谐振器组件及柔性滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种谐振器组件及柔性滤波器，谐振器组件包括柔性衬底以及位于柔性衬底至少一侧的至少一组谐振单元，每组谐振单元包括至少两个第一谐振子单元和位于第一谐振子单元远离柔性衬底一侧的至少一个第二谐振子单元；第一谐振子单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的第一谐振器，第一谐振器的设置方向与柔性衬底的表面夹角大于0度；第二谐振子单元包括的第二谐振器的设置方向与柔性衬底的设置方向平行；第一谐振子单元至少的两个相互支撑的第一谐振器与柔性衬底之间形成第一空腔结构，在对应于至少一个第一空腔结构的位置处，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。本发明专利技术实施例，可节省滤波器的面积，提高谐振器组件的抗应力性能。件的抗应力性能。件的抗应力性能。

【技术实现步骤摘要】
谐振器组件及柔性滤波器


[0001]本专利技术实施例涉及电子
，尤其涉及一种谐振器组件及柔性滤波器。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，滤波器的应用越来越广泛。近年来柔性电子器件代替传统硬质衬底集成的器件成为未来电子科技的重要发展趋势，目前的滤波器大多采用硬质衬底制备，采用柔性衬底制备出的滤波器良率较低。
[0003]滤波器由至少一层谐振器组件构成，谐振器组件包括衬底以及设置于衬底上的谐振器，目前的滤波器中，谐振器通常采用平面式的布局方法平铺于衬底上，即谐振器处于水平方向，从而导致滤波器的面积较大。且现有的滤波器，在滤波器厚度方向上，一层谐振器组件仅设置一层谐振器，进一步导致滤波器的面积较大。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种谐振器组件及柔性滤波器，以实现节省滤波器的面积，提高柔性滤波器的良率。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种谐振器组件，包括柔性衬底以及位于所述柔性衬底至少一侧的至少一组谐振单元，每组所述谐振单元包括至少两个第一谐振子单元和位于所述第一谐振子单元远离所述柔性衬底一侧的至少一个第二谐振子单元；
[0006]所述第一谐振子单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的第一谐振器，所述第一谐振器的设置方向与所述第一谐振器所在所述柔性衬底的表面夹角大于0度；所述第二谐振子单元包括至少一个第二谐振器，所述第二谐振器的设置方向与所述柔性衬底的设置方向平行；
[0007]所述第一谐振子单元的至少两个相互支撑的所述第一谐振器与所述柔性衬底之间形成第一空腔结构，在对应于至少一个所述第一空腔结构的位置处，所述柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。
[0008]可选的，所述第二谐振子单元在所述柔性衬底上的垂直投影至少部分位于相邻的两个所述第一谐振子单元在所述柔性衬底上的投影之间；每组所述谐振单元包括的第二谐振子单元分别与同组谐振单元包括的至少两个所述第一谐振子单元电连接。
[0009]可选的，所述第一谐振器包括层叠设置的第一下电极、第一压电层和第一上电极，所述第一谐振子单元中相邻的两个所述第一谐振器通过自身的第一下电极电连接，相邻的两个所述第一谐振子单元通过相邻的两个第一谐振器各自的第一上电极电连接；
[0010]所述第二谐振器包括第二下电极、第二压电层和第二上电极，每组所述谐振单元包括的第二谐振器通过自身的第二下电极与同组的所述谐振单元中位于第一边缘的第一谐振器的第一上电极电连接，每组所述谐振单元包括的第二谐振器通过自身的第二上电极与同组所述谐振单元中位于第二边缘的第一谐振器的第一上电极电连接，所述第一边缘和所述第二边缘分别为各所述第一谐振子单元的串联路径上始端和终端。
[0011]可选的，每组所述谐振单元还包括绝缘层，所述绝缘层位于所述第一谐振子单元和所述第二谐振子单元之间。
[0012]可选的，所述绝缘层的设置方向与所述第二谐振器的设置方向平行。
[0013]可选的，所述谐振单元包括两个所述第一谐振子单元和一个所述第二谐振器，所述第二谐振器与两个所述第一谐振子单元形成第二空腔结构，所述第二谐振器的有效谐振区域在所述第二空腔结构的范围内；
[0014]其中，所述第二谐振器的有效谐振区域包括第二谐振器的第二下电极、第二压电层和第二上电极相互交叠的区域。
[0015]可选的，所述柔性衬底的表面的应力缓冲结构包括所述柔性衬底的表面的至少一个凹槽。
[0016]可选的，所述柔性衬底的一侧表面设置有至少两组所述谐振单元。
[0017]可选的，所述柔性衬底的第一表面设置有至少一组所述谐振单元，所述柔性衬底的第二表面设置有至少一组所述谐振单元，所述第一表面和所述第二表面为所述柔性衬底相背的两个表面，设置于所述第一表面上的所述谐振单元和设置于所述第二表面上的所述谐振单元交错设置。
[0018]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种柔性滤波器，该柔性滤波器包括第一方面的谐振器组件。
[0019]可选的，所述柔性滤波器包括至少两个所述谐振器组件，所述谐振器组件堆叠设置，至少两层相邻所述谐振器组件中的谐振单元电连接。
[0020]可选的，至少两层所述谐振器组件中，每一所述谐振器组件所包括的所述谐振单元位于自身所在的所述谐振器组件中所述柔性衬底的相同侧。
[0021]可选的，至少两层相邻的所述谐振器组件中，每一所述谐振器组件所包括的所述谐振单元位于自身所在的所述谐振器组件中所述柔性衬底的不同侧。
