一种尾气颗粒物传感器检测芯片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种尾气颗粒物传感器检测芯片，包括：第一基体层、第二基体层、敏感电极和加热器；第一基体层设于第二基体层上方，且第一基体层上表面涂覆第一绝缘层，敏感电极印刷于第一绝缘层之上，加热器印刷于第二基体层之上，且加热器和敏感电极的位置相对应；第二基体层的底面上设置有加热器接触端子，第二基体层上设置有通孔，通孔设置在加热器接触端子相对应的位置，且通孔内填充有与加热器相同材质的金属材料，通孔连通加热器和加热器接触端子。本实用新型专利技术可以配合传感器电控单元，用于准确测量尾气经过颗粒物过滤器后的剩余颗粒物含量。剩余颗粒物含量。剩余颗粒物含量。

【技术实现步骤摘要】
一种尾气颗粒物传感器检测芯片


[0001]本技术涉汽车尾气处理及
，更具体的说是涉及一种尾气颗粒物传感器检测芯片。

技术介绍

[0002]经过多年持续发展，内燃发动机技术基本成熟，但发动机排出的废气(如CO、HC、NOx、PMs等)仍可能带来严重影响。因此，内燃机采用了尾气后处理系统来减少有害排放，其中，尾气颗粒物过滤器是用于消除尾气红排放的颗粒物的装置。
[0003]目前市面上的颗粒物传感器为电阻累积性颗粒物传感器，通过颗粒物在芯片电极表面不断累积直至加热器被加载加热电压，颗粒物开始被燃烧，该颗粒物累积的过程为响应时间，响应时间的长短表征颗粒物累积的程度，被发动机控制单元用于评估DPF颗粒物过滤器的过滤效率，然而，电阻累积型颗粒物传感器仍存在以下缺点：
[0004]首先在检测周期的第一阶段(死区)，初始电阻无穷大，电阻值变化较小(仅从无穷大到数十兆欧姆)，因此传感器的响应时间较长。其次，在检测周期的其他阶段，阻值变化仍不大(最小只到0.1兆欧姆左右)，传感器对噪声比较敏感。再次，在再生阶段，电阻值逐渐恢复到无穷大，阻值无本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气颗粒物传感器检测芯片，其特征在于，包括：第一基体层、第二基体层、加热器和至少两个敏感电极；所述第一基体层设于所述第二基体层上方，且所述第一基体层上表面涂覆第一绝缘层，所述敏感电极均印刷于所述第一绝缘层之上，所述加热器印刷于所述第二基体层之上，且所述加热器和所述敏感电极的位置相对应；所述敏感电极均为梳状，且两个所述敏感电极间隔交错设置；所述第二基体层的底面上设置有加热器接触端子，所述第二基体层上设置有通孔，所述通孔设置在所述加热器接触端子相对应的位置，且所述通孔内填充有与所述加热器相同材质的金属材料，所述通孔连通所述加热器和所述加热器接触端子；所述第一基体层和所述第二基体层均为氧化铝流延薄片叠层压制后形成的板状结构，厚度为1.2
‑
1.4mm；所述敏感电极的印刷厚度为8
‑
12μm，所述敏感电极包括铂金梳状电极或钨合金梳状电极，所述铂金梳状电极或所述钨合金梳状电极之间的梳齿相互交错设置，且每条梳齿之间的间距为30
‑
100μm；所述铂金梳状电极或所述钨合金梳状电极内的每条梳齿宽度为60
‑
100μm。2.根据权利要求1所述的一种尾气颗粒物传感器检测芯片，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈石煤，
申请(专利权)人：东莞聚德寿科技有限公司，
类型：新型
国别省市：