本发明专利技术公开了一种废气处理装置，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管；一反应腔；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器；一排气口。通过高温预加热、燃烧及双重吸附、加热腔设计分段气体通道结构，实现废气处理减排之目的，解决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。
【技术实现步骤摘要】
废气处理装置
[0001]本专利技术涉及废气净化领域，尤其涉及到半导体和化学等领域工业生产废气的处理装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro compounds))等为主，在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等四种方式。
[0003]传统的燃烧式废气处理装置，需要通入可燃气体例如天然气等作为燃烧工质，在燃烧室内进行燃烧。传统的燃烧式废气处理装置存在如下弊端，一是需要另外充入可燃气体，燃烧能源消耗大、成本高，产生一氧化碳(CO)等有害气体，节能减排效果不佳；二是需要配套可燃气体供应设备和管路，增加系统复杂性和对安全管理的要求更高。
[0004]针对传统的利用可燃气体作为燃烧工质存在的上述技术问题，本领域技术人员做了进一步的改进，利用加热分解法搭配湿式法达到净化废气的效果，但现有的废气处理装置废气处理时间短暂，导致以加热分解法净化有害废气时，由于有害废气处理时间过短，影响到有害废气的净化效率，如申请号为2013103541067，为了提高废气净化效率，采用在加热腔室内设置一隔板，延长废气的加热时间。
[0005]另外，针对现有技术中废气处理装置中作为燃烧工质的可燃气体通过管道直接输入到燃烧室的结构而言，存在可燃气体不能在燃烧室内均匀分布，另外在设备故障停机或者停机维护时可能会出现倒灌问题。
[0006]上述改进后废气处理装置存在如下问题：该废气处理装置仅靠有害废气在加热腔中催化分解，难以实现完全净化；另外为了更好的实现废气的处理，还需要结合水洗室对废气进行溶解和冷却，该装置中溶解废气后的水成为含有有害物质的废水也会引起二次污染，同时也会使废气处理装置更复杂、成本更高。
[0007]有鉴于此，如何设计一种废气处理装置以消除现有技术中的上述缺陷和不足，是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。
技术实现思路
[0008]为了克服现有技术中存在的废气分解不完全、废气处理时间短的技术问题，本专利技术通过设计一种废气处理装置，通过高温燃烧及吸附，实现废气处理减排之目的，解决传统燃烧式废气处理器高能耗高排放的问题。废气气流经过高温燃烧反应后，通入本专利技术设计的双重颗粒捕捉装置，对排放气体进行降温除尘，进一步提高减排效果。另外对加热腔设计分段气体通道结构，均匀通入空气或助燃气体(例如氧气)帮助废气充分燃烧，使有害废气净化更充分，实现废气高效率的分解与净化，同时有效避免废气倒灌的问题；本专利技术设置两个捕捉器更进一步地提高废气中粉尘的吸附效果，同时降低气体的动能以及温度，使处理
后的废气符合排放标准。
[0009]为了实现上述记载的技术效果，本专利技术采用了如下的技术方案设计了一种废气处理装置，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，用于提升加热腔内气体的温度，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管，所述废气管与所述加热腔连通，用于输入废气至所述加热腔中；一反应腔，所述反应腔与所述加热腔连通，所述反应腔接收来自所述加热腔加热后的废气并分解废气；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器，所述换热器与所述捕捉器连通，用于冷却从所述捕捉器输出的废气；一排气口，所述排气口连接所述换热器。第一气体通道和第三气体通道分别环绕腔体，保证通过第一气体通道和第三气体通道的气体更均匀的分布在腔体内。
[0010]进一步地，所述第一气体通道呈台阶型，所述第一气体通道包括一台阶水平面和一台阶竖直面，所述台阶水平面上设置有垂直于所述台阶水平面的一第一挡板，所述第一挡板上端与所述腔体上端的上表面之间存在间隙。在废气处理装置故障停机或者停机维护时，挡板的结构可以防止废气处理装置中废气的倒灌。
