以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统技术方案

以猫眼作为腔镜的位移自传感ＨｅＮｅ激光器系统，包括一支由放电管、固定在该放电管一端的激光输出镜、置于放电管另一端的可移动激光反射镜组成的半内腔激光器，设置在该激光器腔内的双折射元件，设置在该激光器腔外光轴上激光输出镜一端的偏振分光镜以及接收并处理由该镜分出的两束偏振光的两个光电探测器、两个放大器及信号处理和位移量显示电路，其特征在于：所述的激光反射镜是一与可在装有弹簧的导轨上移动的测杆固连于一起的猫眼，所述的猫眼由双面镀增透膜的凸面镜和镀有高反膜的凹面反射镜构成，而且该凸透镜和凹面反射镜之间的间距是可调的。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统属于激光位移传感

技术介绍
中国专利“位移自传感HeNe激光器系统及其实现方法”(ZL 199103514.3)综合利用几种激光物理现象，如激光频率分裂现象、激光模竞争现象、激光功率调谐现象等，将一支普通HeNe激光器改造成一种不利用干涉现象但具有自标定功能又相对简单的位移传感仪器。该方法具有λ/8的位移测量分辨率(对于波长为0.6328μm的HeNe激光器，λ/8为79nm)。这一专利技术的主体结构是一支普通的半内腔HeNe激光器，其两个反射腔镜之一作为动镜固连在一直线导轨(测杆)上以便可沿激光器光轴做轴向移动。该方法有广泛的潜在应用前景。但是，因其不能克服如下问题以至在仪器化的过程中遇到了困难。位移自传感HeNe激光器系统测量物体位移时，待测物体的位移是通过测杆的移动传递给激光器腔镜的。测杆在移动过程中会因其直线性误差和间隙而摆动，并带动激光器的腔镜摆动，从而造成光腔失谐(即两个腔镜的平行性被破坏)。因此，在测杆的移动中，激光器的输出光强极不稳定，忽大忽小、时强时弱，甚至常常停止出光。故已有位移自传感HeNe激光器的测量范围本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张书练，杜文华，李岩，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：