一种全自动晶圆贴蜡机制造技术

本发明专利技术公开了一种全自动晶圆贴蜡机，包括晶圆供应单元、机械手、晶圆清洗单元、对中单元、滴蜡单元、双臂晶圆移栽单元、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、陶瓷盘加热单元、周转单元、冷却单元及载具，晶圆经过晶圆供应单元、机械手、晶圆清洗单元、对中单元、双臂晶圆移栽单元、滴蜡单元、晶圆翻转单元、陶瓷盘加热单元、晶圆压紧单元、周转单元、冷却单元完成与陶瓷盘的组装；本发明专利技术实现了自动上料、自动清洗、自动滴蜡、自动烘烤、自动翻转、自动压紧、自动加热、自动周转、自动冷却功能与一体，大大提高了产品的生产效率，实现了自动化生产。实现了自动化生产。实现了自动化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动晶圆贴蜡机


[0001]本专利技术涉及一种全自动晶圆贴蜡机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；
[0003]随着中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。
[0004]现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。然而现有技术中，也有晶圆片的贴片、清洗、铲片，以及陶瓷盘的清洗、存放等的自动化设备，但这些设备结构都较为复杂，使用时工作程序较为繁琐；又由于晶圆片表面要求较高，转移过程无法避免发生碰撞或者晶圆片表面沾上灰尘，从而影响产品质量，这就使得晶圆的加工效率极低；如申请号为：“CN201910746988.9”一种全自动晶圆片清洗贴片一体机：“包括陶瓷盘清洗输送线及晶圆片贴片线，所述陶瓷盘清洗输送线用于清洗陶瓷盘并将陶瓷盘送入晶圆片贴片线，所述晶圆片贴片线为两条，分别对应设置在陶瓷盘清洗输送线的输出端，用于对清洗后陶瓷盘贴晶圆片；所述陶瓷盘清洗输送线上设置有陶瓷盘上料机构及陶瓷盘清洗机构，所述陶瓷盘上料机构用于取出存放的陶瓷盘，所述陶瓷盘清洗机构对应设置在陶瓷盘上料机构的输出端，用于接收陶瓷盘上料机构输送过来的陶瓷盘并对陶瓷盘进行垂直清洗；所述晶圆片贴片线上设置有承载篮机构、刷洗甩干机构、匀蜡机构、烘烤机构、整形寻边机构、贴片平片机构、转移机械手及陶瓷盘出料机构，.......。”因此急需研发一款新型的全自动晶圆贴蜡机，来解决目前所遇到的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供一种能实现自动上料、自动清洗、自动滴蜡、自动烘烤、自动翻转、自动压紧、自动加热、自动周转、自动冷却功能与一体的全自动晶圆贴蜡机。
[0006]为解决上述问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0007]一种全自动晶圆贴蜡机，包括晶圆供应单元、机械手、晶圆清洗单元、对中单元、滴蜡单元、双臂晶圆移栽单元、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、陶瓷盘加热单元、周转单元、冷却单元及载具，所述机械手包括机械手一和机械手二，所述对中单元包括对中单元一和对中单元二，所述双臂晶圆移栽单元包括双臂晶圆移栽单元一和双臂晶圆移栽单元二，所述陶瓷盘加热单元包括陶瓷盘低温加热单元、陶瓷盘预热单元二和陶瓷盘预热单元一，所述冷却单元包括冷却单元一、冷却单元二、冷却单元三和冷却单元四，晶圆依次经过晶圆供应单元、机械手一、晶圆清洗单元、机械手二、对中单元一、双臂晶圆移栽单元一、滴蜡单元、双臂晶圆移栽单元二、对中单元二、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、周转单元、冷却单元一、冷
