倾斜空腔半导体激光器及其制造方法技术

一种新颖的半导体激光器类型，或叫“倾斜空腔激光器”，包括至少一个具有有源区的有源单元，该有源区通过注入电流及反射镜，产生光增益。该有源单元放在空腔内。该空腔的设计，能使谐振光学模的光路，既对垂直方向倾斜，也对横向平面倾斜。因此，为该谐振光学模提供了垂直方向及横向方向两个方向上的反馈。与具体的实施例有关，该激光器既可作为表面发射激光器工作，也可作为边缘发射激光器工作。采用倾斜光学模，能在底部和顶部干涉反射器中，比常规激光器使用显著少得多的层。这样可以维持必需的高的反射系数。还实现一种边缘发射的波长稳定激光器。该波长稳定性，是由于色散定律对不同折射率各层中的倾斜光学模的差别。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体装置领域。更具体说，本专利技术属于表面发射激光器和波长稳定边缘发射激光器领域。
技术介绍
半导体激光器在光纤传输及信号放大系统、波分复用传输系统、波分交换系统、和波长交叉连接系统中，以及在光测量领域中，都起着重要作用。半导体激光器的一个主要问题，是能带隙随温度变化，导致不希望的发射光波长对温度的依赖性，特别是对高输出功率的运行。解决波长稳定性的一种途径，包括使用分布反馈激光器。该种途径的一些例子，包括U.S.Patent No.3,760,292，标题为“INTEGRATEDFEEDBACK LASER”，1973年9月18日颁布，和U.S.Patent No.4,740,987，标题为“DISTRIBUTED-FEEDBACK LASER HAVINGENHANCED MODE SELECTIVITY”，1988年4月26日颁布。对边缘发射半导体激光器，分布反馈一般通过半导体内折射率的横向调制实现，或通过光纤的形状调制实现。分布反馈增强激光器辐射光学模的选择性。发射光波长的固定是通过装置的设计，于是，装置的温度依赖性归结为折射率的温度变化，它比那些由于能带隙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器，包括：ａ）底部反射器；ｂ）顶部反射器；和ｃ）位于底部反射器及顶部反射器之间的空腔，该空腔包括位于空腔内的有源区，其中该空腔及有源区的设计，能使空腔内光的传播方向，既倾斜于横向平面法线，也相对于该横向 平面本身倾斜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：尼克莱N登特索韦，维特利A舒金，
申请(专利权)人：尼克莱N登特索韦，
类型：发明
国别省市：DE[德国]