弹性波装置及通信装置制造方法及图纸

弹性波装置包括：基板、位于基板上的多层膜、位于多层膜上的压电膜、以及位于压电膜上的第一激励电极和第二激励电极。第一激励电极具有：沿弹性波的传播方向以第一间距P1排列的多个第一电极指。第二激励电极具有：沿传播方向以第二间距p2排列的多个第二电极指。压电膜由LiTaO3单晶或LiNbO3单晶构成。当压电膜的厚度为t0时，1.15

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置及通信装置


[0001]本公开涉及一种利用弹性波的弹性波装置，及包括该弹性波装置的通信装置。

技术介绍

[0002]已知一种弹性波装置，用于对压电体上的激励电极施加电压，以产生在压电体中传播的弹性波。激励电极为例如IDT(Interdigital Transducer)电极，包括一对梳齿电极。一对梳齿电极被配置为互相啮合，每一个梳齿电极中均具有多个电极指(相当于梳齿)。在弹性波装置中，例如形成以电极指的间距的大约两倍作为波长的弹性波的驻波。在这样的弹性波装置中，也可以在一个压电体上设置电极指的间距彼此不同的多个激励电极。例如，使用具有不同的间距的激励电极来构成所谓的梯型滤波器(例如，专利文献1和2)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利公开2016
‑
072808号公报
[0006]专利文献2：国际公开第2015/080045号

