废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种废气处理装置，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管；一反应腔；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器；一排气口。通过高温预加热、燃烧及双重吸附、加热腔设计分段气体通道结构，实现废气处理减排之目的，解决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置


[0001]本专利技术涉及废气净化领域，尤其涉及到半导体和化学等领域工业生产废气的处理装置。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro compounds))等为主，在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等四种方式。
[0003]传统的燃烧式废气处理装置，需要通入可燃气体例如天然气等作为燃烧工质，在燃烧室内进行燃烧。传统的燃烧式废气处理装置存在如下弊端，一是需要另外充入可燃气体，燃烧能源消耗大、成本高，产生一氧化碳(CO)等有害气体，节能减排效果不佳；二是需要配套可燃气体供应设备和管路，增加系统复杂性和对安全管理的要求更高。
[0004]针对传统的利用可燃气体作为燃烧工质存在的上述技术问题，本领域技术人员做了进一步的改进，利用加热分解法搭配湿式法达到净化废气的效果，但现有的废气处理装置废气处理时间短暂，导致以加热分解法净化有害废气时，由于有害本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，用于提升加热腔内气体的温度，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管，所述废气管与所述加热腔连通，用于输入废气至所述加热腔中；一反应腔，所述反应腔与所述加热腔连通，所述反应腔接收来自所述加热腔加热后的废气并分解废气；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器，所述换热器与所述捕捉器连通，用于冷却所述捕捉器输出的废气；一排气口，所述排气口连接所述换热器。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一气体通道呈台阶型，所述第一气体通道包括一台阶水平面和一台阶竖直面，所述台阶水平面上设置有垂直于所述台阶水平面的一第一挡板，所述第一挡板上端与所述腔体上端的上表面之间存在间隙。3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述加热腔还包括一第二气体通道，所述第二气体通道设置在所述腔体上端，所述第二气体通道与所述腔体连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑洪，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：