却单元二、冷却单元三、冷却单元四完成与陶瓷盘的组装。
[0008]优选的，所述晶圆供应单元包括固定板、护板、下支架、上支架、升降气缸一、晶圆放置架，护板安装在固定板上，所述升降气缸一固定在固定板的下端，升降气缸一的上端与下支架连接，所述上支架设置在下支架的上端，所述晶圆放置架为多个，晶圆放置架安装在下支架、上支架中，所述下支架和上支架的底部都安装有定位块一，所述晶圆放置架的内部设有多个隔层，晶圆放置在隔层中。
[0009]该设置，通过晶圆放置架的作用，便于了晶圆的放置及拿取；通过升降气缸一的作用带动下支架、上支架上下移动，从而辅助机械手完成上料操作。
[0010]优选的，所述晶圆清洗单元包括刷臂、刷头、清洗台、支撑板一、刷臂旋转电机、支撑板二、刷臂升降气缸、晶圆清洗电机、导杆一和支撑板三，所述刷头安装在刷臂上，刷臂的下端与刷臂旋转电机连接，所述刷臂固定在支撑板三上，支撑板一设置在支撑板三的下端，导杆一由支撑板一中间穿过，所述刷臂旋转电机、刷臂升降气缸安装在支撑板一上，刷臂升降气缸推动支撑板一沿导杆一上下移动，所述支撑板二设置在刷臂升降气缸与支撑板一之间，所述晶圆清洗电机的上端设有真空吸盘一。
[0011]该设置，通过超纯水与刷头的作用完成晶圆的表面清洗；通过晶圆清洗电机的作用使得晶圆在清洗的过程中转动，达到边转动、边清洗的效果，提高了清洗效率；同时也通过转动时的离心作用，将晶圆表面的水珠脱离。
[0012]优选的，所述对中单元一、对中单元二都包括定位板、滑块一、滑块二和支架一，定位板固定在滑块一上，所述滑块一、滑块二都为两个，所述滑块一、滑块二上都设有导杆二，所述支架一的上端设有齿轮固定座，齿轮固定座上安装有传动齿轮，所述滑块一上安装有齿条一，滑块二上安装有齿条二，传动齿轮设置在齿条一与齿条二之间，所述滑块一的下端挡块，挡块的一侧设有推块，所述推块的下端连接有传动电机一，所述对中单元二还包括有吸盘固定柱、支架二、对射传感器、固定柱、顶升气缸一、支撑板四、支撑板五和传动电机二，吸盘固定柱的上端安装有真空吸盘二，吸盘固定柱的底部与传动电机二连接，传动电机二带动真空吸盘二旋转，所述传动电机二安装在支撑板四上，顶升气缸一带动支撑板四沿固定柱上下移动，所述支架二设置在吸盘固定柱的一侧，对射传感器安装在支架二上。
[0013]该设置，通过对中单元一的作用对晶圆进行整体定位，保证机械手二准确的将晶圆移动至滴蜡单元上，便于滴蜡单元对晶圆进行滴蜡操作；通过对中单元二的作用，对进行对中设置，同时通过对射传感器、传动电机二的辅助，带动晶圆旋转并对晶圆进行方向定位，保证了晶圆的安装。
[0014]优选的，所述滴蜡单元包括桶体、移动气缸一、移动气缸二、滴蜡泵固定支架、滴蜡泵、旋转电机、升降气缸二、支撑板六、支撑板七和连接座，所述移动气缸二固定在移动气缸一上，滴蜡泵固定支架固定在移动气缸二上，滴蜡泵安装在滴蜡泵固定支架上，滴蜡泵的一端沿伸至桶体中，所述旋转电机设置在桶体的底部，所述旋转电机上安装有真空吸盘三，所述支撑板六设置在支撑板七的下端，所述旋转电机的外侧设有连接座，支撑板六与连接座固定连接，升降气缸二通过支撑板七推动旋转电机上下移动。
[0015]该设置，通过旋转电机的作用带动真空吸盘上的晶圆转动，再通过与滴蜡泵等的配合，完成晶圆表面的均匀涂蜡操作；同时通过桶体的作用防止蜡液溅出，起到较好的防护作用。
[0016]优选的，所述烘烤单元包括加热模组、拉杆和保温罩，所述保温罩的一侧设有烘烤入口，所述加热模组的正下方设有开口槽，所述开口槽的底部设有气缸组件三，气缸组件三上安装有升降气缸三，所述升降气缸三上安装有真空吸盘四。
[0017]该设置，通过加热模组的作用给予晶圆及蜡液进行加热，从而便于晶圆通过蜡液粘合在陶瓷盘上；同时通过烘烤入口的设置，便于双臂晶圆移栽单元的搬运手将晶圆托运至烘烤单元中；同时通过开口槽的设置，便于气缸组件三将加热好的晶圆由烘烤单元中移出，然后进行翻转操作。
