弹性波滤波器制造技术

弹性波滤波器(1)具备：串联臂谐振器(s1以及s2)，由具有IDT电极的弹性波谐振器构成；以及并联臂谐振器(p1以及p2)，IDT电极具有一对包含多个电极指和汇流条电极的梳形电极，将上述多个电极指之中与构成一对梳形电极的任一汇流条电极都不连接的电极指定义为浮置间除电极，将构成一对梳形电极的全部的电极指之中连接于与连接了左右相邻的电极指的汇流条电极相同的汇流条电极的电极指定义为极性反转间除电极，在该情况下，在串联臂谐振器之中，反谐振频率fas最低的串联臂谐振器(s1)具有包含浮置间除电极的IDT电极，串联臂谐振器(s2)具有包含极性反转间除电极的IDT电极。有包含极性反转间除电极的IDT电极。有包含极性反转间除电极的IDT电极。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器


[0001]本专利技术涉及弹性波滤波器。

技术介绍

[0002]作为在通信设备等的高频电路中使用的带通滤波器，弹性波滤波器已被实用化。从有效利用无线通信用的频率资源这样的观点出发，作为便携式电话机等的通信频带而分配了许多的频带，因此相邻的频带的间隔变窄。鉴于该频带的分配状况，在弹性波滤波器中，通带端部处的从通带向衰减带的插入损耗的变化率(以下，记为陡峭性)成为重要的性能指标。
[0003]在专利文献1公开了如下结构，即，在具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器的梯型的弹性波滤波器中，构成串联臂谐振器以及并联臂谐振器中的至少一者的IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极包含间除电极(thinned electrodes)。根据该结构，能够使通带中的陡峭性提高。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2017/131170号

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]然而，根据间除电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波滤波器，具备：第1输入输出端子以及第2输入输出端子；多个串联臂谐振器，配置在将所述第1输入输出端子和所述第2输入输出端子连结的路径上；以及一个以上的并联臂谐振器，配置在所述路径上的节点与接地之间，所述多个串联臂谐振器以及所述一个以上的并联臂谐振器分别包含弹性波谐振器，所述弹性波谐振器具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极，即，叉指换能器电极，所述IDT电极具有一对梳形电极，所述梳形电极包含：多个电极指，在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸，且相互平行地配置；以及汇流条电极，对构成该多个电极指的电极指的一端彼此进行连接，将所述多个电极指之中与构成所述一对梳形电极的任一所述汇流条电极都不连接的电极指定义为浮置间除电极，将所述多个电极指之中连接于与连接了左右相邻的电极指的汇流条电极相同的汇流条电极的电极指定义为极性反转间除电极，在该情况下，在所述多个串联臂谐振器之中，反谐振频率最低的第1串联臂谐振器具有包含所述浮置间除电极的IDT电极，在所述多个串联臂谐振器之中，除所述第1串联臂谐振器以外的一个以上的串联臂谐振器中的至少一个具有包含所述极性反转间除电极的IDT电极。2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其中，所述第1串联臂谐振器的间除率大于具有包含所述极性反转间除电极的IDT电极的串联臂谐振器的间除率。3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其中，在所述多个串联臂谐振器之中，所述第1串联臂谐振器具有包含所述浮置间除电极的IDT电极，在所述多个串联臂谐振器中的一部分的串联臂谐振器之中，除所述第1串联臂谐振器以外的串联臂谐振器分别具有包含所述极性反转间除电极的IDT电极，在所述多个串联臂谐振器之中，除所述一部分的串联臂谐振器以外的串联臂谐振器分别不包含间除电极。4.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其中，在所述多个串联臂谐振器之中，所述第1串联臂谐振器具有包含所述浮置间除电极的IDT电极，在所述多个串联臂谐振器之中，除所述第1串联臂谐振器以外的全部的串联臂谐振器具有包含所述极性反转间除电极的IDT电极。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波滤波器，其中，在所述第1输入输出端子以及所述第2输入输出端子中的至少一者，连接有所述多个串联臂谐振器之中不包含间除电极的串联臂谐振器，在所述多个串联臂谐振器之中，包含所述浮置间除电极或所述极性反转间除电极的串联臂谐振器不与所述第1输入输出端子以及所述第2输入输出端子直接连接。6.一种弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹内裕太，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：