包括谐振器和差分放大器的传感器接口制造技术

提供了一种传感器接口，包括：包括至少一个谐振器和第一输出端子的第一悬臂梁束；包括至少一个谐振器和第二输出端子的第二悬臂梁束；以及差分放大器，包括与第一悬臂梁束的第一输出端子电连接的第一输入端子、以及与第二悬臂梁束的第二输出端子电连接的第二输入端子。子。子。

【技术实现步骤摘要】
包括谐振器和差分放大器的传感器接口
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年9月17日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2020
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0120030的优先权，并在此通过引用完整地并入其公开内容。


[0003]本公开的示例实施例涉及包括谐振器和差分放大器的传感器接口。

技术介绍

[0004]声传感器可以被归类为全向声传感器和定向声传感器。
[0005]全向声传感器可以包括：包括隔膜的滤波器。包括隔膜的滤波器通过根据施加到隔膜的负压的变化来使得隔膜改变其电容，从而生成电信号。
[0006]定向声传感器能够检测声音信号的方向，并且可以包括：包括具有不同谐振频率的谐振器的滤波器。在包括多个谐振器的滤波器中，由响应于特定频率的声音信号而谐振的谐振器生成电信号。可以考虑高信噪比(SNR)作为关于包括多个谐振器的滤波器的设计目标。

