气浮运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种气浮运动平台，包括：基座；第一导轨，设置于基座；第一运动组件，设于第一导轨且能相对于第一导轨移动，第一运动组件包括第一包裹件和两个第二包裹件，第一包裹件分别与两个第二包裹件连接，第一包裹件位于第一导轨上方，两个第二包裹件分别位于第一导轨的两侧，第二包裹件与第一导轨间隙配合；第一气道，设置于第一包裹件，第一气道用于进气以在第一导轨和第一包裹件之间形成第一气膜。本发明专利技术通过上述结构能够达到降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响的效果。曲对气膜厚度的影响的效果。曲对气膜厚度的影响的效果。

【技术实现步骤摘要】
气浮运动平台


[0001]本专利技术涉及精密运动
，尤其涉及一种气浮运动平台。

技术介绍

[0002]在一些加工制造场景中，常使用气浮运动平台作为精密设备的工作台，气浮是使用压缩空气作为介质，填充在运动部件与导轨之间，使其形成一层微米级的气膜，极大程度减少了它们之间的摩擦，大大提高了运动的速度和定位精度。
[0003]目前这个领域使用最多的气浮工作台，导轨使用的是封闭式气膜的高刚性结构。随着装配应力释放、温度变化、水平状况变化等情况会导致气浮导轨发生变形、扭曲而使气膜厚度发生变化，严重时会导致运动卡死而损坏气浮导轨，造成严重后果。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种气浮运动平台，能够降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响。
[0005]本专利技术实施例提供了一种气浮运动平台，包括：基座；第一导轨，设置于所述基座；第一运动组件，设于所述第一导轨且能相对于所述第一导轨移动，所述第一运动组件包括第一包裹件和两个第二包裹件，所述第一包裹件分别与两个所述第二包裹件连接，所述第一包裹件位于所述第一导轨上方，两个所述第二包裹件分别位于所述第一导轨的两侧，所述第二包裹件与所述第一导轨间隙配合；第一气道，设置于所述第一包裹件，所述第一气道用于进气以在所述第一导轨和所述第一包裹件之间形成第一气膜。
[0006]根据本专利技术实施例提供的气浮运动平台，至少具有如下有益效果：本方案中，仅使第一包裹件和第一导轨之间有气膜，将第二包裹件和第一导轨之间设置为间隙配合，仅保留上部气膜后，能大大降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响。
[0007]根据本专利技术的一些实施例，所述第一气道包括进气口和多个出气口，多个所述出气口与所述进气口相连通，多个所述出气口设于与所述第一导轨对应的所述第一包裹件表面。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，还包括第二导轨、第二运动组件和第二气道，所述第二导轨位于所述基座且与所述第一导轨平行设置，所述第二运动组件设于所述第二导轨且能相对于所述第二导轨移动，所述第二运动组件与所述第一运动组件通过连接件连接，所述第二气道设置于所述第二运动组件，所述第二气道用于进气以在所述第二运动组件和所述第二导轨之间形成第二气膜。
[0009]根据本专利技术的一些实施例，所述第一导轨和/或所述第二导轨上设置有第一凹陷部，所述第一凹陷部内设置有直线电机。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，所述第一导轨和/或所述第二导轨两端设置有限位部。
[0011]根据本专利技术的一些实施例，还包括第三运动组件，所述连接件为第三导轨，所述第三运动组件套设于所述第三导轨且能相对于所述第三导轨移动。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述第三运动组件中设置有第三气道，所述第三气道用于进气以在所述第三运动组件和所述第三导轨之间形成第三气膜。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述第三运动组件包括依次连接的上包裹件、第一侧包裹件、下包裹件和第二侧包裹件，所述上包裹件设置有所述第三气道，所述第三气膜位于所述上包裹件和所述第三导轨之间。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述第三导轨上设置有第二凹陷部，所述第二凹陷部内设置有直线电机。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述第三运动组件上设有载物台，所述载物台具有第三凹陷部，所述第三凹陷部用于限位承载物。
[0016]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是本专利技术一个实施例提供的气浮运动平台的结构示意图；
[0018]图2是本专利技术一个实施例提供的气浮运动平台中第一运动组件的结构示意图；
[0019]图3是本专利技术一个实施例提供的气浮运动平台中第二运动组件的结构示意图；
[0020]图4是本专利技术一个实施例提供的气浮运动平台的截面图；
[0021]图5是本专利技术一个实施例提供的气浮运动平台中第三运动组件的结构示意图。
[0022]附图标记：基座100，第一导轨200，限位部210，第一运动组件300，第一包裹件310，第一气道311，进气口312，出气口313，第二包裹件320，第二导轨400，第一凹陷部410，第二运动组件500，第二气道510，第二气道进气口511，第二气道出气口512，第三导轨600，第三运动组件700，上包裹件710，第一侧包裹件720，下包裹件730，第二侧包裹件740，第三气道750,载物台800，第三凹陷部810。
具体实施方式
[0023]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]在本专利技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0026]本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0028]参照图1和图4，在本专利技术的一些实施例中，气浮运动平台包括：基座100，设置于基座100的第一导轨200；第一运动组件300，设于第一导轨200且能相对于第一导轨200移动，第一运动组件300包括第一包裹件310和两个第二包裹件320，第一包裹件310分别与两个第二包裹件320连接，第一包裹件310位于第一导轨200上方，两个第二包裹件320分别位于第一导轨200的两侧，第二包裹件320与第一导轨200间隙配合；第一气道311，设置于第一包裹件310，第一气道311用于进气以在第一导轨200和第一包裹件310之间形成第一气膜。
[0029]需要注意的是，上述基座100为大理石基座100，大理石基座100使用寿命长，比铸铁材质硬度更高，并且不会轻易受到环境温度和湿度的影响，进而能使整个气浮运动平台更加稳定。
[0030]需要说明的是，在本使用新型的一些实施例中，第一导轨200是直接从大理石基座100本体凸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮运动平台，其特征在于，包括：基座；第一导轨，设置于所述基座；第一运动组件，设于所述第一导轨且能相对于所述第一导轨移动，所述第一运动组件包括第一包裹件和两个第二包裹件，所述第一包裹件分别与两个所述第二包裹件连接，所述第一包裹件位于所述第一导轨上方，两个所述第二包裹件分别位于所述第一导轨的两侧，所述第二包裹件与所述第一导轨间隙配合；第一气道，设置于所述第一包裹件，所述第一气道用于进气以在所述第一导轨和所述第一包裹件之间形成第一气膜。2.根据权利要求1所述的气浮运动平台，其特征在于，所述第一气道包括进气口和多个出气口，多个所述出气口与所述进气口相连通，多个所述出气口设于与所述第一导轨对应的所述第一包裹件表面。3.根据权利要求1所述的气浮运动平台，其特征在于，还包括第二导轨、第二运动组件和第二气道，所述第二导轨位于所述基座且与所述第一导轨平行设置，所述第二运动组件设于所述第二导轨且能相对于所述第二导轨移动，所述第二运动组件与所述第一运动组件通过连接件连接，所述第二气道设置于所述第二运动组件，所述第二气道用于进气以在所述第二运动组件和所述第二导轨之间形成第二气膜。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑清雄，汪孝军，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：