[0022]可选的，相邻层所述谐振器组件中，其中一层所述谐振器组件包括至少两组谐振单元，相邻组谐振单元电连接，另一层所述谐振器组件包括至少一组谐振单元，相邻层所述谐振器组件的所述谐振单元交错设置，相邻两层所述柔性衬底之间的距离小于相邻两层谐振器组件中所述谐振单元的厚度之和。
[0023]可选的，相邻层所述谐振器组件的柔性衬底通过键合结构键合连接。
[0024]可选的，相邻层所述谐振器组件中，一层所述谐振器组件中的一组所述谐振单元，与另一层所述谐振器组件中的相邻的两组所述谐振单元形成设定谐振结构，所述设定谐振结构中一层所述谐振器组件中的一组所述谐振单元，在另一层所述谐振器组件的垂直投影，至少部分位于另一层所述谐振器组件的相邻的两组所述谐振单元之间。
[0025]可选的，所述柔性滤波器包括至少三层所述谐振器组件，位于同一所述柔性衬底的两侧的所述设定谐振结构在该柔性衬底上的垂直投影无交叠。
[0026]可选的，所述谐振器组件的谐振单元通过连接线与所述键合结构电连接，所述连接线的形状为直线、曲线或多边形。
[0027]可选的，相邻的两层谐振器组件中的谐振单元相背设置，相邻的两层谐振器组件中的柔性衬底通过导电薄膜连接，所述谐振单元通过所述柔性衬底中的连接线与所述导电薄膜电连接。
[0028]本专利技术实施例提供了一种谐振器组件及柔性滤波器，谐振器组件包括柔性衬底以及位于柔性衬底至少一侧的至少一组谐振单元，每组谐振单元包括至少两个第一谐振子单元和位于第一谐振子单元远离柔性衬底一侧的至少一个第二谐振子单元；第一谐振子单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的第一谐振器，第一谐振器的设置方向与第一谐振器所在柔性衬底的表面夹角大于0度；第二谐振子单元包括至少一个第二谐振器，第二谐振器的设置方向与柔性衬底的设置方向平行；第一谐振子单元的两个相互支撑的第一谐振器与柔性衬底之间形成第一空腔结构，在对应于至少一个第一空腔结构的位置处，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。第一谐振器的设置方向与第一谐振器所在柔性衬底的表面夹角大于0度，可以减少谐振器组件在柔性衬底的表面所在方向上的面积，有利于器件的小型化。且在谐振器组件厚度方向上，第二谐振器和第一谐振器堆叠设置，可以进一步减少谐振器组件的面积。同时，柔性衬底可提高谐振器组件的柔韧度，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构，应力缓冲结构可释放应力，更好的配合柔性衬底可能产生的形变，提高谐振器组件的抗应力性能。
附图说明
[0029]图1是本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种谐振器组件，其特征在于，包括柔性衬底以及位于所述柔性衬底至少一侧的至少一组谐振单元，每组所述谐振单元包括至少两个第一谐振子单元和位于所述第一谐振子单元远离所述柔性衬底一侧的至少一个第二谐振子单元；所述第一谐振子单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的第一谐振器，所述第一谐振器的设置方向与所述第一谐振器所在所述柔性衬底的表面夹角大于0度；所述第二谐振子单元包括至少一个第二谐振器，所述第二谐振器的设置方向与所述柔性衬底的设置方向平行；所述第一谐振子单元的至少两个相互支撑的所述第一谐振器与所述柔性衬底之间形成第一空腔结构，在对应于至少一个所述第一空腔结构的位置处，所述柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。2.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述第二谐振子单元在所述柔性衬底上的垂直投影至少部分位于相邻的两个所述第一谐振子单元在所述柔性衬底上的投影之间；每组所述谐振单元包括的第二谐振子单元分别与同组谐振单元包括的至少两个所述第一谐振子单元电连接。3.根据权利要求1或2所述的谐振器组件，其特征在于，所述第一谐振器包括层叠设置的第一下电极、第一压电层和第一上电极，所述第一谐振子单元中相邻的两个所述第一谐振器通过自身的第一下电极电连接，相邻的两个所述第一谐振子单元通过相邻的两个第一谐振器各自的第一上电极电连接；所述第二谐振器包括第二下电极、第二压电层和第二上电极，每组所述谐振单元包括的第二谐振器通过自身的第二下电极与同组的所述谐振单元中位于第一边缘的第一谐振器的第一上电极电连接，每组所述谐振单元包括的第二谐振器通过自身的第二上电极与同组所述谐振单元中位于第二边缘的第一谐振器的第一上电极电连接，所述第一边缘和所述第二边缘分别为各所述第一谐振子单元的串联路径上始端和终端。4.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，每组所述谐振单元还包括绝缘层，所述绝缘层位于所述第一谐振子单元和所述第二谐振子单元之间。5.根据权利要求4所述的谐振器组件，其特征在于，所述绝缘层的设置方向与所述第二谐振器的设置方向平行。6.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述谐振单元包括两个所述第一谐振子单元和一个所述第二谐振器，所述第二谐振器与两个所述第一谐振子单元形成第二空腔结构，所述第二谐振器的有效谐振区域在所述第二空腔结构的范围内；其中，所述第二谐振器的有效谐振区域包括第二谐振器的第二下电极、第二压电层和第二上电极相互交叠的区域。7.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底的表面的应力缓冲结构包括所述柔性衬底的表面的至少一个凹槽。8.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁焱昆，赖志国，杨清华，
申请(专利权)人：苏州汉天下电子有限公司，
类型：发明
国别省市：