技术实现思路

[0007]一个或多个示例实施例提供了包括谐振器和差分放大器的传感器接口。
[0008]附加方面部分地将在接下来的描述中阐述，且部分地将通过该描述而变得清楚明白，或者可以通过对示例实施例的实践来获知。
[0009]根据示例实施例的一个方面，提供了一种传感器接口，包括：包括至少一个谐振器和第一输出端子的第一悬臂梁束；包括至少一个谐振器和第二输出端子的第二悬臂梁束；以及差分放大器，包括与第一悬臂梁束的第一输出端子电连接的第一输入端子、以及与第二悬臂梁束的第二输出端子电连接的第二输入端子。
[0010]第一悬臂梁束的至少一个谐振器的第一谐振频率可以与第二悬臂梁束的至少一个谐振器的第二谐振频率不同。
[0011]由第一悬臂梁束滤波的信号的第一频段可以与由第二悬臂梁束滤波的信号的第二频段不同。
[0012]第一悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个和第二悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个可以包括：传感器设备，被配置为基于相应的谐振器振动而生成电信号。
[0013]传感器设备可以包括：上电极、压电材料层和下电极。
[0014]第一悬臂梁束的至少一个谐振器的第一上电极可以电连接到差分放大器的第一输入端子，并且，第二悬臂梁束的至少一个谐振器的第二上电极可以电连接到差分放大器的第二输入端子。
[0015]第一悬臂梁束的至少一个谐振器的第一上电极可以电连接到差分放大器的第一输入端子，并且，第二悬臂梁束的至少一个谐振器的第二下电极可以电连接到差分放大器
的第二输入端子。
[0016]上电极、压电材料层和下电极可以具有相同的长度。
[0017]上电极、压电材料层和下电极中的一项的长度可以与上电极、压电材料层和下电极中的其余项的长度不同。
[0018]第一悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个和第二悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个可以包括：支撑构件，被配置为基于声音振动，并且下电极可以被布置在支撑构件上。
[0019]第一悬臂梁束的至少一个谐振器的支撑构件的第一长度可以与第二悬臂梁束的至少一个谐振器的支撑构件的第二长度相同。
[0020]支撑构件可以是悬臂。
[0021]第一悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个和第二悬臂梁束的至少一个谐振器中的每一个可以包括：被配置为固定支撑构件的一端的固定构件。
[0022]第一悬臂梁束的至少一个谐振器的固定构件的第一长度可以与第二悬臂梁束的至少一个谐振器的固定构件的第二长度彼此不同。
[0023]差分放大器可以包括第三输出端子和第四输出端子。
[0024]差分放大器可以包括：至少一个电路元件，电连接到第一输入端子和第三输出端子，第一输入端子可以是正输入端子并且第三输出端子可以是负输出端子，或者第一输入端子可以是负输入端子并且第三输出端子可以是正输出端子。
[0025]至少一个电路元件可以是电阻器、电容器和二极管中的一种。
[0026]传感器接口还可以包括：至少一个电路元件，电连接到第一悬臂梁束的第一输出端子和差分放大器的第一输入端子。
[0027]第一悬臂梁束可以包括多个谐振器，其中，多个谐振器中的每一个包括支撑构件，其中，多个谐振器的支撑构件具有相同的长度并且被配置为基于声音振动。
[0028]根据示例实施例的另一个方面，提供了一种声音处理设备，包括：传感器接口，该传感器接口包括：包括至少一个谐振器和第一输出端子的第一悬臂梁束；包括至少一个谐振器和第二输出端子的第二悬臂梁束；差分放大器，包括与第一悬臂梁束的第一输出端子电连接的第一输入端子、以及与第二悬臂梁束的第二输出端子电连接的第二输入端子；以及处理器，配置为处理传感器接口的输出信号。
[0029]根据示例实施例的又一个方面，提供了一种传感器接口，包括：包括多个谐振器和第一输出端子的第一悬臂梁束；包括多个谐振器和第二输出端子的第二悬臂梁束；以及差分放大器，包括与第一悬臂梁束的第一输出端子电连接的第一输入端子、以及与第二悬臂梁束的第二输出端子电连接的第二输入端子。
[0030]由第一悬臂梁束滤波的信号的第一频段可以与由第二悬臂梁束滤波的信号的第二频段不同。
附图说明
[0031]根据结合附图的以下描述，将更清楚特定示例实施例的以上和/或其他方面、特征和优点，在附图中：
[0032]图1是示出根据示例实施例的传感器接口的图；
[0033]图2是示出根据示例实施例的图1的传感器接口的电路图；
[0034]图3是示出根据示例实施例的传感器接口的图；
[0035]图4是示出根据示例实施例的谐振器的图；
[0036]图5是示出根据示例实施例的谐振器的长度与谐振频率之间的关系的图；
[0037]图6是示出根据示例实施例的关于谐振器和差分放大器的连接方法的图；
[0038]图7是示出根据示例实施例的关于谐振器和差分放大器的连接方法的图；
[0039]图8是示出根据示例实施例的差分放大器的反馈电阻和反馈电容的图；
[0040]图9是示出根据示例实施例的图3的传感器接口的电路图；
[0041]图10A、图10B和图10C是示出图1的传感器接口的噪声的图；
[0042]图11A、图11B和图11C是示出图3的传感器接口的噪声的图；
[0043]图12是示出根据示例实施例的传感器接口的图；以及
[0044]图13是示出根据示例实施例的声音处理设备的图。
具体实施方式
[0045]现在将详细参考附图中所示出的实施例，其中类似的附图标记始终指代类似的元件。在这点上，示例性实施例可以具有不同形式，并且不应当被解释为受限于本文所阐明的描述。因此，下面仅通过参考附图描述示例实施例，以解释各个方面。本文中所使用的术语“和/或”包括相关联的列出项中的一个或多个的任意和所有组合。称为“......中的至少一个”之类的表述在元件列表之后时修饰整个元件列表，而不是修本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器接口，包括：第一悬臂梁束，包括至少一个谐振器和第一输出端子；第二悬臂梁束，包括至少一个谐振器和第二输出端子；以及差分放大器，包括与所述第一悬臂梁束的所述第一输出端子电连接的第一输入端子、以及与所述第二悬臂梁束的所述第二输出端子电连接的第二输入端子。2.根据权利要求1所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第一谐振频率与所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第二谐振频率不同。3.根据权利要求1所述的传感器接口，其中，由所述第一悬臂梁束滤波的信号的第一频段与由所述第二悬臂梁束滤波的信号的第二频段不同。4.根据权利要求1所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器中的每一个和所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器中的每一个包括：传感器，被配置为当相应的谐振器振动时生成电信号。5.根据权利要求4所述的传感器接口，其中，所述传感器包括：上电极、压电材料层和下电极。6.根据权利要求5所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第一上电极电连接到所述差分放大器的所述第一输入端子，并且其中，所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第二上电极电连接到所述差分放大器的所述第二输入端子。7.根据权利要求5所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第一上电极电连接到所述差分放大器的所述第一输入端子，并且其中，所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器的第二下电极电连接到所述差分放大器的所述第二输入端子。8.根据权利要求5所述的传感器接口，其中，所述上电极、所述压电材料层和所述下电极具有相同的长度。9.根据权利要求5所述的传感器接口，其中，所述上电极、所述压电材料层和所述下电极中的一项的长度与所述上电极、所述压电材料层和所述下电极中的其余项的长度不同。10.根据权利要求5所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器中的每一个和所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器中的每一个包括：被配置为基于声音振动的支撑构件，并且其中，所述下电极被布置在所述支撑构件上。11.根据权利要求10所述的传感器接口，其中，所述第一悬臂梁束的所述至少一个谐振器的支撑构件的第一长度与所述第二悬臂梁束的所述至少一个谐振器的支撑构件的第二长度相同。12.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜现旭，姜诚赞，金载兴，李忠镐，洪赫基，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：