工件台移入移出装置及作业系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供的一种工件台移入移出装置及作业系统，涉及作业设备技术领域，以在一定程度上解决工件台作业空间狭小，较难通过人工移入移出作业空间的问题。本发明专利技术提供的工件台移入移出装置,用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；连杆机构包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的第一端与驱动机构相连接，第一连杆的第二端与第二连杆的一端转动连接，第二连杆远离第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与作业系统的工件台相连接；驱动机构能够驱动第一连杆以第一端为转动中心相对安装机构转动，以带动第二连杆移动，并将工件台的部分拉出作业空间。拉出作业空间。拉出作业空间。

【技术实现步骤摘要】
工件台移入移出装置及作业系统


[0001]本专利技术涉及作业设备
，尤其是涉及一种工件台移入移出装置及作业系统。

技术介绍

[0002]在高集成度的半导体设备当中，工件台工作时位于狭小空间，为实现对工件台的维护维修，需要将工件台移出至开阔空间，以便进行进一步的操作；维护维修结束后，需要将工件台重新移入至狭小空间的工作位。
[0003]但采用常规的工件台移入移出方式，靠人工在平面内沿着沟槽或导向杆在水平面内两个方向移动，不仅工作量大效率低，而且会使工件台的速度不可控，存在人为操作不当，导致产生安全事故的隐患。
[0004]因此，急需提供一种工件台移入移出装置及作业系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种工件台移入移出装置及作业系统，以在一定程度上解决工件台作业空间狭小，较难通过人工移入移出作业空间的问题。
[0006]本专利技术提供的一种工件台移入移出装置，用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；所述连杆机构包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的第一端与所述驱动机构相连接，所述第一连杆的第二端与所述第二连杆的一端转动连接，所述第二连杆远离所述第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与所述作业系统的工件台相连接；所述驱动机构能够驱动所述第一连杆以所述第一端为转动中心相对所述驱动机构转动，以带动所述第二连杆移动，并将所述工件台的部分拉出所述作业空间。
[0007]其中，本专利技术提供的工件台移入移出装置，还包括安装机构，所述连杆机构还包括第三连杆和第四连杆；所述第三连杆的一端与所述第一连杆接近所述第二连杆的位置转动连接，另一端与所述第四连杆的一端转动连接，所述第四连杆远离所述第三连杆的一端与所述驱动机构的动力端相连接。
[0008]具体地，本专利技术提供的工件台移入移出装置，还包括第一连接件，所述第一连接件用于连接所述作业系统的基座和所述工件台；所述第一连接件与所述工件台的连接位置与所述第二连杆与所述工件台的连接位置同时位于所述工件台在第一方向上的轴线的同一侧，以使所述工件台的另一侧为自由端。
[0009]进一步地，所述第一连接件对应设有第一拆卸机构，所述第一拆卸机构能够驱动所述第一连接件与所述工件台相连接或相分离。
[0010]具体地，本专利技术提供的工件台移入移出装置，还包括第二连接件，所述第二连接件用于连接所述基座和所述工件台；所述第二连接件与所述工件台的连接位置与所述第二连杆与所述工件台的连接位置同时位于所述工件台在第二方向上的轴线的同一侧，当所述第
一连接件与所述工件台相分离时，所述工件台能够相对所述第二连接件转动。
[0011]进一步地，所述第二连接件对应设有第二拆卸机构，所述第二拆卸机构能够驱动所述第二连接件与所述工件台相连接或相分离。
[0012]更进一步地，所述第一连接件和所述第二连接件与所述工件台均为间隙配合。
[0013]具体地，所述第一连接件和所述第二连接件均为插销。
[0014]进一步地，所述驱动机构为气缸、电机或手摇杆。
[0015]相对于现有技术，本专利技术提供的工件台移入移出装置具有以下优势：
[0016]本专利技术提供的工件台移入移出装置，用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；连杆机构包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的第一端与驱动机构相连接，第一连杆的第二端与第二连杆的一端转动连接，第二连杆远离第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与作业系统的工件台相连接；驱动机构能够驱动第一连杆以第一端为转动中心相对驱动机构转动，以带动第二连杆移动，并将工件台的部分拉出作业空间。
[0017]由此分析可知，通过使第一连杆的第一端与安装机构转动连接，第二端与第二连杆的一端转动连接，且第二连杆的另一端伸入作业空间与工件台转动连接。由于驱动机构的动力端与第一连杆相连接，因此，当需要对工件台进行检修或工件台覆盖的位置进行检修时，驱动机构的动力端动作，驱动第一连杆以第一端为旋转中心相对驱动机构转动，从而能过带动第二连杆移动，进而通过第二连杆能够将工件台的部分拉出作业空间。
[0018]之后检修人员通过其他工具操作工件台被拉出的位置，使工件台的整体能够全部移出作业空间，而在此过程中，驱动机构的动力端可配合检修人员同时进行相应的动作，使工件台能够快速稳定地移出工作空间。
[0019]当检修完成后，驱动机构的动力端以相反的方向驱动第一连杆动作，从而使工件台能够再次伸入作业空间内，完成工件台的移出移入操作。
[0020]此外，本专利技术还提供一种作业系统，包括工件台、基座以及上述的工件台移入移出装置；所述工件台设置于所述基座上，且所述工件台能够相对所述基座移动。
[0021]采用本申请提供的工件台移入移出装置的作业系统，由于第二连杆的远离第一连杆的一端与工件台转动连接，因此，通过第二连杆能够承载工件台的部分重力，从而在一定程度上降低工件台与基座之间的摩擦力，使工件台能够顺利的进行移入移出动作。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术实施例提供的工件台移入移出装置在初始状态的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例提供的工件台移入移出装置在第一拉动状态的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例提供的工件台移入移出装置在第二拉动状态的结构示意图。
[0026]图中：1
‑
第一连杆；101
‑
第一端；102
‑
第二端；2
‑
第二连杆；3
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第三连杆；4
‑
第四连杆；5
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工件台；6
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基座；601
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第一连接孔；602
‑
第二连接孔；7
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第一连接件；8
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第二连接件；
[0027]S1
‑
第一方向；S2
‑
第二方向。
具体实施方式
[0028]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0029]在本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件台移入移出装置，用于作业系统，其特征在于，包括驱动机构以及连杆机构；所述连杆机构包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的第一端与所述驱动机构相连接，所述第一连杆的第二端与所述第二连杆的一端转动连接，所述第二连杆远离所述第一连杆的一端伸入作业系统的作业空间内与所述作业系统的工件台相连接；所述驱动机构能够驱动所述第一连杆以所述第一端为转动中心相对所述驱动机构转动，以带动所述第二连杆移动，并将所述工件台的部分拉出所述作业空间。2.根据权利要求1所述的工件台移入移出装置，其特征在于，还包括安装机构，所述连杆机构还包括第三连杆和第四连杆；所述第三连杆的一端与所述第一连杆接近所述第二连杆的位置转动连接，另一端与所述第四连杆的一端转动连接，所述第四连杆远离所述第三连杆的一端与所述驱动机构的动力端相连接。3.根据权利要求2所述的工件台移入移出装置，其特征在于，还包括第一连接件，所述第一连接件用于连接所述作业系统的基座和所述工件台；所述第一连接件与所述工件台的连接位置与所述第二连杆与所述工件台的连接位置同时位于所述工件台在第一方向上的轴线的同一侧，以使所述工件台的另一侧为自由端。4.根据权利要求3所述的工件台移入移出装置，其特征在于，所述第一连接件对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙飞，杨师，梅阳，侯得锋，李海彬，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：