光波导 的光的透射面(入射面或射出面)的加工加面或光波导以外的光学单元也同样 有降低散射损失的要求。
技术实现思路
本专利技术的课题是在降低光学单元的在用于反射或透射的端面上的散射损 失的同时，容易且低成本地制作该端面。为了解决上述课题，方案一所记载的专利技术的光学装置，其特征在于，具备 光学单元，上述光学单元具有用于光的反射或透射的加工面，在上述加工面上 具备平滑化膜。方案二所记载的专利技术，在方案一所记载的专利技术中，其特征在于，上述光学 单元具备作为光波导的芯和覆盖上述芯的包层。方案三所记载的专利技术，在方案二所记载的光学装置中，其特征在于，上述方案四所记载的专利技术，在方案二或三所记载的光学装置中，其特征在于， 上述芯为多层。方案五所记载的专利技术，在方案一至四中任一项所记载的光波导装置中，其 特征在于，具备向上述平滑化膜射出光的发光单元、接收由上述平滑化膜反射 的光的受光单元、相对上述平滑化膜射出或接收光的光传输单元中的至少一 个。方案六所记载的专利技术的光学装置的制造方法，其特征在于，包括形成光 学单元的光学单元形成工序；在上述光学单元上形成用于光的反射或透射的加 工面的加工面形成工序；以及，在上述加工面上形成平滑化膜并做成光学装置 的平滑化膜形成工序。方案七所记载的专利技术，在方案六所记载的光学装置的制造方法中，其特征 在于，上述光学单元形成工序是将作为光波导的芯及覆盖该芯的包层作为上述 光学单元而形成的工序。方案八所记载的专利技术，在方案七所记载的光学装置的制造方法中，其特征 在于，在上述平滑化膜形成工序中，利用与上述芯的折射率相同或大致相同的 折射率的材料形成上述平滑化膜。方案九所记载的专利技术，在方案七或八所记载的光学装置的制造方法中，其 特征在于，在上述光学单元形成工序中，将上述芯形成多层。方案十所记载的专利技术，在方案六至九中任一项所记载的光学装置的制造方 法中，其特征在于，在上述平滑化膜形成工序中，利用在上述加工面上滴下上 述平滑化膜的液体状材料、涂敷及喷雾的任一种而形成上述平滑化膜。本专利技术的效果如下。根据方案一、六所记载的专利技术，由于在光学单元的加工面上具有平滑化膜， 所以能够降低在光学单元的端面的反射或透射时的散射损失，并且能够容易且 低成本地制作作为该端面的加工面及平滑化膜。根据方案二、七所记载的专利技术，能够降低在芯层及包层的光波导的端面的 反射或透射时的散射损失，并且能够容易且低成本地制作作为该端面的加工面及平滑化膜。根据方案三、八所记载的专利技术，由于平滑化膜具有与芯相同或大致相同的 折射率，所以能够进一步降低端面的散射损失。根据方案四、九所记载的专利技术，由于将芯做成多层，所以能够在多个光波 导进行光传输。根据方案五所记载的专利技术，由于具备发光单元、受光单元及光传输单元中 的至少一个，所以能够很容易地实现降低了光学单元的端面的散射损失的光传 输。根据方案十所记载的专利技术，利用在加工面上滴下平滑化膜的液体状材料、 涂敷及喷雾的任意 一种，能够容易且高精度地形成平滑化膜。 附图说明图1是涉及本专利技术的实施方式的光缆1的外观图。图2是光波导电缆2和连接器3内的收发组件3a的连接部分的立体图。图3是图2的收发组件3a的m - III线上的剖视图。图4A是光波导电缆2的光发送部分的剖视图。 图4B是光波导电缆2的光接收部分的剖视图。 图5A是表示未形成镜面部24的光波导电缆的图。 图5B是表示形成切割面241后的光波导电缆的图。 图5C是形成镜面部24后的光波导电缆的图。 图6A是表示仅形成了切割面的镜面部的SEM像的图。 图6B是表示形成了平滑化膜242的镜面部24的SEM像的图。 图7是表示仅形成了切割面的镜面部和形成了平滑化膜242的镜面部24 的粗糙度的图。图8表示具有仅形成了切割面的镜面部的光波导电缆和具有形成了平滑 化膜242的镜面部24的光波导电缆2上的向PD的入射量的图。 图9是使用了光纤7的光波导电缆2的剖视图。 图10是光波导电缆8的剖视图。 图11是反射部9以及光波导电缆2A的剖视图。 图12是现有的光缆的光波导电缆2B的剖视图。具体实施例方式以下，参照附图对涉及本专利技术的实施方式进行详细说明。但是本专利技术的范 围并不限定于图示例。首先，参照图1 图4B对本实施方式的光缆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学装置，其特征在于，　具备光学单元，　上述光学单元具有用于光的反射或透射的加工面，　在上述加工面上具备平滑化膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中根健智，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]