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本发明提供的一种工件台移入移出装置及作业系统，涉及作业设备技术领域，以在一定程度上解决工件台作业空间狭小，较难通过人工移入移出作业空间的问题。本发明提供的工件台移入移出装置,用于作业系统，包括驱动机构以及连杆机构；连杆机构包括第一连杆和第二...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。