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本发明是有关于一种光均匀化的显微影像装置，其主要是在入射光源与分光单元之间置放一光绕射单元，以使得入射光源所提供的入射光成为一均匀化入射光，该均匀化入射光经由分光单元以大面积照射样品，由样品激发出来的光信号透射分光单元，继而透射滤光片，而被...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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