【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种位置检测装置。
技术介绍
已知基于光学原理的位置检测装置，其用于高精度位置检测，该装置为产生与位移有关的输出信号中利用两个不同的被叠加的分光束之间的干涉现象。在这种位置检测装置中经常采用激光器作为光源，该光源提供具有足够相干特性的光。对于所用的激光器可以是气体激光器、固体激光器或者也可以是半导体激光器以及二极管激光器。前者例如用于由干涉仪构成的位置检测装置，后者用于位置检测装置，该装置为了产生与位移有关的输出信号并还包括一个或多个光栅。在两种激光器类型中都需要保证供给波长的稳定性，因为在各波长变化的情况下对于位置确定将产生错误检测。该供给波长的缓慢漂移尤其在与干涉仪组合应用的情况下将导致被检测位置的变化；在光栅位置检测装置时对此产生的相应影响较小。在许多检测状况中，如果必须只在非常短的时间内进行相对检测，则各波长的缓慢漂移只起到微小影响。与此相反，如果在各波长中出现快速变化，则在这些应用中也是关键的。但是对于不同类型的单模激光器，无论是气体、固体或半导体激光器恰恰可能出现这种状况。其原因在于增益分布图和谐振模式在不同程度上取决于温度或其它影响...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：W·霍尔扎普菲尔，U·林尼曼，
申请(专利权)人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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