[0018]优选的，所述晶圆翻转单元包括支架三、丝杆传动机构二、升降气缸五、翻转电机和固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：包括晶圆供应单元、机械手、晶圆清洗单元、对中单元、滴蜡单元、双臂晶圆移栽单元、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、陶瓷盘加热单元、周转单元、冷却单元及载具，所述机械手包括机械手一和机械手二，所述对中单元包括对中单元一和对中单元二，所述双臂晶圆移栽单元包括双臂晶圆移栽单元一和双臂晶圆移栽单元二，所述陶瓷盘加热单元包括陶瓷盘低温加热单元、陶瓷盘预热单元二和陶瓷盘预热单元一，所述冷却单元包括冷却单元一、冷却单元二、冷却单元三和冷却单元四，晶圆依次经过晶圆供应单元、机械手一、晶圆清洗单元、机械手二、对中单元一、双臂晶圆移栽单元一、滴蜡单元、双臂晶圆移栽单元二、对中单元二、晶圆翻转单元、晶圆压紧单元、周转单元、冷却单元一、冷却单元二、冷却单元三、冷却单元四完成与陶瓷盘的组装。2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述晶圆供应单元包括固定板、护板、下支架、上支架、升降气缸一、晶圆放置架，护板安装在固定板上，所述升降气缸一固定在固定板的下端，升降气缸一的上端与下支架连接，所述上支架设置在下支架的上端，所述晶圆放置架为多个，晶圆放置架安装在下支架、上支架中，所述下支架和上支架的底部都安装有定位块一，所述晶圆放置架的内部设有多个隔层，晶圆放置在隔层中。3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述晶圆清洗单元包括刷臂、刷头、清洗台、支撑板一、刷臂旋转电机、支撑板二、刷臂升降气缸、晶圆清洗电机、导杆一和支撑板三，所述刷头安装在刷臂上，刷臂的下端与刷臂旋转电机连接，所述刷臂固定在支撑板三上，支撑板一设置在支撑板三的下端，导杆一由支撑板一中间穿过，所述刷臂旋转电机、刷臂升降气缸安装在支撑板一上，刷臂升降气缸推动支撑板一沿导杆一上下移动，所述支撑板二设置在刷臂升降气缸与支撑板一之间，所述晶圆清洗电机的上端设有真空吸盘一。4.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述对中单元一、对中单元二都包括定位板、滑块一、滑块二和支架一，定位板固定在滑块一上，所述滑块一、滑块二都为两个，所述滑块一、滑块二上都设有导杆二，所述支架一的上端设有齿轮固定座，齿轮固定座上安装有传动齿轮，所述滑块一上安装有齿条一，滑块二上安装有齿条二，传动齿轮设置在齿条一与齿条二之间，所述滑块一的下端挡块，挡块的一侧设有推块，所述推块的下端连接有传动电机一；所述对中单元二还包括有吸盘固定柱、支架二、对射传感器、固定柱、顶升气缸一、支撑板四、支撑板五和传动电机二，吸盘固定柱的上端安装有真空吸盘二，吸盘固定柱的底部与传动电机二连接，传动电机二带动真空吸盘二旋转，所述传动电机二安装在支撑板四上，顶升气缸一带动支撑板四沿固定柱上下移动，所述支架二设置在吸盘固定柱的一侧，对射传感器安装在支架二上。5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆贴蜡机，其特征在于：所述滴蜡单元包括桶体、移动气缸一、移动气缸二、滴蜡泵固定支架、滴蜡泵、旋转电机、升降气缸二、支撑板六、支撑板七和连接座，所述移动气缸二固定在移...

【专利技术属性】
技术研发人员：于书光，潘智超，梅金丽，张琦立，
申请(专利权)人：杭州承扬自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：