[0011]更进一步地，所述加热腔还包括一第二气体通道，所述第二气体通道设置在所述腔体上端，所述第二气体通道与所述腔体连通，所述第二气体通道设置有一开关。第二气体通道结合第一气体通道和第三气体通道可以多维度、所方向的向加热腔中通入空气或辅助气体。
[0012]更进一步地，所述第三气体通道环绕所述腔体，所述第三气体通道内部设置一第二挡板，所述第二挡板将所述第三气体通道形成n字型通道。在废气处理装置故障停机或者停机维护时，挡板的结构可以防止废气处理装置中废气的倒灌。
[0013]更进一步地，所述捕捉器还包括第一捕捉器和第二捕捉器，所述第一捕捉器垂直于所述第二捕捉器。
[0014]更进一步地，所述第一捕捉器与所述反应腔连通。
[0015]更进一步地，所述第二捕捉器包括第一接口和第二接口，所述第一接口与所述换热器连通，所述第二接口与所述第一捕捉器连通。
[0016]更进一步地，还包括一轮子，所述捕捉器和所述反应腔设置所述轮子。
[0017]更进一步地，所述加热腔外围设置一加热衬套，所述加热衬套保证加热腔处于高温状态。
[0018]更进一步地，所述腔体上端包括一区域，所述区域面积小于所述腔体的横截面，所述区域设置有一环形板，所述环形板与所述腔体重叠。第一气体通道和第三气体通道输入的气体首先会集中在加热腔上下两端以及加热腔腔壁附近，环形板可保证通过第二气体通道输入的空气更均匀的分布在加热腔中间位置，使加热腔中间位置处也能充分均匀的存在空气或辅助气体。
[0019]更进一步地，所述台阶竖直面设置一倾斜面板，所述倾斜面板设置在所述环形板下端并与所述环形面板之间存在第三间隙，使第一气体通道呈折线形。
[0020]本专利技术提供的技术方案相较于现有技术具有如下优势：
[0021]第一、设置多个分段气体通道，使废气与空气或辅助气体充分接触，提高对废气的处理效率；第二、本专利技术对废气进行预加热处理，使其达到适宜反应的温度，使其在反应腔燃烧或者通入空气后燃烧，无害化效果更佳；三、本专利技术通过设置双重捕捉器，解决的现有燃烧式废气处理装置产生粉尘颗粒较多的问题，可以有效降低PM2.5等颗粒污染物的排放，对于粉尘颗粒较多的气体尤其明显；第四、该废气处理装置采用加热、燃烧、双重捕捉吸附的组合设计，实现无水化除害，在废气处理过程中没有废水排放，减少二次污染。
附图说明
[0022]关于本专利技术的优点与精神可以通过以下的专利技术详述及所附图式得到进一步的了解。
[0023]图1为本专利技术提供的废气处理装置的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术提供的废气处理装置中加热腔部分的剖视图；
[0025]图3为本专利技术提供的图2中加热腔中第一气体通道放大图；
[0026]图4为本专利技术提供的图2中加热腔中第三气体通道放大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：一加热腔，所述加热腔包括一腔体上端、一腔体下端及一腔体，用于提升加热腔内气体的温度，其中，所述腔体上端垂直于所述腔体向外延伸，所述腔体上端内部设置有第一气体通道，所述第一气体通道呈环形环绕所述腔体；所述腔体下端设置一第三气体通道，所述第三气体通道呈环形环绕所述腔体，所述第一气体通道与所述第三气体通道与所述腔体连通；一废气管，所述废气管与所述加热腔连通，用于输入废气至所述加热腔中；一反应腔，所述反应腔与所述加热腔连通，所述反应腔接收来自所述加热腔加热后的废气并分解废气；一捕捉器，所述捕捉器与所述反应腔连通，用于接收所述反应腔分解后的废气，并对废气进行除尘和降温；一换热器，所述换热器与所述捕捉器连通，用于冷却所述捕捉器输出的废气；一排气口，所述排气口连接所述换热器。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一气体通道呈台阶型，所述第一气体通道包括一台阶水平面和一台阶竖直面，所述台阶水平面上设置有垂直于所述台阶水平面的一第一挡板，所述第一挡板上端与所述腔体上端的上表面之间存在间隙。3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述加热腔还包括一第二气体通道，所述第二气体通道设置在所述腔体上端，所述第二气体通道与所述腔体连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑洪，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。