光均匀化显微影像装置制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种光均匀化的显微影像装置，其主要是在入射光源与分光单元之间置放一光绕射单元，以使得入射光源所提供的入射光成为一均匀化入射光，该均匀化入射光经由分光单元以大面积照射样品，由样品激发出来的光信号透射分光单元，继而透射滤光片，而被影像撷取单元接收获得该样品的影像。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种区域影像(Global Image)装置，尤指一种光均匀化的显微影像装置，其可应用到许多领域，例如区域影像式的萤光系统或区域影像式的拉曼系统。
技术介绍
在检测物体的化学成分杂质和缺陷时，一般光学影像方式无法观察，必须借助化学影像技术。即利用激光激发样品所量测到的电子能阶(Electronic State)或振动能阶(Vibration State)光谱，来获得样品的化学键结资讯。而化学影像技术的点扫描(Point Scan)、线扫描(Line Scan)和区域影像(Global Imaging)三种量测方法中，在光能量密度(W/cm 2)固定的情况下，以区域影像的取向速度最快，因为可直接以光照明的大面积为范围用阵列侦测器取像，不需扫描样品或入射光束，即可获得二维的化学影像，有量测速度上的优越性。但因入射光为高斯光束(Gaussian Beam)，光束截面有中央强、周围弱的不均匀特性(如图1所示)，造成所激发出来的化学影像会有严重的不均匀性，极易造成样品浓度辨识的误判，例如图2显示样品A及样品C的光谱反应并不等于样品B的光谱反应，因而限制了区域影像的发展，迫切本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光均匀化的显微影像装置，其特征在于，主要包括：　　　　一入射光源，是提供一入射光；　　　　一光绕射单元，是接收该入射光，并使得该入射光成为一均匀化入射光；　　　　一分光单元，是反射该均匀化入射光，并使得该均匀化入射光照射至少一样品，以供由该至少一样品激发一光信号，该光信号并能穿透该分光单元；以及　　　　一影像撷取单元，是接收穿透该分光单元的光信号，以获得该至少一样品的影像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩伟，叶迎春，柯俊宏，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]