本发明专利技术公开了一种谐振器组件及柔性滤波器，谐振器组件包括柔性衬底以及位于柔性衬底至少一侧的谐振器层，其中，谐振器层包括至少一组谐振单元，每组谐振单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的谐振器，谐振器的设置方向与谐振器所在柔性衬底的表面夹角大于0度。谐振单元的至少两个相互支撑的谐振器与柔性衬底之间形成空腔结构，在对应于至少一个空腔结构的位置处，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。本实施例中谐振器组件的设置方式可减小谐振器组件在柔性衬底的表面所在方向上的面积，有利于器件的小型化。柔性衬底可提高谐振器组件的柔韧度，应力缓冲结构可释放应力，更好的配合柔性衬底可能产生的形变，提高谐振器组件的抗应力性能及良率。的抗应力性能及良率。的抗应力性能及良率。
【技术实现步骤摘要】
谐振器组件及柔性滤波器
[0001]本专利技术实施例涉及电子
，尤其涉及一种谐振器组件及柔性滤波器。
技术介绍
[0002]随着科学技术的发展，滤波器的应用越来越广泛。近年来柔性电子器件代替传统硬质衬底集成的器件成为未来电子科技的重要发展趋势，目前的滤波器大多采用硬质衬底制备，采用柔性衬底制备出的滤波器良率较低。
[0003]滤波器由谐振器构成，目前的滤波器中，谐振器通常采用平面式的布局方法平铺于衬底上，即谐振器处于水平方向，从而导致滤波器的面积较大。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种谐振器组件及柔性滤波器，以节省柔性滤波器的布局面积，提高柔性滤波器的良率。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种谐振器组件，包括柔性衬底以及位于所述柔性衬底至少一侧的谐振器层；
[0006]其中，所述谐振器层包括至少一组谐振单元，每组所述谐振单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的谐振器，所述谐振器的设置方向与所述谐振器所在所述柔性衬底的表面夹角大于0度；
[0007]所述谐振单元的至少两个相互支撑的所述谐振器与所述柔性衬底之间形成空腔结构，在对应于至少一个所述空腔结构的位置处，所述柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。
[0008]可选的，所述柔性衬底的表面的应力缓冲结构包括所述柔性衬底表面的至少一个凹槽。
[0009]可选的，所述谐振器包括层叠设置的下电极、压电层和上电极，所述谐振单元中的相互支撑的两个所述谐振器通过自身的下电极电连接。
[0010]可选的，所述柔性衬底的一侧表面设置有至少两组所述谐振单元。
[0011]可选的，所述柔性衬底的第一表面设置有第一谐振器层，所述柔性衬底的第二表面设置有第二谐振器层，所述第一表面和所述第二表面为所述柔性衬底相背的两个表面，所述第一谐振器层的谐振单元和所述第二谐振器层的谐振单元交错设置。
[0012]可选的，所述柔性衬底的第一表面至少包括凸起部，所述柔性衬底的第二表面至少包括凹陷部，在所述柔性衬底的厚度方向上，所述第一表面的凸起部和所述第二表面的凹陷部对应。
[0013]可选的，所述柔性衬底呈U形，所述第一表面作为所述凸起部，所述第二表面作为凹陷部。
[0014]可选的，所述第一表面和所述第二表面均包括凸起部和凹陷部，在所述柔性衬底的厚度方向上，所述第一表面的凹陷部与所述第二表面的凸起部对应。
[0015]可选的，第一谐振器层的谐振单元设置于所述第一表面的凸起部，第二谐振器层
的谐振单元设置于所述第二表面的凸起部；或者所述第一谐振器层的谐振单元设置于所述第一表面的凹陷部，所述第二谐振器层的谐振单元设置于所述第二表面的凹陷部。
[0016]第二方面，本专利技术实施例提供了一种柔性滤波器，包括第一方面任一项所述的谐振器组件。
[0017]可选的，所述柔性滤波器包括至少两个所述谐振器组件，所述谐振器组件堆叠设置，至少两层相邻所述谐振器组件中的谐振单元电连接。
[0018]可选的，至少两层所述谐振器组件中，所述谐振器层位于自身所在的所述谐振器组件中所述柔性衬底的相同侧。
[0019]可选的，至少两层相邻的所述谐振器组件中，所述谐振器层位于自身所在的所述谐振器组件中所述柔性衬底的不同侧。
[0020]可选的，相邻层所述谐振器组件中，其中一层所述谐振器组件的谐振器层包括至少两组谐振单元，相邻组谐振单元电连接，另一层所述谐振器组件的谐振器层包括至少一组谐振单元，相邻层所述谐振器组件的谐振器层相对设置，且相邻层所述谐振器层的所述谐振单元交错设置，相邻两层所述柔性衬底之间的距离小于相邻两层谐振器层中所述谐振单元的厚度之和。
[0021]可选的，相邻层所述谐振器组件的柔性衬底通过键合结构键合连接。
[0022]可选的，相邻层所述谐振器组件中，一层所述谐振器组件中的一组所述谐振单元，与另一层所述谐振器组件中的相邻的两组所述谐振单元形成设定谐振结构，所述设定谐振结构中一层所述谐振器组件中的一组所述谐振单元在另一层所述谐振器组件的垂直投影，至少部分位于另一层所述谐振器组件中的相邻的两组所述谐振单元之间。
[0023]可选的，包括至少三层所述谐振器组件，位于同一所述柔性衬底的两侧的所述设定谐振结构在该柔性衬底上的垂直投影无交叠。
[0024]可选的，所述谐振器组件的谐振单元通过连接线与所述键合结构电连接，所述连接线的形状为直线、曲线或多边形。
