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一种尾气颗粒物传感器检测芯片制造技术
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文档序号:33136313
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本实用新型公开了一种尾气颗粒物传感器检测芯片,包括:第一基体层、第二基体层、敏感电极和加热器;第一基体层设于第二基体层上方,且第一基体层上表面涂覆第一绝缘层,敏感电极印刷于第一绝缘层之上,加热器印刷于第二基体层之上,且加热器和敏感电极的位置...
该专利属于东莞聚德寿科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞聚德寿科技有限公司授权不得商用。
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