技术实现思路

[0007]本专利技术的一个实施例的弹性波装置包括：基板、位于所述基板上的多层膜、位于所述多层膜上的压电膜、以及位于所述压电膜上的第一激励电极和第二激励电极。所述第一激励电极具有沿弹性波的传播方向以第一间距排列的多个第一电极指。所述第二激励电极具有沿所述传播方向以第二间距排列的多个第二电极指。所述压电膜由LiTaO3单晶或LiNbO3单晶组成。当所述第一间距为p1，所述第二间距为p2，所述压电膜厚度为t0时，
[0008]1.15
×
>p1≤p2、
[0009]t0≤0.48
×
p1，以及
[0010]t0≥0.27
×
p2成立。
[0011]本专利技术的一个实施例的通信装置包括：上述弹性波装置；天线，与所述弹性波装置的所述滤波器电连接；以及，集成电路元件，经由所述滤波器与所述天线电连接。
附图说明
[0012]图1是表示实施方式的弹性波装置的一部分结构的俯视图。
[0013]图2是沿图1的II
‑
II线的截面图。
[0014]图3是示意性地表示作为图1的弹性波装置的示例的双工器的结构的电路图。
[0015]图4是用于说明关于图1的弹性波装置的特性的评价指标的图。
[0016]图5是表示第一结构示例中压电膜的厚度及电极指的间距对特性产生的影响的等高线图。
[0017]图6是表示第一结构示例中多层膜的厚度对阻抗的相位的最大值的影响的图。
[0018]图7是表示第二结构示例中压电膜的厚度及电极指的间距对特性产生的影响的等
高线图。
[0019]图8是表示第二结构示例中多层膜的厚度对阻抗的相位的最大值的影响的图。
[0020]图9是表示第三结构示例中压电膜的厚度及电极指的间距对特性产生的影响的等高线图。
[0021]图10是表示第三结构示例中多层膜的厚度对阻抗的相位的最大值的影响的图。
[0022]图11是表示实施例的梯型滤波器的通过特性的实测值的示例的图。
[0023]图12是示意性地表示作为图1的弹性波装置的应用例的通信装置的结构的电路图。
具体实施方式
[0024]本申请中，可以参照地引用(Incorporation by Reference)国际公开第2019/009246号(PCT/JP2018/025071号。以下称为在先申请1。)中记载的内容。在先申请1是本申请的申请人的申请，并且，部分专利技术人与本申请是共同的。
[0025]下文将参照附图，对本公开的实施例进行说明。此外，在以下的描述中所使用的附图是示意性的，且附图上的尺寸比例等并不总是与实际一致。
[0026]本公开的弹性波装置，尽管任何一个方向均可被设置为上方或下方，但下面为方便起见，定义由D1轴、D2轴和D3轴组成的直角坐标系，将D3轴的正方向作为上方，使用上表面或者下表面等术语。另外，在俯视图或俯视透视图中，除非特别说明，表示沿D3轴方向观察。此外，D1轴被定义为：与沿着后述的压电膜的上表面传播的弹性波的传播方向平行；D2轴被定义为：与压电膜的上表面平行且与D1轴正交；D3轴被定义为：与压电膜的上表面正交。
[0027](弹性波装置的基本要素)
[0028]图1是表示弹性波装置1的部分结构的俯视图。图2是沿图1的II
‑
II线的截面图。
[0029]弹性波装置1，例如，包括：基板3(图2)、位于基板3上的多层膜5(图2)、位于多层膜5上的压电膜7、和位于压电膜7上的导电层9。每层具有例如基本恒定的厚度。此外，基板3，多层膜5和压电膜7的组合有时也被称为固定基板2(图2)。
[0030]在弹性波装置1中，通过对导电层9施加电压，激发在压电膜7传播的弹性波。弹性波装置1，例如，由利用该弹性波的谐振器和/或滤波器构成。多层膜5，例如，有助于反射弹性波并将弹性波的能量限制于压电膜7。基板3，例如，有助于增加多层膜5及压电膜7的强度。
[0031](固定基板)
[0032]基板3不会直接地影响弹性波装置1的电气特性。因此，可适当地设置基板3的材料及尺寸。例如，基板3的材料为诸如树脂或陶瓷的绝缘材料。且，基板3可以由与压电膜7等相比热膨胀系数较低的材料构成。在该情况下，例如，可以降低弹性波装置1的频率特性因温度变化而变化的可能性。作为这样的材料，例如，可以列举出：诸如硅等的半导体，诸如蓝宝石等的单晶，以及，诸如氧化铝烧结体等的陶瓷。此外，基板3也可以通过由彼此不同的材料形成的多个层层叠而构成。基板3的厚度例如比压电膜7更厚。
[0033]多层膜5通过第一层11和第二层13交替地层叠而构成。可以适当地选择它们的材料，例如，使得第二层13的声阻抗高于第一层11的声阻抗。这样，例如，弹性波在两者的界面
处的反射率相对较高。其结果是，例如，减少了在压电膜7中传播的弹性波的泄漏。具体地，例如，第一层11的材料可以是二氧化硅(SiO2)。在这种情况下，第二层13的材料可以是，例如，五氧化二钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)、二氧化锆(ZrO2)、氧化钛(TiO2)或氧化镁(MgO)。在本实施方式的说明中，特别地，以第二层13为Ta2O5或HfO2的情况为例。
[0034]多层膜5的层叠数可以适当地设定。例如，多层膜5中，第一层11以及第二层13的总层数可以为3层以上12层以下。然而，多层膜5也可以由一层的第一层11和一层的第二层13(共计2层)构成。且，多层膜5的总层数可以是偶数也可以奇数；但是，与压电膜7抵接的层，例如，为第一层11。与基板3抵接的层可以是第一层11，也可以是第二层13。
[0035]多层膜的厚度可以适当地设定。例如，将后述的电极指27的间距设为p。此时，例如，第一层11的厚度t1可以为0.10p以上或0.14p以上，另外，也可以为0.28p以下或0.26p以下，也可以适当地组合上述的下限和上限。另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.弹性波装置，包括：基板、位于所述基板上的多层膜、位于所述多层膜上的压电膜、以及位于所述压电膜上的第一激励电极以及第二激励电极；所述第一激励电极具有沿弹性波的传播方向以第一间距排列的多个第一电极指，所述第二激励电极具有沿所述传播方向以第二间距排列的多个第二电极指，所述压电膜由LiTaO3单晶或LiNbO3单晶构成；当所述第一间距为p1，所述第二间距为p2，所述压电膜厚度为t0时，1.15
×
p1≤p2、t0≤0.48
×
p1，以及t0≥0.27
×
p2成立。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，所述压电膜由LiTaO3单晶构成，所述多层膜通过由SiO2构成的第一层和由Ta2O5构成的第二层交替层叠而构成，t0≤0.40
×
p1，以及t0≥0.29
×
p2成立。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，当所述第一层的厚度为t1，所述第二层的厚度为t2时，0.49
×
t0≤t1≤0.54
×
t0，以及0.38
×
t0≤t2≤0.42
×
t0成立。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，所述压电膜由LiTaO3单晶构成，所述多层膜通过由SiO2构成的第一层和由HfO2构成的第二层交替层叠而构成；t0≤0.41
×
p1，以及t0≥0.27
×
p2成立。5.根据权利要求4所述的弹性波装置，当所述第一层的厚度为t1，所述第二层的厚度为t2时，0.48
×
t0≤...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤干，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：