[0025]可选的，相邻的两层谐振器组件中的谐振器层相背设置，相邻的两层谐振器组件中的柔性衬底通过导电薄膜连接，所述谐振单元通过所述柔性衬底中的连接线与所述导电薄膜电连接。
[0026]本专利技术实施例提供了一种谐振器组件及柔性滤波器，谐振器组件包括柔性衬底以及位于柔性衬底至少一侧的谐振器层，其中，谐振器层包括至少一组谐振单元，每组谐振单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的谐振器，谐振器的设置方向与谐振器所在柔性衬底的表面夹角大于0度。谐振单元的至少两个相互支撑的谐振器与柔性衬底之间形成空腔结构，在对应于至少一个空腔结构的位置处，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。谐振器的设置方向与谐振器所在柔性衬底的表面夹角大于0度，可以减少谐振器组件在柔性衬底的表面所在方向上的面积，有利于器件的小型化。同时，柔性衬底可提高谐振器组件的柔韧度，柔性衬底的表面具有应力缓冲结构，应力缓冲结构可释放应力，更好的配合柔性衬底可能产生的形变，提高谐振器组件的抗应力性能。
附图说明
[0027]图1是本专利技术实施例提供的一种谐振器组件的结构示意图；
[0028]图2是本专利技术实施例提供的另一种谐振器组件的结构示意图；
[0029]图3是本专利技术实施例提供的另一种谐振器组件的结构示意图；
[0030]图4是本专利技术实施例提供的另一种谐振器组件的结构示意图；
[0031]图5是本专利技术实施例提供的一种柔性滤波器的结构示意图；
[0032]图6是本专利技术实施例提供的另一种柔性滤波器的结构示意图；
[0033]图7为本专利技术实施例提供的一种柔性滤波器的电路图；
[0034]图8是本专利技术实施例提供的另一种柔性滤波器的结构示意图；
[0035]图9是本专利技术实施例提供的另一种柔性滤波器的结构示意图；
[0036]图10是本专利技术实施例提供的另一种柔性滤波器的电路图。
具体实施方式
[0037]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0038]图1是本专利技术实施例提供的一种谐振器组件的结构示意图，参考图1，谐振器组件包括柔性衬底100以及位于柔性衬底100至少一侧的谐振器层200；
[0039]其中，谐振器层200包括至少一组谐振单元210，每组谐振单元210包括至少两个相互支撑且相互本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种谐振器组件，其特征在于，包括柔性衬底以及位于所述柔性衬底至少一侧的谐振器层；其中，所述谐振器层包括至少一组谐振单元，每组所述谐振单元包括至少两个相互支撑且相互电连接的谐振器，所述谐振器的设置方向与所述谐振器所在所述柔性衬底的表面夹角大于0度；所述谐振单元的至少两个相互支撑的所述谐振器与所述柔性衬底之间形成空腔结构，在对应于至少一个所述空腔结构的位置处，所述柔性衬底的表面具有应力缓冲结构。2.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底的表面的应力缓冲结构包括所述柔性衬底表面的至少一个凹槽。3.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述谐振器包括层叠设置的下电极、压电层和上电极，所述谐振单元中的相互支撑的两个所述谐振器通过自身的下电极电连接。4.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底的一侧表面设置有至少两组所述谐振单元。5.根据权利要求1所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底的第一表面设置有第一谐振器层，所述柔性衬底的第二表面设置有第二谐振器层，所述第一表面和所述第二表面为所述柔性衬底相背的两个表面，所述第一谐振器层的谐振单元和所述第二谐振器层的谐振单元交错设置。6.根据权利要求1
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5任一项所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底的第一表面至少包括凸起部，所述柔性衬底的第二表面至少包括凹陷部，在所述柔性衬底的厚度方向上，所述第一表面的凸起部和所述第二表面的凹陷部对应。7.根据权利要求6所述的谐振器组件，其特征在于，所述柔性衬底呈U形，所述第一表面作为所述凸起部，所述第二表面作为凹陷部。8.根据权利要求6所述的谐振器组件，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面均包括凸起部和凹陷部，在所述柔性衬底的厚度方向上，所述第一表面的凹陷部与所述第二表面的凸起部对应。9.根据权利要求8所述的谐振器组件，其特征在于，第一谐振器层的谐振单元设置于所述第一表面的凸起部，第二谐振器层的谐振单元设置于所述第二表面的凸起部；或者所述第一谐振器层的谐振单元设置于所述第一表面的凹陷部，所述第二谐振器层的谐振单元设置于所述第二表面的凹陷部。10.一种柔性滤波器，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁焱昆，赖志国，杨清华，
申请(专利权)人：苏州汉天下电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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